液冷式照光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種液冷式照光裝置，特別是指一種適用于曝光機(jī)等生產(chǎn)設(shè)備的液冷式照光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]紫外線可應(yīng)用于平面顯示器(FPD)產(chǎn)業(yè)，例如以曝光機(jī)的紫外光發(fā)光裝置將被曝物圖案化或固化等技術(shù)?，F(xiàn)有的曝光機(jī)的照光裝置包含數(shù)條緊密排列的燈管，緊密排列的燈管的主要優(yōu)點(diǎn)在于能集中光源以確保沒有暗帶形成。但緊密排列的燈管使個(gè)別燈管產(chǎn)生的熱能不易散逸，而且，多個(gè)與所述燈管相連接的安定器也會(huì)產(chǎn)生熱能，使熱積聚的現(xiàn)象加劇，而導(dǎo)致燈管加速衰減及老化，削弱照射強(qiáng)度，因而必須拉長曝光時(shí)間，甚而中斷曝光制程，皆會(huì)大幅降低生產(chǎn)效率，極不符合經(jīng)濟(jì)效益的要求。為解決溫度過高的問題，現(xiàn)有的照光裝置多采用氣冷式的散熱系統(tǒng)(例如送風(fēng)機(jī)及抽風(fēng)機(jī))，借由不間斷的氣流引導(dǎo)燈管產(chǎn)生的熱能散失到外界環(huán)境中，然而，相較于該送風(fēng)機(jī)以及抽風(fēng)機(jī)附近的氣流流速，位于所述燈管附近的氣流的流速較為緩慢，且燈管產(chǎn)生熱能相當(dāng)大，只依賴氣冷式的散熱裝置效率不高，無法有效地降低燈管的溫度。再者，一般而言，所述安定器產(chǎn)生的熱能亦須配置額外的散熱裝置，使得現(xiàn)有的照光裝置須預(yù)留一額外的空間以容置上述中為了所述安定器產(chǎn)生的熱能而配置的散熱裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有較佳散熱效果并能減少整體體積的液冷式照光裝置。
[0004]本實(shí)用新型一種液冷式照光裝置，一種液冷式照光裝置，包含:一個(gè)燈框組件；多個(gè)發(fā)光元件，裝設(shè)于該燈框組件；一個(gè)液冷式散熱單元，與該燈框組件相連接且位于所述發(fā)光元件上方；及多個(gè)電子元件，與所述發(fā)光元件電連接且設(shè)置于該液冷式散熱單元的上方。
[0005]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，所述電子元件為安定器。
[0006]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該燈框組件包括至少一個(gè)漏液盛盤，該漏液盛盤位于該液冷式散熱單元的下方。
[0007]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該液冷式散熱單元包括多個(gè)并排的導(dǎo)管及多個(gè)將所述導(dǎo)管連通的連通管，所述導(dǎo)管概呈直線型，所述連通管概呈U型且每一連通管的兩端分別連接與其相鄰的兩個(gè)導(dǎo)管。
[0008]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該燈框組件包括多個(gè)漏液盛盤，所述漏液盛盤分別位于所述導(dǎo)管與所述連通管相互連接處的下方。
[0009]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該漏液盛盤具有一個(gè)設(shè)置于該漏液盛盤且用于感測液滴的感測單元。
[0010]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該燈框組件包括一個(gè)燈框主體及多個(gè)滾輪，所述滾輪裝設(shè)于該燈框主體以供移動(dòng)該液冷式照光裝置。
[0011]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該燈框組件包括一概呈矩形的燈框主體、多個(gè)第一滾輪及一個(gè)把手，所述第一滾輪分別自該燈框主體的兩長邊向外凸設(shè)，且所述第一滾輪的轉(zhuǎn)軸與一個(gè)第一方向平行，該把手位于該燈框組件的兩短邊其中一者Ο
[0012]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該燈框組件還包括多個(gè)第二滾輪，所述第二滾輪自該燈框主體的兩長邊向外凸設(shè)，且所述第二滾輪的轉(zhuǎn)軸與一個(gè)第二方向平行，該第二方向與該第一方向相互垂直。
[0013]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，各該電子元件設(shè)置于相鄰的該導(dǎo)管的頂面。
[0014]本實(shí)用新型所述液冷式照光裝置，在一些實(shí)施態(tài)樣中，該液冷式照光裝置還包含一減光板，該減光板與該燈框組件相連接并位于所述發(fā)光元件下方。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果在于:液冷式散熱單元能提供較氣冷式散熱系統(tǒng)更好的散熱效果，并能同時(shí)將為燈管的發(fā)光元件以及為安定器的電子元件產(chǎn)生的熱引導(dǎo)至外界空氣中，不須預(yù)留一額外的空間以容置為了所述安定器而配置的散熱裝置，能減少整體體積。另夕卜，借由該漏液盛盤以及該感測裝置的設(shè)置，能有效地防止自該液冷式散熱單元漏出的冷卻液體向下滴落至曝光機(jī)內(nèi)部，而減少故障的發(fā)生。
【附圖說明】
[0016]圖1是一分解圖，說明本實(shí)用新型液冷式照光裝置的一個(gè)實(shí)施例；
[0017]圖2是一立體分解圖，說明該實(shí)施例；
[0018]圖3是一透視圖，說明該較佳實(shí)施例的液冷式散熱單元；
[0019]圖4是一側(cè)視圖，說明該實(shí)施例更具有減光板及上蓋板；及
[0020]圖5是一立體圖，說明圖4的實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0022]參閱圖1與圖2，本實(shí)用新型液冷式照光裝置的一個(gè)實(shí)施例包含一燈框組件1、多個(gè)發(fā)光元件2、一個(gè)液冷式散熱單元3、多個(gè)電子元件4及一個(gè)燈框底板5。
[0023]參閱圖3，該燈框組件1包括一個(gè)燈框主體10、兩個(gè)漏液盛盤11、多個(gè)滾輪12及一個(gè)把手13。在本實(shí)施例中，該燈框主體10概呈一矩形，所述漏液盛盤11位于該液冷式散熱單元3下方且設(shè)置于該燈框主體10鄰近兩短邊處。所述漏液盛盤11用以盛接自該液冷式散熱單元3外漏而向下滴落的冷卻液滴。每一個(gè)漏液盛盤11的頂面設(shè)置有一感測單元111，用以偵測滴落于置所述漏液盛盤11的液滴，并且發(fā)出警示，通知制程人員進(jìn)一步處理液冷式散熱單元3漏液的狀況，以避免該漏液浸入發(fā)光元件2中而引起發(fā)光元件2或機(jī)臺(tái)中其他的構(gòu)件的銹蝕、故障或漏電等損害，并且降低該漏液造成曝光制程的延宕的可能。在本實(shí)施例中，所述漏液盛盤11的數(shù)目為兩個(gè)，但不限于此，在其他實(shí)施態(tài)樣中，該漏液盛盤11的數(shù)目也可為一個(gè)或者其他的數(shù)量，而且漏液盛盤11的放置位置也不限于上述技術(shù)揭示內(nèi)容，應(yīng)視該液冷式散熱單元3的結(jié)構(gòu)而調(diào)整。在本實(shí)施例中，設(shè)置于所述漏液盛盤11頂面的感測單元111為一用以感測液滴的電路，透過液滴觸發(fā)該電路，將產(chǎn)生的訊號(hào)(例如電路自身電阻因液滴而產(chǎn)生的變化)傳遞至用以通報(bào)的警示器(圖未示)。在其他的實(shí)施態(tài)樣中，該感測單元也可為偵測漏液體積的液位感測器或是偵測液體重量的感測器，而不以本實(shí)施例為限。
[0024]參閱圖2與圖3，所述滾輪12及該把手13是為了輔助使用者將該液冷式照光裝置拖移出或輸送進(jìn)曝光機(jī)臺(tái)(圖未示)而設(shè)計(jì)，所述滾輪12裝設(shè)于該燈框主體10的兩長邊側(cè)，而該把手13位于該燈框本體10的兩短邊其中位于左側(cè)者。在本實(shí)施例中，所述滾輪12包括十四個(gè)第一滾輪121及十個(gè)第二滾輪122，所