技術(shù)總結(jié)
為了使激光通過(guò)而在掩膜主體(41)上貫通形成有銷(xiāo)孔(42)的激光加工用掩膜(40)中，在掩膜主體(41)的激光的射入側(cè)利用切削、磨削或研磨加工來(lái)形成相對(duì)于銷(xiāo)孔的軸線傾斜的反射面(43)，通過(guò)使反射面(43)中平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度(Ray)形成得小于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度(Rax)，從而使激光照射中幾乎沒(méi)有來(lái)自掩膜的返回光，防止激光的模式劣化以及振蕩輸出的降低。

技術(shù)研發(fā)人員：大塚輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
文檔號(hào)碼：201580036060
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.26
技術(shù)公布日：2017.05.10