本發(fā)明涉及一種根據(jù)權利要求1的用于制造至少一個固體層的方法，一種根據(jù)權利要求2的用于對至少一個透明的體部覆層的方法，一種根據(jù)權利要求15的多層透明的保護裝置和一種根據(jù)權利要求16的電子儀器。

背景技術：

移動電話的、筆記本電腦的、平板電腦的、mp3播放器等的顯示器經(jīng)常用作顯示器和輸入裝置并且尤其用作觸摸顯示屏。這引起這類顯示器被非常頻繁地觸摸。此外，例如，較小的儀器、如移動電話和mp3播放器被插入到褲子口袋中，在那所述儀器經(jīng)常與鑰匙、硬幣和其他硬物接觸。該接觸能夠?qū)е嘛@示屏的表面刮傷。然而，刮痕導致顯示質(zhì)量下降并且更加不精確地檢測輸入。

已知地尋求制造越來越穩(wěn)定的顯示屏玻璃。因此，corning公司旗下名為“gorillaglass大猩猩玻璃”通過特殊的方法改變用于用作顯示屏玻璃的玻璃的強度。

此外，對于鐘表應用呈藍寶石玻璃形式的氧化鋁是已知的，即由于其硬度而關于破壞、例如刮痕是極其不敏感的。

迄今已知的“大猩猩玻璃(gorillaglas)”具有比藍寶石更低的硬度，反之，藍寶石具有更大的脆性。此外，這兩種實施方案導致厚的和/或重的構型。

藍寶石玻璃的產(chǎn)生還需要極其溫度穩(wěn)定的工具、工藝材料和設備，因為出現(xiàn)超過500℃的溫度。

氧化鋁還能夠例如借助濺射在溫度穩(wěn)定的材料上作為層產(chǎn)生。多年來這類覆層方法屬于現(xiàn)有技術，并且例如通過2002年的surfaceandcoatingtechnology14-20頁中的zywitzki等的“structureandpropertiesofal2o3layersdepositedbyplasmaactivatedelectronbeamevaporation”或通過1997年的surfaceandcoatingstechnology303-308頁中的zywitzki和hoetzsch的“correlationbetweenstructureandpropertiesofreactivelydepositedal2o3coatingbypulsedmagnetronsputtering”或通過2009年的plasmaprocess.polym.907-911頁中的erklund等的“thermalstabilityandphasetransformationsofy-/amorphous-al2o3thinfilms”提出和描述。此外，顯而易見的是：由于在用al2o3覆層時出現(xiàn)高的溫度同樣僅能夠用al2o3對極其溫度穩(wěn)定的材料覆層。

技術實現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的是提供一種用于制造固體層的方法，一種用于對至少一個透明的體部覆層的方法，一種電子儀器和一種多層透明的保護裝置，所述方法或所述電子儀器或所述保護裝置消除現(xiàn)有技術的缺點中的至少一個或提供其替選方案。尤其，本發(fā)明的目的是提供一種用于制造觸摸顯示屏的方法，其中顯示屏是抗劃的并且此外可成本低地制造。

根據(jù)本發(fā)明，上述目的通過根據(jù)權利要求1的用于制造固體層的方法實現(xiàn)。在此，用于制造至少一個固體層的根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選包括至少如下步驟：提供載體襯底，其具有設置在其上的犧牲層，或?qū)奚鼘釉O置在所提供的載體襯底上，尤其借助化學氣相沉積或物理氣相沉積在犧牲層上產(chǎn)生有用層，以構成多層裝置，由于在有用層和載體襯底之間產(chǎn)生的材料薄弱部來分離有用層，其中通過在犧牲層中借助激光器射束產(chǎn)生的改性部引起材料薄弱部，或借助在有用層和載體襯底之間引導的裂紋分開有用層，其中裂紋通過在犧牲層中借助激光器射束產(chǎn)生的改性部引導。根據(jù)本發(fā)明，因此，在剝離區(qū)域中的晶體結構借助激光輻射改性或破壞，使得由于激光處理將有用層與余留的多層裝置剝離或由此與其分開。在此，分開的有用層是所產(chǎn)生的固體層。

該解決方案是有利的，因為能夠產(chǎn)生非常薄的有用層，所述有用層能以僅低的材料損失從犧牲層中分開。在此，犧牲層具有如下強度，所述強度比載體襯底和有用層的強度更低。然而，同樣可考慮的是：由于在犧牲層中產(chǎn)生改性部將降低犧牲層的強度。在此，犧牲層能夠非常薄地構成，尤其會比需要鋸切分割犧牲層所需的厚度更薄，由此所述犧牲層能夠一方面快速地并且另一方面適宜地產(chǎn)生。

本發(fā)明還涉及一種根據(jù)權利要求2的用于對至少一個透明的體部、尤其顯示屏玻璃或顯示屏保護層的方法。在此，根據(jù)本發(fā)明的、用于對至少一個透明的體部覆層的方法優(yōu)選至少包括如下步驟：在根據(jù)權利要求1制造的有用層上設置或產(chǎn)生尤其由塑料、玻璃或陶瓷材料構成的至少部分透明的體部。替選地，方法能夠包括如下步驟：提供載體襯底，所述載體襯底具有設置在其上的犧牲層載，或?qū)奚鼘釉O置在所提供的載體襯底上，借助化學氣相沉積或物理氣相沉積在犧牲層上產(chǎn)生有用層，以構成多層裝置，在有用層上設置或產(chǎn)生至少部分透明的體部，并且由于在有用層和載體襯底之間產(chǎn)生的材料薄弱部來分開有用層，其中通過在犧牲層中借助激光器射束產(chǎn)生的改性部引起材料薄弱部，或借助在有用層和載體襯底之間引導的裂紋分開有用層，其中裂紋通過在犧牲層中借助激光器射束產(chǎn)生的改性部引導。該解決方案是有利的，因為產(chǎn)生的有用層也能夠設置在如下材料上，所述材料不適合于經(jīng)受在產(chǎn)生有用層時，也即是說，在化學氣相沉積或物理氣相沉積、尤其濺射或等離子活化的濺射時產(chǎn)生的高的溫度。尤其有利的是：產(chǎn)生的有用層設置在可低成本地制造的塑料或類似材料上，所述材料由于所產(chǎn)生的高的溫度不適合用于化學氣相沉積或物理氣相沉積、尤其不適合用于等離子活化的濺射。此外，可考慮的是：透明的體部在有用層上尤其通過完全硬化產(chǎn)生。載體襯底優(yōu)選由金屬材料或陶瓷材料構成，并且犧牲層優(yōu)選由硅或硅化合物或碳或碳化合物構成。

其他優(yōu)選的實施方式是下列說明書部分和/或從屬權利要求的主題。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選的實施方式，至少部分透明的體部由聚合材料構成，其中透明的體部的材料具有比有用層的材料更小的彈性模量，尤其具有比有用層的材料至少小10倍或100倍的彈性模量。該實施方式是有利的，因為通過由聚合材料構成的透明的體部顯著提高有用層的可能存在的小的抗斷強度。因此，多層裝置尤其優(yōu)選由至少部分透明的體部、尤其透明的聚合物層，和至少部分透明的有用層構成，由此所述多層裝置優(yōu)選在構成薄的并且輕的構型的情況下是非?？箘澋牟⑶揖哂懈叩目箶鄰姸取?/p>

有利的是：如果有用層基本上作為具有二維平坦平面的固體層并且透明的體部具有如下外部形狀，所述外部形狀具有至少一個彎曲的部分，其中有用層尤其通過鍵合或粘接施加到透明的體部上，使得有用層與透明的體部的外部形狀相匹配。因此，能夠成本低地制造具有不同的三維幾何形狀的顯示屏、例如凸形的、凹形的或球形的顯示屏，所述顯示器具有抗劃的表面。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，有用層和透明的體部具有外部形狀，所述外部形狀具有至少一個彎曲的部分。優(yōu)選地，用于引導犧牲層和/或有用層中的裂紋的改性部以對應于有用層的外部形狀或有用層的外部形狀的一部分，尤其有用層的表面部段的方式產(chǎn)生。然而，附加地或替選地，同樣可考慮的是：產(chǎn)生具有彎曲構成的表面的犧牲層或犧牲層的表面在產(chǎn)生犧牲層之后通過加工成，使得所述表面構成彎曲的表面形態(tài)，并且有用層通過其在犧牲層的彎曲的表面上產(chǎn)生來相應成形地或與犧牲層的彎曲的表面負像成形地產(chǎn)生。該實施方式是有利的，因為能夠使用例如用于鐘表，尤其所謂的智能手表，或移動電話的彎曲的保護裝置或顯示屏保護層，由此相應的儀器能夠構成如下形狀，所述形狀例如與人的身體相匹配和/或提供符合人機工程學的優(yōu)點。

根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選包括在多層裝置的至少一個暴露的表面上設置或產(chǎn)生應力產(chǎn)生層的步驟，和熱加載應力產(chǎn)生層來在多層裝置的內(nèi)部產(chǎn)生機械應力的步驟，其中在多層裝置的通過供體晶片形成的部分中的應力大至，使得在供體晶片中裂紋沿著剝離區(qū)域構成，供體晶片通過所述剝離區(qū)域分裂成分開部件和連接部件，其中應力產(chǎn)生層具有聚合物、尤其聚二甲基硅氧烷(pdms)，或由其構成，其中熱加載進行為，使得聚合物經(jīng)受玻璃化轉變，其中尤其借助液氮將應力產(chǎn)生層在如下溫度下進行溫度處理，在所述溫度下聚合物至少部分地或優(yōu)選完全地經(jīng)受玻璃化轉變，優(yōu)選地，在此，聚合物在在室溫之下的溫度下溫度處理或在0℃之下或在-50℃之下或在-100℃之下或在-110℃之下的溫度下進行溫度處理，尤其在應力產(chǎn)生層的玻璃化轉變溫度之下的溫度下進行溫度處理。

該實施方式是有利的，因為已經(jīng)認識到：通過對應力產(chǎn)生層熱加載，尤其通過利用應力產(chǎn)生層的材料的在玻璃化轉變時出現(xiàn)的特性變化能夠在供體襯底中產(chǎn)生對于觸發(fā)裂紋和引導裂紋所需要的力。此外，通過熱加載應力產(chǎn)生層能夠時間上非常準確地控制：何時進行固體層或固體層片的分離或多層裝置的分割。然而，替選地，應力產(chǎn)生層能夠具有聚合物或由聚合物構成，所述聚合物具有在室溫之上的玻璃化轉變溫度。因此，聚合物，例如熱塑性塑料pmma(聚甲基丙烯酸甲酯，俗稱普勒克西玻璃)和ps(聚苯乙烯)具有在40℃和180℃之間、尤其在60℃和110℃之間的玻璃化轉變溫度。熱塑性塑料peek(聚醚醚酮)例如具有143℃的玻璃化轉變溫度和335℃的熔化溫度。這是尤其有利的，因為聚合物冷卻到室溫的冷卻過程和隨之產(chǎn)生的玻璃化轉變能夠集成到聚合物的制造過程中，并且聚合物能夠與有用層連接。以該方式能夠可行的是：聚合物和多層裝置的最后的層是相同的，因此，聚合物用有用層覆層并且同時用作應力產(chǎn)生層。然而，也可行的是：通過逐漸加熱與聚合物的制造過程分開地來執(zhí)行聚合物的熱加載，進而在聚合物的緊接著的冷卻時重新引發(fā)玻璃化轉變。因此，用于產(chǎn)生應力的熱加載也能夠通過在方法中溫度升高的步驟進行。附加地或替選地，機械應力能夠通過總機械振動和/或溫度變化和/或壓力變化，尤其空氣壓力變化產(chǎn)生。根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，有用層由陶瓷材料構成，尤其由碳化硅(sic)或氧化鋁(al2o3)構成，所述陶瓷材料無定形地或多晶地、尤其借助濺射產(chǎn)生。優(yōu)選地，在借助用超過500℃、優(yōu)選超過700℃并且尤其優(yōu)選超過1000℃或超過1100℃的溫度進行溫度處理來產(chǎn)生有用層之后或在此期間，硬化有用層。尤其優(yōu)選地，陶瓷材料是剛玉，所述剛玉優(yōu)選在第一相中生長并且由于溫度加載，至少部分并且(尤其在體積方面)優(yōu)選多數(shù)地并且尤其優(yōu)選完全從第一相轉化成第二相。第一相優(yōu)選是剛玉的γ相并且第二相優(yōu)選是剛玉的α相。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，有用層的厚度小于100μm并且優(yōu)選小于50μm并且尤其優(yōu)選是20μm厚的或小于20μm。替選地或附加地，犧牲層的厚度小于10μm并且優(yōu)選小于5μm并且尤其優(yōu)選是1μm厚的或小于1μm。該實施方式是有利的，因為用少量的材料使用就能夠產(chǎn)生有用層或保護層，所述有用層或所述保護層比玻璃明顯是破壞更不敏感的、尤其更抗劃的。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，改性部是晶格中的局部的裂紋和/或轉化成其他相的材料部分。該實施方式是有利的，因為通過改性部能非常精確地預設裂紋引導區(qū)域或能控制或引起裂紋擴展。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，改性部借助至少一個皮秒激光器或飛秒激光器的經(jīng)由多層裝置的外表面引入到多層裝置的內(nèi)部中的激光器輻射產(chǎn)生。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，各個改性部或缺陷或破壞部位分別從由激光器、尤其飛秒激光器或皮秒激光器引起的多光子激發(fā)產(chǎn)生。優(yōu)選地，激光器具有小于10ps、尤其優(yōu)選小于1ps并且最優(yōu)選小于500fs的脈沖持續(xù)時間。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，尤其飛秒激光器的激光器射束的能量選擇為，使得在犧牲層或有用層中的破壞擴展小于三倍的瑞利長度，優(yōu)選小于瑞利長度并且尤其優(yōu)選小于瑞利長度的三分之一。根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，尤其飛秒激光器的激光器射束的波長選擇為，使得犧牲層或材料的吸收小于10cm^-1并且優(yōu)選小于1cm^-1并且尤其優(yōu)選0.1cm^-1。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，激光器射束由至少一個激光器裝置發(fā)射，其中用于提供待引入到有用層和/或犧牲層中的激光器射束的激光器裝置被配置成，使得由其放射的激光器射束在有用層和/或犧牲層內(nèi)部預設的位置處產(chǎn)生改性部，其中激光器裝置優(yōu)選設置成，使得用于產(chǎn)生改性部的由其放射的激光器射束以小于200μm，優(yōu)選小于100μm并且更優(yōu)選小于50μm并且尤其優(yōu)選小于20μm的限定的深度進入有用層和/或犧牲層中，其中激光器裝置具有小于10ps、優(yōu)選小于1ps并且尤其優(yōu)選小于500fs的脈沖持續(xù)時間。該實施方式是有利的，因為所述實施方式實現(xiàn)改性部的精確并且快速的產(chǎn)生。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，激光器裝置包括飛秒激光器(fs-laser)或由飛秒激光器(fs-laser)構成。飛秒激光器的激光器射束的能量優(yōu)選選擇為，使得在有用層和/或犧牲層中的每個改性部的破壞擴展小于三倍的瑞利長度，優(yōu)選小于瑞利長度并且尤其優(yōu)選小于瑞利長度的三分之一，和/或飛秒激光器的激光器射束的波長選擇為，使得有用層和/或犧牲層的吸收小于10cm^-1并且優(yōu)選小于1cm^-1并且尤其優(yōu)選0.1cm^-1，和/或各個改性部分別由于由飛秒激光器引起的多光子激發(fā)而產(chǎn)生。該實施方式是有利的，能夠在沒有使多個或相應的層過熱的情況下產(chǎn)生適合的改性部。

本發(fā)明還涉及一種根據(jù)權利要求15的多層透明的保護裝置，尤其顯示屏保護件或指紋傳感器保護件。根據(jù)本發(fā)明，多層透明的保護裝置包括至少一個至少部分透明的體部和與透明的體部連接的至少部分透明的有用層，其中透明的體部由聚合材料構成并且有用層由陶瓷材料構成，其中有用層比透明的體部更硬，并且其中多層透明的保護裝置的制造至少包括如下步驟：借助化學氣相沉積或物理氣相沉積產(chǎn)生有用層并且將透明的體部設置、尤其產(chǎn)生或鍵合或粘接在有用層上。該解決方案是有利的，因為甚至通過陶瓷材料、尤其剛玉的非常薄的層實現(xiàn)高的抗劃并且通過同樣優(yōu)選非常薄的、尤其層狀構成的、由聚合材料構成的透明的體部實現(xiàn)高的抗斷強度。因為兩個層能夠非常薄地構成，所以產(chǎn)生的保護裝置能夠是非常薄的并且輕的。

此外，本發(fā)明涉及一種根據(jù)權利要求16的電子儀器、尤其智能電話、平板電腦、智能手表或電視機。根據(jù)本發(fā)明，電子儀器優(yōu)選包括至少一個圖像信號處理裝置和用于輸出通過該圖像信號處理裝置處理的圖像信號的顯示裝置。優(yōu)選地，至少顯示裝置和/或光學傳導的其他部分，如相機覆蓋件或指紋傳感器或觸摸屏的分開的區(qū)域或眼鏡鏡片或鐘表玻璃或瞄準器、尤其頭盔瞄準器或護目鏡玻璃由根據(jù)權利要求9的多層透明的保護裝置至少部分地或完全地疊加。

載體襯底和/或有用層優(yōu)選具有如下材料或材料組合，所述材料選擇元素周期表的第iii、第iv和第v主族的元素，例如si、sic、sige、ge、gaas、inp、gan、al2o3(藍寶石)、aln。尤其優(yōu)選地，載體襯底和/或有用層具有由存在于元素周期表的第iii和第v族的元素構成的組合。在此，可考慮的材料或材料組合物例如是砷化鎵、硅、碳化硅等。此外，載體襯底和/或有用層能夠具有陶瓷(例如al2o3(氧化鋁))或由陶瓷構成，優(yōu)選的陶瓷在此例如一般是鈣鈦礦陶瓷(例如含pb-，o-，ti/zr的陶瓷)或具體是鈮酸鉛鎂，鈦酸鋇，鈦酸鋰，釔鋁石榴石，尤其用于固體激光器應用的釔鋁石榴石晶體，saw陶瓷(表面聲波)，例如鈮酸鋰，磷酸鎵，石英，鈦酸鈣等。因此，載體襯底和/或有用層優(yōu)選具有半導體材料或陶瓷材料或載體襯底和/或有用層尤其優(yōu)選由至少一種半導體材料和/或陶瓷材料構成。此外，可考慮的是：載體襯底和/或有用層具有透明的材料或部分地由透明的材料，例如尤其α相或γ相中的剛玉構成或制成。在此考慮單獨地或以與其他材料組合的方式作為載體襯底和/或有用層的其他材料例如是“寬帶隙”的材料、inalsb，高溫超導體、尤其稀土銅酸鹽(例如yba2cu3o7)。附加地或替選地，可考慮的是：載體襯底和/或有用層是光掩模，其中在當前的情況下優(yōu)選任意至申請日已知的光掩模材料并且尤其優(yōu)選其組合能夠用作光掩材料。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，借助改性部改變、尤其破壞超過5％、尤其超過10％或超過20％或超過30％或超過40％或超過50％或超過60％或超過70％或超過80％或超過90％或超過95％的在剝離區(qū)域的走向中、即通過改性部預設的裂紋引導區(qū)域構成的晶格。該實施方式是有利的，因為例如通過激光加載能夠改變晶格、尤其犧牲層和/或有用層的晶格或者能夠產(chǎn)生缺陷、尤其微裂紋，使得能夠調(diào)節(jié)用于分離有用層與犧牲層所需要的力。根據(jù)本發(fā)明，在剝離區(qū)域中的晶體結構借助激光輻射改性或破壞，使得有用層由于激光處理與余留的多層裝置剝離或由此與其分開。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，犧牲層的可能余留在有用層上的材料部分在另一步驟中，尤其借助拋光除去。該實施方式是有利的，因為有用層能用少量的耗費從由載體襯底、犧牲層和有用層構成的原始的多層裝置的余留物中脫離。

附加地或替選地，上述目的通過用于制造固體層的方法實現(xiàn)。根據(jù)本發(fā)明的替選的方法至少包括如下步驟：構成或提供至少由結晶的載體襯底、有用層和轉移層構成的多層裝置，其中轉移層設置在載體襯底和有用層之間以及與載體襯底和有用層連接，其中轉移層構成為，使得所述轉移層將載體襯底的晶格信息轉移到有用層上，其中產(chǎn)生或處理有用層，使得所述有用層至少部分地具有晶格，其中晶格至少部分地根據(jù)通過轉移層提供的晶格信息構成，對多層裝置的至少一部分加載激光射束而在轉移層中至少部分地產(chǎn)生改性部或者在轉移層和載體襯底或有用層之間的連接的區(qū)域中產(chǎn)生剝離區(qū)域，尤其由于激光加載沿著剝離區(qū)域分離多層裝置。該解決方案是有利的，因為產(chǎn)生的有用層能夠施加到優(yōu)選至少部分透明的體部、尤其層或?qū)悠希蛘吲c其連接、尤其與其鍵合或粘接。

此外，就本發(fā)明而言，有用層能夠與保持層、尤其載體連接，其中載體不必須構成為是透明的并且優(yōu)選是金屬的或陶瓷的載體或板。

上述目的同樣通過用于對至少一個透明的體部覆層、尤其顯示屏玻璃或顯示屏保護層覆層的方法實現(xiàn)。在此，根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選包括至少下述步驟。構成或提供至少由結晶的載體襯底、有用層和轉移層構成的多層裝置。在此，轉移層設置在載體襯底和有用層之間以及與載體襯底和有用層連接。轉移層構成為，使得所述轉移層將載體襯底的晶格信息轉移到有用層上，其中產(chǎn)生或處理有用層，使得所述有用層至少部分地構成晶格。晶格至少部分地根據(jù)通過轉移層提供的晶格信息構成。此外，有用層與至少部分透明的體部、尤其功能層連接。對多層裝置的至少一部分加載激光射束，以在轉移層中至少部分地產(chǎn)生改性部或者在轉移層和載體襯底或有用層之間的連接的區(qū)域中產(chǎn)生改性部，以產(chǎn)生剝離區(qū)域。此外，尤其由于激光加載，沿著剝離區(qū)域分離多層裝置。

該解決方案是有利的，因為通過將有用層安置在至少部分透明的并且優(yōu)選透明的、尤其完全透明的體部上的方式設置覆層，所述覆層具有與體部的特性不同的特性。因此，有用層能夠比體部明顯更硬。優(yōu)選地，有用層部分地并且尤其優(yōu)選基本上完全構成晶格結構。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選的實施方式，有用層由于溫度處理從無定形狀態(tài)轉化成至少部分、尤其多數(shù)結晶的狀態(tài)，其中有用層在狀態(tài)轉變時接收通過轉移層提供的晶格信息，其中優(yōu)選借助電子射束加載引起溫度處理。該實施方式是有利的，因為首先以簡單的方式能夠產(chǎn)生呈無定形形式且具有限定的尺寸的有用層，并且能夠以(轉移層的)少量的材料損失產(chǎn)生將有用層變換成至少部分結晶的形式。

根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施方式，轉移層以結晶狀態(tài)在載體襯底上產(chǎn)生或以無定形狀態(tài)設置在載體襯底上，并且通過熱加載至少部分地并且優(yōu)選多數(shù)地或完全地轉化成結晶狀態(tài)。因此，轉移層能以多種方式提供，其中根據(jù)需要能夠選擇最適合的變型形式。此外，能夠產(chǎn)生非常薄的轉移層，由此減少稍后可能的再加工以及材料損失。

根據(jù)另一優(yōu)選的實施方式，載體襯底和有用層由相同的材料、尤其藍寶石或碳化硅構成，并且轉移層由與載體襯底和有用層的材料不同的材料、尤其硅構成。該實施方式是有利的，因為轉移層的材料優(yōu)選能夠簡單地操作、是合適的并且比用于保護透明的體部所需要的材料更軟。此外，轉移層尤其由于其小的厚度能夠?qū)⑤d體襯底的晶格信息傳達到有用層上。

通過參引，檔案編號為pct/ep2014/071512、de102013016682.9和de102014013107.6的、公開借助激光器射束在固體中進行改性部產(chǎn)生的專利申請的主題完全地構成本發(fā)明的主題。此外，文獻pct/us2008/012140和pct/ep2009/067539的、公開借助裂紋產(chǎn)生和裂紋擴展分開固體層的主題同樣完全地構成本發(fā)明的主題。

表述“基本上”的應用優(yōu)選在全部情況下進行限定，在所述情況下在本發(fā)明的范圍中應用該表述并且與沒有應用該表述的規(guī)定的偏差處于1％至30％、尤其1％至20％、尤其1％至10％、尤其1％至5％、尤其1％至2％的范圍中。

附圖說明

根據(jù)接下來對所附的附圖進行的描述闡述本發(fā)明的其他優(yōu)點、目標和特性，在所述附圖中示例性示出多層透明的保護裝置的根據(jù)本發(fā)明的制造。在附圖中至少基本上關于其功能一致的、根據(jù)本發(fā)明的保護裝置制造或電子儀器制造的組件或元件在此能夠標記有相同的附圖標記，其中這些組件或元件不必須在全部附圖中設有附圖標記或闡述。

附圖示出：

圖1a至圖1c示出用于產(chǎn)生固體層的步驟；

圖2a至圖2b示出用于對透明的體部覆層的步驟；

圖3示出示例性的電子儀器的立體圖，所述電子儀器具有彎曲的顯示屏保護件；

圖4a示出用于在固體、如犧牲層和/或有用層中產(chǎn)生改性部的示意性構造；

圖4b示出在固體層與固體或多層裝置分離之前層裝置的示意圖；

圖4c示出在固體層與固體或多層裝置分離之后層裝置的示意圖；

圖5a示出用于借助光波產(chǎn)生改性部的第一示意示出的變型形式；

圖5b示出用于借助光波產(chǎn)生改性部的第二示意示出的變型形式；

圖6示出將有用層設置在透明的體部上的步驟；

圖7a至圖7c示出用于產(chǎn)生多層裝置的變型形式和

圖8a至圖8c示出用于構成透明的體部的根據(jù)本發(fā)明的覆層的優(yōu)選的步驟。

具體實施方式

在圖1a中示出載體襯底4，所述載體襯底優(yōu)選由結晶的材料、尤其結晶的藍寶石或結晶的碳化硅構成。替選地，然而，同樣可考慮的是：載體襯底由金屬或金屬合金構成，因此載體襯底例如是鑄造的或模鍛的。犧牲層8優(yōu)選設置在載體襯底4上或在載體襯底4上構成。因此，犧牲層8能夠在載體襯底4上產(chǎn)生或與所述載體襯底連接。在此，犧牲層8具有優(yōu)選小于100μm、尤其小于50μm的厚度。

除出自圖1a示出的裝置之外，在圖1b中還示出激光器裝置11，通過所述激光器裝置加載犧牲層8，使得在犧牲層8的內(nèi)部結構中產(chǎn)生改性部12。在此，改性部12能夠在平面中產(chǎn)生或描述三維的輪廓。通過改性部12尤其優(yōu)選影響或預設裂紋走向。附加地或替選地，改性部能夠在有用層6(圖1c)中產(chǎn)生。因此，附加地或替選地，改性部12的產(chǎn)生能夠在有用層6的產(chǎn)生之后進行。優(yōu)選地，然后，激光器射束通過有用層6的暴露的表面或通過載體襯底4引入到犧牲層8和/或有用層6中，以在犧牲層8和/或有用層6中產(chǎn)生改性部12。

根據(jù)圖1c示出尤其由剛玉或碳化硅構成的有用層6，所述有用層借助化學氣相沉積或物理氣相沉積在犧牲層8上產(chǎn)生。載體襯底4、犧牲層8和有用層6共同構成多層裝置2。優(yōu)選地，有用層6具有小于100μm的厚度。如果有用層6在犧牲層8上產(chǎn)生，那么有用層6首先至少部分地或(體積上)多數(shù)地以無定形狀態(tài)或多晶狀態(tài)存在。于是，有用層6優(yōu)選借助溫度處理裝置、如電子射束源進行溫度處理，以便例如從第一相轉化成尤其更硬的第二相。優(yōu)選地，有用層6在其(在犧牲層8上)產(chǎn)生并且熱處理之后多數(shù)地或基本上完全地或完全地處于剛玉材料的γ相或剛玉材料的α相中，其中所述有用層尤其優(yōu)選由剛玉構成或具有剛玉。

因此，產(chǎn)生如此多的改性部12，使得構成或擴展裂紋，或進行材料削弱，使得將多層裝置分開或分離或分割成兩個固體部分。

替選地，就本發(fā)明而言，參考圖1b描述的步驟能夠在參考圖1c描述的步驟之后進行。因此，參考圖1b和圖1c描述的步驟同樣能夠以改變的順序進行。也就是說，參考圖1c描述的加工步驟或操作也能夠在參考圖1b描述的加工步驟或操作之前引起或執(zhí)行。因此，首先，能夠?qū)⒂杏脤?在犧牲層8上設置或產(chǎn)生，并且接著在犧牲層8中產(chǎn)生改性部12，其中激光器射束10在此穿過通過有用層6或穿過載體襯底4進入到犧牲層8中。

相對于圖1b，在圖2a中示出在替選的時間點、即在透明的體部14在有用層6上設置或產(chǎn)生之后，在犧牲層8中產(chǎn)生改性部12。由于產(chǎn)生改性部12，載體襯底4與犧牲層8的至少一部分與通過有用層6和透明的體部14形成的多層裝置2分開。透明的體部14例如能夠是尤其電子儀器、如平板電腦或智能電話的聚合物層或顯示屏玻璃。

在圖2b中示出在將犧牲層8的至少一部分和載體襯底4與余留的裝置分開之后的狀態(tài)。分開優(yōu)選進行為，使得從有用層6中除去犧牲層8的最大量的材料。這是有利的，因為有用層6由此僅必須少量地被再加工、尤其拋光。然而，由于犧牲層8的優(yōu)選小的總厚度，同樣可考慮的是：在分開時，犧牲層8的材料部分的50％或更多余留在有用層6上。在從有用層6中除去犧牲層部分8之后，實現(xiàn)由兩種至少部分透明的材料構成的優(yōu)選雙層的裝置，所述材料具有不同的特性、尤其強度。優(yōu)選地，透明的體部14由玻璃或塑料、尤其聚合物構成，而有用層6由陶瓷材料、尤其剛玉構成。

圖3示出一種電子儀器18，所述電子儀器在示出的形式中優(yōu)選是智能電話或平板電腦。電子儀器18具有根據(jù)本該發(fā)明的顯示屏玻璃20或顯示屏保護件20，所述顯示屏玻璃或所述顯示屏保護件至少由有用層6和透明的體部14(參見圖2b)形成。顯示屏玻璃20或顯示屏保護件20優(yōu)選觸摸感應地構成，借此能夠借助觸摸選擇所顯示的選項元素23。附圖標記24標記框架元件，通過所述框架元件包圍顯示屏玻璃20或顯示屏保護件20。

此外，從該圖示能夠得出：顯示屏或顯示屏保護件20具有彎曲的部分22。這是有利的，因為實現(xiàn)電子儀器18的符合人機工程學或更符合人機工程學的操作并且實現(xiàn)顯示屏面積增大。然而，根據(jù)未示出的實施方式，可行的是：彎曲的部分包括呈凹凸形或還有球形形狀的完整的顯示屏。

在圖4a至圖5b中示例性示出，如何借助激光器射束能夠在固體中產(chǎn)生改性部或缺陷。示出的并且緊接著描述的改性部產(chǎn)生或缺陷產(chǎn)生優(yōu)選能類似地應用在圖1a至圖3中示出的主題中。

在圖4a中示出固體102或襯底，所述固體或所述襯底設置在輻射源118、尤其激光器器的區(qū)域中。固體102優(yōu)選具有第一平面的面部分114和第二平面的面部分116，其中第一平面的面部分114優(yōu)選基本上或準確地平行于第二平面的面部分116定向。第一平面的面部分114和第二平面的面部分116優(yōu)選在y方向上對固體102限界，所述y方向優(yōu)選豎直或垂直地定向。平面的面部分114和116優(yōu)選分別在x-z平面中延伸，其中x-z平面優(yōu)選水平地定向。此外，從該圖示能夠得出：輻射源118將射束106放射到固體102上。射束106根據(jù)構造限定深度地進入到固體102中，并且在相應的位置或預設的位置處產(chǎn)生缺陷。

在圖4b中示出多層的裝置，其中固體102包含剝離平面108并且在第一平面的面部分114的區(qū)域中設置有保持層112，所述保持層又優(yōu)選被另一層120疊加，其中另一層120優(yōu)選是穩(wěn)定化裝置，尤其金屬板。在圖4c中示出在固體層104分開之后的狀態(tài)，其中優(yōu)選由于改性部產(chǎn)生進行分開。因此根據(jù)本發(fā)明，在剝離區(qū)域中的晶體結構借助激光輻射改性或破壞，使得有用層或固體層104由于(優(yōu)選直接由于)激光處理與余留的固體102剝離或由此與其分開。

在圖5a和圖5b中示出在圖4a中示出的、通過借助光射束將缺陷或改性部引入固體102中的方式產(chǎn)生剝離平面108的實例。

因此，在圖5a中示意性示出：如何借助輻射源118、尤其一個或多個激光器能在固體102中產(chǎn)生缺陷134，尤其以產(chǎn)生剝離平面108。在此，輻射源18發(fā)射具有第一波長1130和第二波長132的輻射106。在此，波長130、132彼此相協(xié)調(diào)成或在輻射源118和待產(chǎn)生的剝離平面108之間的距離協(xié)調(diào)成，使得波長130、132基本上或剛好在固體102中的剝離平面108上相遇，由此在相遇的位置134上由于兩個波長130、132的能量產(chǎn)生缺陷。在此，缺陷產(chǎn)生能夠通過不同的或組合的分解機制、例如升華或化學反應進行，其中分解在此例如能夠熱引發(fā)和/或光化學引發(fā)。

在圖5b中示出聚焦的光射束106，其焦點優(yōu)選位于剝離平面108中。在此，可考慮的是：光射束106通過一個或多個聚焦的體部、尤其透鏡(未示出)聚焦。在該實施方式中，固體102以多層方式構成并且優(yōu)選具有部分透明的或透明的襯底層或有用層103或材料層，所述襯底層或所述有用層或所述材料層優(yōu)選由剛玉、尤其藍寶石構成或具有藍寶石。光射束106穿過襯底層103達到剝離平面108上，所述剝離平面優(yōu)選通過犧牲層105形成，其中犧牲層105通過輻射進行加載，使得熱學地和/或光化學地引起犧牲層105在焦點中或在焦點的區(qū)域中部分或完全分解。同樣可考慮的是：用于產(chǎn)生分離層108的缺陷在該區(qū)域中產(chǎn)生或剛好在兩個層103、104之間的邊界面上產(chǎn)生。因此，同樣可考慮的是：固體層104在載體層、尤其襯底層103上產(chǎn)生并且借助一個或多個犧牲層105和/或借助在邊界面、尤其固體層104和載體層之間的邊界面中產(chǎn)生缺陷能產(chǎn)生用于分離或分開固體層104的剝離平面108。

圖6示出例如根據(jù)圖1d的裝置產(chǎn)生的有用層6和優(yōu)選至少部分透明的體部14，所述有用層尤其由藍寶石或藍寶石化合物構成或具有藍寶石，所述透明的體部尤其由透明的聚合物、透明的玻璃或透明的陶瓷構成。根據(jù)該設計方案，基本上作為固體層并且優(yōu)選在二維平坦的平面中延伸的有用層6設置在透明的體部14、尤其顯示屏玻璃上，尤其與其連接、尤其鍵合或粘接。因此，透明的體部14能夠具有表面或形態(tài)，所述表面或所述形態(tài)與平面的形狀不同、尤其至少部段彎曲。此外，有用層6和透明的體部14能夠具有不同的耐熱性，因為所述有用層和所述透明的體部能以不同的方法制造。此外，可考慮的是：當有用層6設置在透明的體部14上時，透明的體部14已經(jīng)與電子儀器的其他部件連接。因此，例如在圖3中示出的那樣，有用層6能夠設置在電子儀器上。

在示出的變型形式中，透明的體部14的表面和有用層6具有不同的彎曲，在所述表面上設置有用層6。在此，(如示出的那樣)同樣可考慮的是：有用層6以平面方式產(chǎn)生或提供。因此，在設置在透明的體部14的表面上時，有用層6能夠變形，尤其轉化成透明的體部14的表面的形狀，在所述表面上設置所述有用層。這是可行的，因為有用層6例如由于其小的厚度能夠是柔性的。

替選地，可考慮的是：透明的體部14的表面和有用層6彼此負像地或?qū)爻尚?，在所述表面上設置有用層6。優(yōu)選地，有用層6以這種形式產(chǎn)生，使得所述有用層無需變形而能以面狀的方式設置在透明的體部14的表面上。

因此，根據(jù)本發(fā)明的方法制造固體層或有用層6。在此，有用層6優(yōu)選借助下述步驟產(chǎn)生：提供載體襯底4，所述載體襯底具有設置在其上的犧牲層8，或犧牲層8設置在所提供的載體襯底4上，借助化學氣相沉積或物理氣相沉積在犧牲層8上產(chǎn)生有用層6，以構成多層裝置2，由于在有用層6和載體襯底4之間產(chǎn)生的材料薄弱部來分開有用層6，其中材料薄弱部通過在犧牲層8中借助激光器射束10產(chǎn)生的改性部12引起。于是，如此產(chǎn)生的有用層6一側地或兩側地優(yōu)選構成為呈二維平坦平面形式的固體層，并且設置在透明的體部14上，所述體部具有如下外部形狀，所述外部形狀優(yōu)選具有至少一個彎曲的部分，其中有用層6尤其作為保護層尤其通過鍵合施加到透明的體部14、尤其電子終端儀器、如智能手表、智能電話、平板電腦、tv等的組件上，使得有用層6至少以部段方式并且優(yōu)選面積上多數(shù)地或完全地與透明的體部14的外部形狀相匹配。因此，通過本發(fā)明提供如下可行性：通過施加尤其由藍寶石構成的有用層來有效地保護透明的體部，如智能手表的、智能電話的、平板電腦的、tv等的顯示屏玻璃免受破壞。

在圖7a中示出載體襯底4，所述載體襯底優(yōu)選由結晶的材料、尤其結晶的藍寶石或結晶的碳化硅構成。將轉移層8優(yōu)選設置或構成到載體襯底4上。因此，轉移層8能夠在載體襯底4上產(chǎn)生或與其連接。在該圖示中，轉移層8優(yōu)選以無定形狀態(tài)存在。在此，轉移層8具有優(yōu)選小于1μm的厚度。

除在圖7a中示出的裝置之外，在圖7b中還示出溫度處理裝置、尤其電子射束源16，轉移層8通過所述溫度處理裝置進行溫度處理，使得所述溫度處理裝置經(jīng)受相變，尤其從無定形狀態(tài)轉至少部分地并且優(yōu)選體積上多數(shù)地并且尤其優(yōu)選體積上完全地化成結晶狀態(tài)。

根據(jù)圖7c，尤其由藍寶石或碳化硅構成的有用層6設置或構成在轉移層8上。載體襯底4、轉移層8和有用層6共同構成多層裝置2。在此，可考慮的是：有用層6首先產(chǎn)生并且然后與轉移層8連接。然而，替選地，有用層6同樣能在轉移層8上產(chǎn)生。優(yōu)選地，有用層6具有小于100μm的厚度。如果有用層6應設置在轉移層8上，那么有用層6(體積上)優(yōu)選部分地或優(yōu)選多數(shù)地處于無定形狀態(tài)。于是，有用層6借助溫度處理裝置、如電子射束源16溫度處理，以便從無定形狀態(tài)轉化成結晶的或部分結晶的狀態(tài)。優(yōu)選地，有用層6在處理或其(在轉移層8)上產(chǎn)生之后多數(shù)地或基本上完全地或完全地以結晶狀態(tài)存在。

在圖8a中，根據(jù)圖7a至圖7c產(chǎn)生的多層裝置2設置或鍵合在透明的體部14上。透明的體部14例如能夠是尤其電子儀器的、如平板電腦的或智能電話的顯示屏玻璃。

在圖8b中示出在轉移層8中產(chǎn)生改性部12。在此，改性部12優(yōu)選借助由激光器、尤其皮秒激光器或飛秒激光器發(fā)射的激光射束10產(chǎn)生。在此，改性部12能夠是或引起材料變換和/或缺陷，如裂紋。

在圖8c中示出在轉移層8的至少一部分和載體襯底4與余留的裝置分開之后的狀態(tài)。分開優(yōu)選進行為，使得從有用層6中除去轉移層8的最大量的材料。這是有利的，因為有用層6由此僅必須少量地再加工、尤其拋光。然而，由于轉移層8的小的總厚度，同樣可考慮的是，在分開時，轉移層8的材料部分的50％或更多余留在有用層6上。在從有用層6中除去轉移層部分8之后，實現(xiàn)由兩種至少部分透明的材料構成的優(yōu)選雙層的裝置，所述材料具有不同的特性、尤其強度。優(yōu)選地，透明的體部14由玻璃或塑料構成，而有用層6由結晶材料構成。

因此，本發(fā)明涉及一種用于對至少一個透明的體部覆層、尤其顯示屏玻璃或顯示屏保護層或眼鏡玻璃或頭盔瞄準器、尤其摩托車頭盔瞄準器覆層的方法。根據(jù)本發(fā)明的方法至少包括如下步驟：構成或提供多層裝置，所述多層裝置至少由結晶的載體襯底、有用層和轉移層構成，其中轉移層設置在載體襯底和有用層之間以及與載體層和有用層連接，其中轉移層構成為，使得所述轉移層將載體襯底的晶格信息轉移到有用層上，其中有用層被產(chǎn)生或處理為，使得所述有用層至少部分地具有晶格，其中晶格至少部分地根據(jù)通過轉移層提供的晶格信息構成，有用層與至少部分透明的體部、尤其功能層連接，用激光射束加載多層裝置的至少一部分，來在轉移層中至少部分地產(chǎn)生改性部或在轉移層和載體襯底或有用層之間的連接的區(qū)域中產(chǎn)生改性部，以產(chǎn)生剝離區(qū)域，尤其由于激光加載將多層裝置沿著剝離區(qū)域分開。

優(yōu)選地，產(chǎn)生用于安置在透明的體部14上的有用層6，使得所述有用層具有至少一個表面，所述表面對應于如下表面的形狀，有用層6在所述表面上設置在透明的體部14或至少部分透明的體部14上。優(yōu)選地，有用層6具有一次彎曲的并且優(yōu)選多次彎曲的表面，并且尤其優(yōu)選具有兩個彼此平行的一次彎曲的并且尤其優(yōu)選多次彎曲的表面。在此，有用層6優(yōu)選產(chǎn)生為，使得一次彎曲的或多次彎曲的表面處于如下狀態(tài)下，在所述狀態(tài)中有用層6不經(jīng)受約束力。這是有利的，因為有用層6在這種情況下以沒有從外部產(chǎn)生的內(nèi)部應力的方式提出，并且能在這種狀態(tài)下設置在透明的體部14上。替選地，然而，就本發(fā)明而言，有用層6也能夠通過引入外力才轉化成這種形狀，所述形狀具有一次彎曲的或多次彎曲的部分或表面或表面的部分。因此，優(yōu)選由藍寶石構成或優(yōu)選具有藍寶石的有用層6優(yōu)選產(chǎn)生借助至少一個球形地、尤其一次彎曲地或多次彎曲地、尤其二次彎曲地或超過二次彎曲地、三次彎曲地或超過三次彎曲地或四次彎曲地或超過四次彎曲地成型的表面。

優(yōu)選地，將材料接合劑、尤其增附劑或粘接劑、尤其熱固性聚合物產(chǎn)生或施加到有用層6的、尤其藍寶石層的優(yōu)選一個至少球形成形的表面上和/或透明的體部14的上面設置有有用層6的表面上，以產(chǎn)生在透明的體部14、尤其玻璃，例如眼鏡玻璃或鐘表玻璃和有用層6之間的材料配合的連接。

因此，優(yōu)選地，產(chǎn)生具有球形成形的表面的藍寶石層并且借助熱固性聚合物材料配合地設置在至少部分透明的體部、如鐘表玻璃或眼鏡玻璃或瞄準器上。

替選地或附加地，本發(fā)明能夠涉及一種用于對至少一個透明的體部14覆層、尤其顯示屏玻璃或顯示屏保護層覆層的方法，所述方法包括至少下列步驟：構成或提供多層裝置2，所述多層裝置至少由結晶的載體襯底4、有用層6和轉移層8構成，其中轉移層8設置在載體襯底4和有用層6之間以及與載體層4和有用層6連接，其中轉移層8構成為，使得所述轉移層將載體襯底4的晶格信息轉移到有用層6上，其中有用層6產(chǎn)生或處理成，使得所述有用層至少部分地具有晶格，其中晶格至少部分地根據(jù)通過轉移層(8)提供的晶格信息構成，有用層6與至少部分透明的體部14連接，用激光射束10加載多層裝置2的至少一部分來在轉移層8中至少部分地產(chǎn)生改性部12，或在轉移層8和載體襯底4或有用層6之間的連接的區(qū)域中至少部分地產(chǎn)生改性部12，以產(chǎn)生剝離區(qū)域，多層裝置2沿著剝離區(qū)域分開。

至少關于圖7a至圖8c的主題，犧牲層8在此也能夠稱作轉移層8。

此外，本發(fā)明優(yōu)選涉及一種多層透明的裝置，尤其顯示屏元件或指紋傳感元件或眼鏡玻璃或瞄準器、尤其頭盔瞄準器。在此，多層透明的裝置優(yōu)選包括至少一個至少部分透明的體部14和與透明的體部14連接的至少部分透明的有用層6，其中透明的體部14優(yōu)選具有聚合材料或陶瓷材料或粘性材料，如玻璃，并且有用層6由陶瓷材料構成，其中有用層6比透明的體部14更硬，并且其中多層透明的裝置的制造優(yōu)選至少包括至少下述步驟：借助化學氣相沉積或物理氣相沉積產(chǎn)生有用層6并且將透明的體部14設置、尤其產(chǎn)生或鍵合在有用層6上。

有利地，將熱固性聚合物用于在優(yōu)選構成為藍寶石層的有用層和待保護的顯示屏或待保護的眼鏡玻璃或瞄準器之間鍵合。該聚合物能夠在小于200℃的相對低的溫度下完全固化，并且具有比熱塑性材料更強的附著力。此外，所述聚合物能夠非常良好地在其未完全固化的形式中、尤其作為光學透明的層6和14的薄的中間層加工。尤其有利的是，熱固性聚合物的折射率能夠與待保護的表面的折射率相協(xié)調(diào)(通常n～1.5)。在此，鍵合能夠在有用層6、尤其藍寶石層的分離之前，但也在有用層6、尤其藍寶石層的分離之后任意地進行。

對于拱起或球形成形的透明的體部，用于產(chǎn)生有用層6的底座同樣能夠調(diào)整為，使得所述底座已經(jīng)具有球形的或拱起的輪廓并且有用層6在其產(chǎn)生時已經(jīng)采用待保護的表面的輪廓或與待保護的表面至少類似的輪廓。這是尤其有利的，因為在此呈三維的形狀和拱起變得可行的，否則平坦產(chǎn)生的有用層6不再能夠占據(jù)所述形狀和拱起，或者，但是保護層的后續(xù)的拱起能夠引起待保護的表面上的不期望的應力或扭曲。在非平坦的層中有利的是：首先鍵合并且隨后才分離。由此，避免薄的保護膜的破裂或扯破。

本發(fā)明涉及一種用于制造至少一個固體層的方法，所述方法至少包括步驟：

提供載體襯底4，所述載體襯底具有設置在其上的犧牲層8，或?qū)奚鼘?設置在所提供的載體襯底4上，借助化學氣相沉積或物理氣相沉積在犧牲層8上產(chǎn)生有用層6，來構成多層裝置2，借助由于在有用層6和載體襯底4之間引導的產(chǎn)生裂紋的材料薄弱部分開有用層6，其中裂紋通過在犧牲層8中借助激光器射束10產(chǎn)生的改性部12引導來引起材料薄弱部。

附圖標記列表

2多層裝置103襯底

4載體襯底104固體層

6有用層105犧牲層

8犧牲層106輻射

10激光器射束108剝離平面

11激光器112保持層

12改性部114第一平面的面部分

14透明的體部116第二平面的面部分

18電子儀器118輻射源

20顯示屏玻璃120穩(wěn)定化裝置

22彎曲的部分130第一輻射部分

23選項元素132第二輻射部分

24框架134產(chǎn)生缺陷的位置

102固體