1.一種高自由度的四通真空連接件,包括管道(1)、設(shè)置在管道(1)側(cè)壁并與管道(1)連通的直管(2),其特征在于:在管道(1)的側(cè)壁上與直管(2)相對(duì)的位置設(shè)置有真空波紋管(3),并且真空波紋管(3)與管道(1)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述管道(1)、直管(2)和真空波紋管(3)的自由端開(kāi)口處均設(shè)置有法蘭臺(tái)階(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述法蘭臺(tái)階(4)為ISO—KF系列法蘭臺(tái)階。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述管道(1)、直管(2)、真空波紋管(3)和法蘭臺(tái)階(4)均采用不銹鋼制作而成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述真空波紋管(3)上設(shè)置有掛鉤(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述掛鉤(4)為軟材料制成的掛鉤。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高自由度的真空連接件,其特征在于:所述真空波紋管(3)的表面經(jīng)過(guò)電鍍銅工藝處理。