技術(shù)特征：

1.一種具備氧化鋅薄膜的鎢鎳合金材料的制備方法，該方法包括如下步驟：

（1）制備基體

按以下重量組份配制混合粉

碳化鎢，90.1％-92.8％，費氏粒度0.8-1μm；

鎳粉，5％-6％，費氏粒度0.5-1.0μm；

碳化鉻，余量；

將上述配比的混合粉進行濕磨；其中球磨時間分段控制；先將碳化物粉及添加劑碳化鉻加入球磨筒濕磨12-16小時，再加入鎳粉濕磨14-18小時；

將球磨完畢的混合料料漿干燥；

將干燥混合料壓制成所需形狀的壓制品；

將壓制品放在燒結(jié)爐內(nèi)高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1450-1470℃， 保溫時間70-90min，燒結(jié)壓力為4.5-5.0Mpa，獲得鎢鎳合金基體；

（2）基體預處理

所述基體預處理，可依次進行研磨拋光、超聲清洗和離子源清洗；

（3）將純ZnO粉末和純Cr氧化物粉末按化學式Zn_1-xCr_xO計量比混合、研磨、1200-1450 ℃燒結(jié)，制成ZnO基陶瓷靶材，0.05≦x＜0.15；

（4） 采用磁控濺射方法，以ZnO基陶瓷靶材作為靶材，在經(jīng)預處理的基體上沉積一層ZnO基薄膜，沉積條件為：基體和靶材的距離為80 mm，生長室真空度在2×10^-3 Pa以上，生長室通入純Ar，或者Ar和O₂，Ar和O₂的流量比為100：1-100：5，控制壓強為1- 5Pa，調(diào)節(jié)濺射功率為100 - 200 W，基體溫度為75- 300 ℃，濺射時間為30 - 60 min；

將所得的薄膜在濃度為1.0 - 5.0 wt% CH₃COONH₄溶液中腐蝕10 - 30 min，得到具備氧化鋅薄膜的鎢鎳合金材料。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟（2）中，所述研磨拋光，可將基體先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min，然后在1200目的金剛石砂輪盤上進行細磨10min，再用W2.5的金剛石拋光粉進行拋光至試樣表面均勻光亮，所述超聲清洗，可將研磨拋光后的基體按以下順序清洗，丙酮超聲清洗5min→無水乙醇超聲清洗5min→烘干待用，所述離子源清洗，可采用霍爾離子源對基體進行清洗5min，壓強為2×10^-2Pa，基體溫度為300℃，氬氣通量為10sccm，偏壓為-100V，陰極電流為29.5A，陰極電壓為19V，陽極電流為7A，陽極電壓為80V，以清除基體表面的吸附氣體以及雜質(zhì)，提高沉積涂層與基體的結(jié)合強度以及成膜質(zhì)量。