本發(fā)明的柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)及方法，屬于電解加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

微尺度槽結(jié)構(gòu)廣泛存在于航空航天、儀器儀表等領(lǐng)域的重要零件中，并且多以群槽結(jié)構(gòu)出現(xiàn)。為了滿足使用需求，一般采用鈦合金、高溫合金、不銹鋼等難加工材料。此類難加工材料微群槽結(jié)構(gòu)的制造對(duì)現(xiàn)有加工技術(shù)提出了極大挑戰(zhàn)，已成為研究熱點(diǎn)和難點(diǎn)。

國(guó)內(nèi)外研究人員提出了多種工藝方法來(lái)提高微群槽結(jié)構(gòu)的加工質(zhì)量、加工效率。塑性成形是微群槽結(jié)構(gòu)的常用加工方法，已實(shí)現(xiàn)常規(guī)材料微細(xì)結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)應(yīng)用，但由于難加工材料屈服應(yīng)力較高，塑性成形工藝存在著成形力大、模具磨損大、工件殘余應(yīng)力大、金屬薄板材易變形等問(wèn)題。微細(xì)銑削是微群槽結(jié)構(gòu)的又一種加工方法，但對(duì)于難加工材料薄壁微群槽結(jié)構(gòu)，微細(xì)銑削仍存在板材易變形、加工應(yīng)力、刀具磨損、加工毛刺不可避免、加工效率低等問(wèn)題。研究人員還采用微細(xì)電火花加工、激光加工、化學(xué)刻蝕等工藝加工微群槽結(jié)構(gòu)。電火花加工、激光加工利用熱能蝕除工件，薄壁零件受熱易變形；電火花加工速度慢，工具電極損耗嚴(yán)重；激光加工存在殘留熔融物遇冷凝固形成的“翻邊”，通常需要采用二次光整加工工藝去除。激光加工、化學(xué)刻蝕加工對(duì)于微槽的精度控制能力差。

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)外研究人員特別關(guān)注微細(xì)電解加工技術(shù)，期望利用其獨(dú)特的加工原理和特性解決難加工材料薄壁微槽結(jié)構(gòu)的制造難題。日本東京大學(xué)Kunieda等采用射流電化學(xué)加工技術(shù)在復(fù)雜曲面表面加工出微溝槽；德國(guó)Hackert等采用電液束技術(shù)掃描加工出帶有微群槽結(jié)構(gòu)的微反應(yīng)器。臺(tái)灣元智大學(xué)Lee等采用塊狀成形電極電解加工微流道，模擬了該加工方式下微流道的成型過(guò)程，加工出表面寬450微米、底面寬340微米、深65微米的微群槽流道。英國(guó)紐卡斯?fàn)柎髮W(xué)Roy等采用電解轉(zhuǎn)印工藝加工出微流道。南通大學(xué)錢雙慶等開展了蛇形微槽的電化學(xué)掩膜刻蝕電場(chǎng)的有限元分析，研究了加工參數(shù)對(duì)槽寬度與深度的影響等。

電解加工技術(shù)是基于電化學(xué)陽(yáng)極溶解原理實(shí)現(xiàn)材料去除的加工技術(shù)，因此其不受材料力學(xué)性能的限制。在加工過(guò)程中工具陰極與工件陽(yáng)極始終處于不接觸狀態(tài)，因此不存在機(jī)械力，工件表面質(zhì)量較好、無(wú)毛刺，工具電極無(wú)損耗可以長(zhǎng)期重復(fù)使用。

利用微米尺度的金屬絲作為工具電極的線電極電解切割技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)半圓截面微槽結(jié)構(gòu)的加工，工藝準(zhǔn)備時(shí)間短。利用多根以并聯(lián)形式與脈沖電源連接的固定間距的陣列金屬絲作為工具電極可以實(shí)現(xiàn)微群槽加工，有效提高電解線切割加工的加工效率，特別適合準(zhǔn)半圓截面微群槽結(jié)構(gòu)的加工成型。

利用成形工具電極可以實(shí)現(xiàn)多種截面形狀微槽結(jié)構(gòu)的電解加工。預(yù)先制備出與待加工微群槽截面形狀和尺寸相對(duì)應(yīng)的成形梳齒狀薄片電極及陣列滾齒狀電極片，利用高頻脈沖電源進(jìn)行電解加工可以實(shí)現(xiàn)微群槽結(jié)構(gòu)的加工需求。在加工過(guò)程中輔助以梳齒狀薄片電極的微幅往復(fù)運(yùn)動(dòng)，或者滾齒狀電極的高速轉(zhuǎn)動(dòng)，可以促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新及電解產(chǎn)物的有效排出，有助于提高微群槽結(jié)構(gòu)的加工效率和加工精度。

綜上可見(jiàn)，電解加工十分適合難加工材料微群槽結(jié)構(gòu)的加工，采用不同形式的工具電極可加工多種截面形狀、不同需求微群槽結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在解決柔性金屬薄板微群槽結(jié)構(gòu)的加工難題，提出一種工藝簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)的柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)及方法。

一種柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)及方法,其特征在于：包括柔性金屬薄板工件輸運(yùn)系統(tǒng)、電解加工工具電極系統(tǒng)、加工電源、電解液循環(huán)系統(tǒng)、電解加工機(jī)床；所述柔性金屬薄板輸運(yùn)系統(tǒng)包括輸送輪、若干支撐輥輪、弧形掩膜板、主動(dòng)輪；上述弧形掩膜板具有鏤空溝槽結(jié)構(gòu)，并安裝、固定在支撐輥輪的輥輪軸上，加工過(guò)程中保持固定、不隨支撐輥輪轉(zhuǎn)動(dòng)；柔性金屬薄板一端繞制在輸送輪上，柔性金屬薄板另一端依次從若干支撐輥輪及弧形掩膜板之間穿過(guò)，并固定于主動(dòng)輪上，柔性金屬薄板內(nèi)表面、外表面貼緊相應(yīng)的支撐輥輪與弧形掩膜板；所述電解加工工具電極系統(tǒng)包括若干工具陰極單元；每個(gè)工具陰極單元包括安裝座與工具電極；工具電極固定在安裝座上，并通過(guò)安裝座與加工電源負(fù)極相連，工具電極的工作面穿過(guò)上述弧形掩膜板的鏤空溝槽并與支撐輥輪表面相切，與待加工微群槽位置相對(duì)應(yīng)；上述若干工具電極單元分別與待加工微群槽位置相對(duì)應(yīng)，具體包括下述兩種情況之一或兩種均包括：第一種情況：工具電極單元分組安裝在不同支撐輥輪處，并錯(cuò)位對(duì)應(yīng)金屬薄板上不同微群槽位置，以避免微群槽間距過(guò)小時(shí)在同一支撐輥輪處安裝過(guò)多工具電極；第二種情況：將同一微槽沿深度方向遞進(jìn)式分為多個(gè)工位加工，工具電極分組安裝在不同支撐輥輪處，并對(duì)應(yīng)金屬薄板上相同微群槽位置。

其實(shí)施過(guò)程如下：工具電極沿輥輪徑向進(jìn)給，在柔性薄板表面加工出溝槽結(jié)構(gòu)；加工至指定深度后，主動(dòng)輪連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)柔性金屬薄板沿輥輪切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，完成柔性薄板表面微群槽結(jié)構(gòu)的連續(xù)電解加工；加工過(guò)程中，工具電極同步進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)，以促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新及電解產(chǎn)物的排出。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1．采用本系統(tǒng)及方法加工柔性金屬薄板微群槽結(jié)構(gòu)，可以有效提高微群槽的加工效率。在整個(gè)加工過(guò)程工具電極系統(tǒng)只進(jìn)行一次進(jìn)給過(guò)程，待加工至指定深度后，輥輪連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，柔性工件沿輥輪切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，柔性表面被連續(xù)加工出微群槽結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)微群槽結(jié)構(gòu)的一次加工成型，因而可以有效提高微群槽的加工效率。

2．上述柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)柔性金屬薄板的單面群槽結(jié)構(gòu)加工，也可以實(shí)現(xiàn)柔性金屬薄板的雙面群槽結(jié)構(gòu)加工。對(duì)于柔性金屬薄板的單面群槽結(jié)構(gòu)加工，只需在微群槽結(jié)構(gòu)所在表面安裝工具電極系統(tǒng)進(jìn)行電解加工即可。對(duì)于柔性金屬薄板雙面微群槽結(jié)構(gòu)加工，則應(yīng)在柔性金屬薄板上下表面分別安裝工具電極系統(tǒng)進(jìn)行電解加工。

3．上述柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)采用具有溝槽狀鏤空結(jié)構(gòu)的弧形掩膜板。在加工過(guò)程中，工件表面待加工區(qū)裸露，非加工區(qū)被屏蔽。單個(gè)工具電極工作面在掩膜板溝槽內(nèi)與裸露的工件組成獨(dú)立離散的加工單元，電解液沿掩膜板溝槽流動(dòng)進(jìn)入加工區(qū)，可以有效實(shí)現(xiàn)非加工區(qū)的隔離保護(hù)。

4.上述柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)中，在電解加工工具電極系統(tǒng)中，其工具電極可為陣列線電極。陣列線電極采用常見(jiàn)金屬絲作為工具電極，不需要預(yù)先制備成形工具電極，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。在陣列線電極工具電極系統(tǒng)中，其裝夾方式為：

所述安裝座上分布有緊固螺釘；所述安裝座上預(yù)先加工出具有一定間距的微群槽；所述安裝座具有陣列線電極張緊裝置；工具線電極一端固定于安裝座一側(cè)緊固螺釘，工具線電極對(duì)應(yīng)于所要加工的薄板微群槽間距，均勻分布于安裝座上微槽內(nèi)；所述工具線電極另一端固定于安裝座另一側(cè)緊固螺釘；所述陣列線電極張緊裝置實(shí)現(xiàn)陣列線電極的張緊；加工時(shí)通過(guò)機(jī)床X軸或Y軸的微幅往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)陣列線電極微幅往復(fù)振動(dòng)，通過(guò)機(jī)床Z軸的微幅高頻往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)陣列線電極沿進(jìn)給方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)“脈動(dòng)態(tài)”加工，可以帶動(dòng)加工區(qū)電解液流動(dòng)，促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新循環(huán)以及電解產(chǎn)物的排出。

5.上述柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)中，在電解加工工具電極系統(tǒng)中，其工具電極可為梳齒狀薄片電極，其單個(gè)電極可制備為不同形狀的成形電極，因此可以實(shí)現(xiàn)不同截面形狀的群槽結(jié)構(gòu)加工。由于薄片電極具有一定強(qiáng)度和剛度，因此加工時(shí)可實(shí)現(xiàn)方便快速對(duì)刀，并且在加工過(guò)程中沒(méi)有“讓刀”現(xiàn)象。其裝夾方式為：梳齒狀薄片電極固定于安裝座上。加工時(shí)通過(guò)機(jī)床X軸或Y軸的微幅往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)梳齒狀薄片電極微幅往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可以帶動(dòng)加工區(qū)電解液流動(dòng)，促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新循環(huán)以及電解產(chǎn)物的排出。

6.上述柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)中，在電解加工工具電極系統(tǒng)中，其工具電極可為陣列滾齒狀電極。由于滾齒狀電極具有一定強(qiáng)度和剛度，因此加工時(shí)可實(shí)現(xiàn)方便快速對(duì)刀，并且在加工過(guò)程中沒(méi)有“讓刀”現(xiàn)象。此外，在加工過(guò)程中滾齒狀電極處于高速轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)，因此其單個(gè)電極片中局部鋸齒結(jié)構(gòu)的損壞對(duì)加工結(jié)果的影響較小。其裝夾方式為：所述安裝座一端固定于電解加工機(jī)床的電主軸上；所述安裝座具有若干個(gè)隔離墊片，隔離墊片厚度略大于待加工微群槽的間距大??；所述陣列滾齒狀電極與隔離墊片，按照滾齒狀電極—隔離墊片的順序多層依次相隔安裝固定在安裝座上；加工時(shí)通過(guò)電主軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)滾齒狀電極高速轉(zhuǎn)動(dòng)，可以帶動(dòng)加工區(qū)電解液流動(dòng)，促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新循環(huán)以及電解產(chǎn)物的排出。

附圖說(shuō)明

圖1柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工示意圖；

圖2陣列線電極微群槽電解加工示意圖；

圖3梳齒狀薄片電極微群槽電解加工示意圖；

圖4陣列滾齒狀電極微群槽電解加工示意圖；

圖5柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)示意圖。

圖中標(biāo)號(hào)名稱：1、加工電源，2、微群槽，3、支撐輥輪、4、弧形掩膜板，5、柔性金屬薄板，6、陣列線電極，7、電解液，8、輸送輪，9、主動(dòng)輪，10、梳齒狀薄片電極，11、陣列滾齒電極，12、電解液儲(chǔ)液箱，13、過(guò)濾器，14、壓力泵，15、單向閥，16、壓力表，17、程控電源，18、霍爾傳感器，19、數(shù)據(jù)采集卡，20、工控機(jī)，21、運(yùn)動(dòng)控制卡，22、機(jī)床Z向進(jìn)給軸，23、工作箱，24、電解加工工具電極系統(tǒng)，25、機(jī)床Y向進(jìn)給軸，26、機(jī)床X向進(jìn)給軸，27、機(jī)床本體。

具體實(shí)施方式

圖1所示的柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工示意圖中，加工時(shí)，首先將弧形掩膜板4安裝、固定在支撐輥輪3的輥輪軸上，將柔性金屬薄板5一端繞制在輸送輪8上，柔性金屬薄板5另一端依次從弧形掩膜板4和支撐輥輪3之間穿過(guò)，并固定于主動(dòng)輪9上，柔性金屬薄板5內(nèi)表面、外表面貼緊相應(yīng)的支撐輥輪3與弧形掩膜板4；然后根據(jù)所要加工的微群槽2的槽寬、槽深、截面形狀、槽間距選擇電解加工工具電極，完成工具電極的安裝、固定；然后，將電解液7對(duì)準(zhǔn)加工區(qū)進(jìn)行沖液，工具電極沿支撐輥輪3徑向進(jìn)給，在柔性金屬薄板5表面加工出溝槽結(jié)構(gòu)；加工至指定深度后，主動(dòng)輪9連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)柔性金屬薄板5沿支撐輥輪3切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，完成柔性金屬薄板5表面微群槽2結(jié)構(gòu)的加工。加工過(guò)程中，工具電極同步進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)，以促進(jìn)加工區(qū)電解液的更新及電解產(chǎn)物的排出。

圖5所示的柔性金屬薄板微群槽連續(xù)電解加工系統(tǒng)示意圖中，程控電源17、機(jī)床Z向進(jìn)給軸22、電解切割工裝夾具系統(tǒng)24、機(jī)床Y向進(jìn)給軸25、機(jī)床X向進(jìn)給軸26、機(jī)床本體27組成電解加工機(jī)床硬件系統(tǒng)；運(yùn)動(dòng)控制卡21、數(shù)據(jù)采集卡19、霍爾傳感器18、工控機(jī)20及相關(guān)線路組成了電解加工機(jī)床控制系統(tǒng)；電解液儲(chǔ)液箱12、過(guò)濾器13、壓力泵14、單向閥15、壓力表16、工作箱23及相關(guān)管路組成電解液循環(huán)系統(tǒng)。

下面結(jié)合圖1、圖2、圖3、圖4、圖5說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施過(guò)程：

1．參考圖1、圖2、圖5，利用陣列線電極加工柔性金屬薄板微群槽結(jié)構(gòu)時(shí)，首先將弧形掩膜板4安裝、固定在支撐輥輪3的輥輪軸上，將柔性金屬薄板5一端繞制在輸送輪8上，柔性金屬薄板5另一端依次從弧形掩膜板4和支撐輥輪3之間穿過(guò)，并固定于主動(dòng)輪9上，柔性金屬薄板5內(nèi)表面、外表面貼緊相應(yīng)的支撐輥輪3與弧形掩膜板4。根據(jù)所要加工的微群槽2的槽寬、槽深選擇微尺度金屬線電極6，將陣列線電極6安裝在安裝座上，并張緊。安裝電解加工工具電極系統(tǒng)24于機(jī)床Z向進(jìn)給軸22上，調(diào)整陣列線電極6與柔性金屬薄板5的相對(duì)位置，使陣列線電極6所在平面平行于弧形掩膜板4外圓柱表面中心位置的相切面。對(duì)刀時(shí)，由程控電源17在兩極間施加測(cè)試電壓，機(jī)床進(jìn)給軸緩慢進(jìn)給，電流信號(hào)的變化通過(guò)霍爾傳感器18測(cè)定，工控機(jī)20對(duì)信號(hào)進(jìn)行監(jiān)控完成對(duì)刀，并設(shè)定初始加工間隙。加工開始時(shí)，啟動(dòng)壓力泵14，將電解液7以恒定壓力輸送到工作箱23實(shí)現(xiàn)沖液，程控電源17輸出電壓；陣列線電極6沿支撐輥輪3徑向進(jìn)給，在柔性金屬薄板5表面加工出溝槽；加工至指定深度后，主動(dòng)輪9連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)柔性金屬薄板5沿支撐輥輪3切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，完成柔性金屬薄板5表面微群槽2結(jié)構(gòu)的加工。加工過(guò)程中，陣列線電極6在機(jī)床X向進(jìn)給軸26或Y向進(jìn)給軸25的帶動(dòng)下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；通過(guò)機(jī)床Z向進(jìn)給軸22的微幅高頻往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)陣列線電極沿進(jìn)給方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)“脈動(dòng)態(tài)”加工，促進(jìn)電解液的更新及電解產(chǎn)物的排出。

2．參考圖1、圖3、圖5，利用梳齒狀薄片電極加工柔性金屬薄板微群槽結(jié)構(gòu)時(shí)，首先將弧形掩膜板4安裝、固定在支撐輥輪3的輥輪軸上，將柔性金屬薄板5一端繞制在輸送輪8上，柔性金屬薄板5另一端依次從弧形掩膜板4和支撐輥輪3之間穿過(guò)，并固定于主動(dòng)輪9上，柔性金屬薄板5內(nèi)表面、外表面貼緊相應(yīng)的支撐輥輪3與弧形掩膜板4。根據(jù)所要加工的微群槽2的槽寬、槽深、截面形狀及槽間距制備梳齒狀薄片電極10，將梳齒狀薄片電極10安裝、固定在安裝座上。安裝電解加工工具電極系統(tǒng)24于機(jī)床Z向進(jìn)給軸22上，調(diào)整梳齒狀薄片電極10與柔性金屬薄板5的相對(duì)位置，使梳齒狀薄片電極10加工前端所在平面平行于弧形掩膜板4外圓柱表面中心位置的相切面。對(duì)刀時(shí)，由程控電源17在兩極間施加測(cè)試電壓，機(jī)床進(jìn)給軸緩慢進(jìn)給，電流信號(hào)的變化通過(guò)霍爾傳感器18測(cè)定，工控機(jī)20對(duì)信號(hào)進(jìn)行監(jiān)控完成對(duì)刀，并設(shè)定初始加工間隙。加工開始時(shí)，啟動(dòng)壓力泵14，將電解液7以恒定壓力輸送到工作箱23實(shí)現(xiàn)沖液，程控電源17輸出電壓；梳齒狀薄片電極10沿支撐輥輪3徑向進(jìn)給，在柔性金屬薄板5表面加工出溝槽；加工至指定深度后，主動(dòng)輪9連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)柔性金屬薄板5沿支撐輥輪3切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，完成柔性金屬薄板5表面微群槽2結(jié)構(gòu)的加工。加工過(guò)程中，梳齒狀薄片電極10在機(jī)床X向進(jìn)給軸26或機(jī)床Y向進(jìn)給軸25的帶動(dòng)下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，促進(jìn)電解液的更新及電解產(chǎn)物的排出。

3．參考圖1、圖4、圖5，利用陣列滾齒狀電極加工柔性金屬薄板微群槽結(jié)構(gòu)時(shí)，首先將弧形掩膜板4安裝、固定在支撐輥輪3的輥輪軸上，將柔性金屬薄板5一端繞制在輸送輪8上，柔性金屬薄板5另一端依次從弧形掩膜板4和支撐輥輪3之間穿過(guò)，并固定于主動(dòng)輪9上，柔性金屬薄板5內(nèi)表面、外表面貼緊相應(yīng)的支撐輥輪3與弧形掩膜板4。根據(jù)所要加工的微群槽2的槽寬、槽深、截面形狀及槽間距制備陣列滾齒狀電極11，將陣列滾齒狀電極11安裝、固定在安裝座上。安裝電解加工工具電極系統(tǒng)24于機(jī)床Z向進(jìn)給軸22上，調(diào)整陣列滾齒狀電極11與柔性金屬薄板5的相對(duì)位置，使陣列滾齒狀電極11與弧形掩膜板4外圓柱表面中心位置在加工區(qū)相切。對(duì)刀時(shí)，由程控電源17在兩極間施加測(cè)試電壓，機(jī)床進(jìn)給軸緩慢進(jìn)給，電流信號(hào)的變化通過(guò)霍爾傳感器18測(cè)定，工控機(jī)20對(duì)信號(hào)進(jìn)行監(jiān)控完成對(duì)刀，并設(shè)定初始加工間隙。加工開始時(shí)，啟動(dòng)壓力泵14，將電解液7以恒定壓力輸送到工作箱23實(shí)現(xiàn)沖液，程控電源17輸出電壓；陣列滾齒狀電極11沿支撐輥輪3徑向進(jìn)給，在柔性金屬薄板5表面加工出溝槽；加工至指定深度后，主動(dòng)輪9連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)柔性金屬薄板5沿支撐輥輪3切線方向緩慢滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)性進(jìn)給，完成柔性金屬薄板5表面微群槽2結(jié)構(gòu)的加工。加工過(guò)程中，陣列滾齒狀電極11在電主軸的帶動(dòng)下高速轉(zhuǎn)動(dòng)，促進(jìn)電解液的更新及電解產(chǎn)物的排出。