本發(fā)明涉及一種運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，更具體地說，涉及一種能夠?qū)?shí)現(xiàn)多軸運(yùn)動(dòng)的平臺(tái)。

背景技術(shù)：

在光學(xué)控制或者機(jī)械制造過程中，需要在平面上提供三軸運(yùn)動(dòng)的功能。比如，將某個(gè)物體從一個(gè)位置移動(dòng)到另外一個(gè)位置，并轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度。這個(gè)實(shí)現(xiàn)我們需要用到兩個(gè)直線運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)上述目的。

但是，該種方式實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)存在剛性差、受力狀態(tài)不佳等缺點(diǎn)。況且，為了實(shí)現(xiàn)大扭矩的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，需要采用大減速比的減速器作為過度單元，由于減速器采用齒輪從動(dòng)，齒輪傳動(dòng)存在齒輪間隙，導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)精度不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供了一種平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于平面范圍內(nèi)的平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，其中平動(dòng)包括兩個(gè)自由度，轉(zhuǎn)動(dòng)包括一個(gè)自由度；本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，利用三個(gè)運(yùn)動(dòng)單元和一個(gè)無動(dòng)力軸支撐于工作臺(tái)的四個(gè)端點(diǎn)，工作臺(tái)受力狀態(tài)良好，結(jié)構(gòu)剛性高；以直線導(dǎo)軌作為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，摩擦阻力小，傳動(dòng)效率高，運(yùn)動(dòng)精度高。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括：底座、工作臺(tái)、無動(dòng)力軸、A軸運(yùn)動(dòng)單元、B軸運(yùn)動(dòng)單元、C軸運(yùn)動(dòng)單元，所述無動(dòng)力軸、A軸運(yùn)動(dòng)單元、B軸運(yùn)動(dòng)單元、C軸運(yùn)動(dòng)單元固連于所述底座上，所述工作臺(tái)固連于所述無動(dòng)力軸、A軸運(yùn)動(dòng)單元、B軸運(yùn)動(dòng)單元、C軸運(yùn)動(dòng)單元。

優(yōu)選地，所述A軸運(yùn)動(dòng)單元包括：A芯軸、AX軸滑塊、AY軸滑塊、A螺母、A底座塊、A電機(jī)和動(dòng)力單元，所述動(dòng)力單元包括：絲桿、支架、聯(lián)軸器，所述絲桿活動(dòng)連接于所述螺母，所述支架固連于所述底座上，所述A電機(jī)的輸出軸通過所述聯(lián)軸器固連于所述絲桿；所述A螺母固連于所述AY軸滑塊；所述A底座塊固連于所述底座上，所述AY軸滑塊活動(dòng)連接于所述A底座塊，所述AX軸滑塊活動(dòng)連接于所述AY軸滑塊，所述A芯軸活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊；所述工作臺(tái)固連于所述A芯軸。

優(yōu)選地，所述B軸運(yùn)動(dòng)單元包括：B芯軸、BY滑塊、BX滑塊、B螺母、B底座塊、B電機(jī)和動(dòng)力單元，所述動(dòng)力單元包括：絲桿、支架、聯(lián)軸器，所述絲桿活動(dòng)連接于所述B螺母，所述支架固連于所述底座上，所述B電機(jī)的輸出軸通過所述聯(lián)軸器固連于所述絲桿；所述B螺母固連于所述BX滑塊；所述B底座塊固連于所述底座上，所述BX滑塊活動(dòng)連接于所述B底座塊，所述BY滑塊活動(dòng)連接于所述BX滑塊，所述B芯軸活動(dòng)連接于所述BY滑塊；所述工作臺(tái)固連于所述B芯軸。

優(yōu)選地，所述C軸運(yùn)動(dòng)單元包括：C底座塊、CX滑塊、CY滑塊、C芯軸、D芯軸、C螺母、C電機(jī)和動(dòng)力單元，所述動(dòng)力單元包括：絲桿、支架、聯(lián)軸器，所述絲桿活動(dòng)連接于所述C螺母，所述支架固連于所述底座上，所述C電機(jī)的輸出軸通過所述聯(lián)軸器固連于所述絲桿；所述C螺母固連于所述BX滑塊；所述C底座塊固連于所述底座上，所述CX滑塊活動(dòng)連接于所述C底座塊，所述CY滑塊活動(dòng)連接于所述CX滑塊，所述C芯軸活動(dòng)連接于所述CY滑塊；所述工作臺(tái)固連于所述C芯軸。

優(yōu)選地，所述無動(dòng)力軸包括：D芯軸、DX滑塊、DY滑塊、D底座塊，所述D底座塊固連于所述底座，所述DY滑塊活動(dòng)連接于所述D底座塊，所述DY滑塊活動(dòng)連接于所述DX滑塊，所述D芯軸活動(dòng)連接于所述DX滑塊。

和傳統(tǒng)技術(shù)相比，本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有以下積極作用和有益效果：

首先建立相對(duì)于所述底座的基坐標(biāo)系，確定X軸和Y軸的方向。接著在所述A軸運(yùn)動(dòng)單元上建立相對(duì)于所述底座的基坐標(biāo)系，確定AX軸和AY軸的方向；接著在所述B軸運(yùn)動(dòng)單元上建立相對(duì)于所述底座的基坐標(biāo)系，確定BX軸和BY軸的方向；接著在所述C軸運(yùn)動(dòng)單元上建立相對(duì)于所述底座的基坐標(biāo)系，確定CX軸和CY軸的方向。

首先描述所述A軸運(yùn)動(dòng)單元的工作過程和工作原理：

所述A底座塊固連于所述底座上，所述AY軸滑塊活動(dòng)連接于所述A底座塊，所述AX軸滑塊活動(dòng)連接于所述AY軸滑塊，所述A芯軸活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊，所述A芯軸可以相對(duì)于所述AX軸滑塊并繞所述A芯軸的中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。所述工作臺(tái)固連于所述芯軸。也可以理解為，所述工作臺(tái)可以相對(duì)于所述AX軸滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)。所述AY軸滑塊可相對(duì)于所述A底座塊做AY軸方向上的直線運(yùn)動(dòng)；所述AX軸滑塊可相對(duì)于所述AY軸滑塊做AX軸方向上的直線運(yùn)動(dòng)。

所述絲桿活動(dòng)連接于所述螺母，所述支架固連于所述底座上，所述A電機(jī)的輸出軸通過所述聯(lián)軸器固連于所述絲桿。由于所述A螺母固連于所述AY軸滑塊，因此所述AY軸滑塊的運(yùn)動(dòng)受到所述A電機(jī)的控制。由于所述芯軸固連于所述工作臺(tái)，所述A芯軸活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊，因此所述AX軸滑塊的運(yùn)動(dòng)受到所述工作臺(tái)的控制。同時(shí)可以理解為，所述A軸運(yùn)動(dòng)單元在AY軸方向上對(duì)所述AX軸滑塊進(jìn)行了控制。

由于所述A軸運(yùn)動(dòng)單元、B軸運(yùn)動(dòng)單元、C軸運(yùn)動(dòng)單元具有類似的結(jié)構(gòu)，參照所述A軸運(yùn)動(dòng)單元的工作原理，本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)將不在贅述B軸運(yùn)動(dòng)單元、C軸運(yùn)動(dòng)單元的工作過程和工作原理?？梢缘玫降慕Y(jié)論是，所述B軸運(yùn)動(dòng)單元在BX軸方向上對(duì)所述BY滑塊進(jìn)行了控制，所述C軸運(yùn)動(dòng)單元在CX軸方向上對(duì)所述CY滑塊進(jìn)行了控制。又由于所述B芯軸活動(dòng)連接于所述BY滑塊，所述工作臺(tái)可以相對(duì)于所述BY滑塊做轉(zhuǎn)動(dòng)；又由于所述C芯軸活動(dòng)連接于所述CY滑塊，所述工作臺(tái)可以相對(duì)于所述CY滑塊做轉(zhuǎn)動(dòng)。

初始狀態(tài)下：將所述A芯軸的中心軸線記為A、將所述B芯軸的中心軸線記為B，將所述C芯軸的中心軸線記為C、將所述D芯軸的中心軸線記為D；

運(yùn)動(dòng)結(jié)束后：將將所述A芯軸的中心軸線記為A1、將所述B芯軸的中心軸線記為B1，將所述C芯軸的中心軸線記為C1、將所述D芯軸的中心軸線記為D1。

接下來描述所述工作臺(tái)的三種運(yùn)動(dòng)過程：

第一種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)做X軸方向上的平動(dòng)。所述A電機(jī)保持不動(dòng)，因此，所述AY軸滑塊保持不動(dòng)；所述B電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述BX滑塊相對(duì)所述底座沿X軸方向運(yùn)動(dòng)了一定距離BXO，即，由B點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到B1點(diǎn)；所述C電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述CX滑塊相對(duì)所述底座沿X軸方向運(yùn)動(dòng)了一定距離CXO，即，由C點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到C1點(diǎn)。由于所述BX滑塊的運(yùn)動(dòng)距離和所述CX滑塊的運(yùn)動(dòng)距離相等，所以所述工作臺(tái)由ABCD所示的位置運(yùn)動(dòng)到了A1B1C1D1所在的位置。

第二種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)做Y軸方向上的平動(dòng)。所述A電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述AY軸滑塊相對(duì)所述底座沿Y軸方向上移動(dòng)了一定距離AYO，即，由A點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到A1點(diǎn)；所述B電機(jī)和所述C電機(jī)保持不動(dòng)，因此，所述BX滑塊和所述CX滑塊相對(duì)于所述底座保持不動(dòng)。所以所述工作臺(tái)由ABCD所示的位置運(yùn)動(dòng)到了A1B1C1D1所在的位置。

第三種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)同時(shí)做X軸和Y軸方向上的運(yùn)動(dòng)，并且繞所述底座做一定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)。如果AYO、BXO、CXO三者互不相等，則說明所述工作臺(tái)同時(shí)做X軸和Y軸方向上的運(yùn)動(dòng)，并且繞所述底座做一定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)。

由于所述A芯軸、所述B芯軸、所述C芯軸、所述D芯軸位于所述工作臺(tái)的四周，因此，所述工作臺(tái)的受力狀態(tài)均勻，所述工作臺(tái)具有良好的承載能力。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)利用三個(gè)電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，使所述工作臺(tái)在平面上獲得了三個(gè)方向的自由度。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)利用三個(gè)電機(jī)的共同作用實(shí)現(xiàn)對(duì)所述工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)，所以所述工作臺(tái)可以獲得較大的轉(zhuǎn)動(dòng)扭矩，同時(shí)精度較高。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，為了獲得較大的轉(zhuǎn)動(dòng)扭矩，同時(shí)，精度較高，必須在電機(jī)的輸出軸上設(shè)置精密減速器。由于該精密減速器價(jià)格昂貴，并且長時(shí)間運(yùn)行后，減速器容易產(chǎn)生間隙，從而導(dǎo)致機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)精度的降低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在拆掉工作臺(tái)后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的A軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的B軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的C軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的無動(dòng)力軸的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7、8、9是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)原理示意圖。

1底座、2工作臺(tái)、3無動(dòng)力軸、4 A軸運(yùn)動(dòng)單元、5 B軸運(yùn)動(dòng)單元、6 C軸運(yùn)動(dòng)單元、7 A芯軸、8 AX軸滑塊、9 AY軸滑塊、10 A底座塊、11絲桿、12 A螺母、13支架、14電機(jī)、15聯(lián)軸器、16動(dòng)力單元、17 C底座塊、18 CX滑塊、19 CY滑塊、20 C芯軸、21 D芯軸、22 DX滑塊、23 DY滑塊、24 D底座塊、25 B芯軸、26 BY滑塊、27 BX滑塊、28 B底座塊、29 C螺母、30 B螺母、31 B電機(jī)、32 C電機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說明，但不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的任何限制，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。如上所述，本發(fā)明提供了一種平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于平面范圍內(nèi)的平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，其中平動(dòng)包括兩個(gè)自由度，轉(zhuǎn)動(dòng)包括一個(gè)自由度；本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，利用三個(gè)運(yùn)動(dòng)單元和一個(gè)無動(dòng)力軸支撐于工作臺(tái)的四個(gè)端點(diǎn)，工作臺(tái)受力狀態(tài)良好，結(jié)構(gòu)剛性高；以直線導(dǎo)軌作為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，摩擦阻力小，傳動(dòng)效率高，運(yùn)動(dòng)精度高。

圖1是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在拆掉工作臺(tái)后的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的A軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的B軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖，圖5是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的C軸運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖，圖6是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的無動(dòng)力軸的結(jié)構(gòu)示意圖，圖7、8、9是本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)原理示意圖。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括：底座1、工作臺(tái)2、無動(dòng)力軸3、A軸運(yùn)動(dòng)單元4、B軸運(yùn)動(dòng)單元5、C軸運(yùn)動(dòng)單元6，所述無動(dòng)力軸3、A軸運(yùn)動(dòng)單元4、B軸運(yùn)動(dòng)單元5、C軸運(yùn)動(dòng)單元6固連于所述底座1上，所述工作臺(tái)2固連于所述無動(dòng)力軸3、A軸運(yùn)動(dòng)單元4、B軸運(yùn)動(dòng)單元5、C軸運(yùn)動(dòng)單元6。

更具體地，所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4包括：A芯軸7、AX軸滑塊8、AY軸滑塊9、A螺母12、A底座塊10、A電機(jī)14和動(dòng)力單元16，所述動(dòng)力單元16包括：絲桿11、支架13、聯(lián)軸器15，所述絲桿11活動(dòng)連接于所述螺母12，所述支架13固連于所述底座1上，所述A電機(jī)14的輸出軸通過所述聯(lián)軸器15固連于所述絲桿11；所述A螺母12固連于所述AY軸滑塊9；所述A底座塊10固連于所述底座1上，所述AY軸滑塊9活動(dòng)連接于所述A底座塊10，所述AX軸滑塊8活動(dòng)連接于所述AY軸滑塊9，所述A芯軸7活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊8；所述工作臺(tái)2固連于所述A芯軸7。

更具體地，所述B軸運(yùn)動(dòng)單元5包括：B芯軸25、BY滑塊26、BX滑塊27、B螺母30、B底座塊28、B電機(jī)31和動(dòng)力單元16，所述動(dòng)力單元16包括：絲桿11、支架13、聯(lián)軸器15，所述絲桿11活動(dòng)連接于所述B螺母30，所述支架13固連于所述底座1上，所述B電機(jī)31的輸出軸通過所述聯(lián)軸器15固連于所述絲桿11；所述B螺母30固連于所述BX滑塊27；所述B底座塊28固連于所述底座1上，所述BX滑塊27活動(dòng)連接于所述B底座塊28，所述BY滑塊26活動(dòng)連接于所述BX滑塊27，所述B芯軸25活動(dòng)連接于所述BY滑塊26；所述工作臺(tái)2固連于所述B芯軸25。

更具體地，所述C軸運(yùn)動(dòng)單元6包括：C底座塊17、CX滑塊18、CY滑塊19、C芯軸20、D芯軸21、C螺母29、C電機(jī)32和動(dòng)力單元16，所述動(dòng)力單元16包括：絲桿11、支架13、聯(lián)軸器15，所述絲桿11活動(dòng)連接于所述C螺母29，所述支架13固連于所述底座1上，所述C電機(jī)32的輸出軸通過所述聯(lián)軸器15固連于所述絲桿11；所述C螺母29固連于所述BX滑塊27；所述C底座塊17固連于所述底座1上，所述CX滑塊18活動(dòng)連接于所述C底座塊17，所述CY滑塊19活動(dòng)連接于所述CX滑塊18，所述C芯軸20活動(dòng)連接于所述CY滑塊19；所述工作臺(tái)2固連于所述C芯軸20。

更具體地，所述無動(dòng)力軸3包括：D芯軸21、DX滑塊22、DY滑塊23、D底座塊24，所述D底座塊24固連于所述底座1，所述DY滑塊23活動(dòng)連接于所述D底座塊24，所述DY滑塊23活動(dòng)連接于所述DX滑塊22，所述D芯軸21活動(dòng)連接于所述DX滑塊22。

以下結(jié)合圖1至9，進(jìn)一步描述本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的工作原理和工作過程：

首先建立相對(duì)于所述底座1的基坐標(biāo)系，確定X軸和Y軸的方向。接著在所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4上建立相對(duì)于所述底座1的基坐標(biāo)系，確定AX軸和AY軸的方向；接著在所述B軸運(yùn)動(dòng)單元5上建立相對(duì)于所述底座1的基坐標(biāo)系，確定BX軸和BY軸的方向；接著在所述C軸運(yùn)動(dòng)單元6上建立相對(duì)于所述底座1的基坐標(biāo)系，確定CX軸和CY軸的方向。

首先描述所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4的工作過程和工作原理：

所述A底座塊10固連于所述底座1上，所述AY軸滑塊9活動(dòng)連接于所述A底座塊10，所述AX軸滑塊8活動(dòng)連接于所述AY軸滑塊9，所述A芯軸7活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊8，所述A芯軸7可以相對(duì)于所述AX軸滑塊8并繞所述A芯軸7的中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。所述工作臺(tái)2固連于所述芯軸7。也可以理解為，所述工作臺(tái)2可以相對(duì)于所述AX軸滑塊8轉(zhuǎn)動(dòng)。所述AY軸滑塊9可相對(duì)于所述A底座塊10做AY軸方向上的直線運(yùn)動(dòng)；所述AX軸滑塊8可相對(duì)于所述AY軸滑塊9做AX軸方向上的直線運(yùn)動(dòng)。

所述絲桿11活動(dòng)連接于所述螺母12，所述支架13固連于所述底座1上，所述A電機(jī)14的輸出軸通過所述聯(lián)軸器15固連于所述絲桿11。由于所述A螺母12固連于所述AY軸滑塊9，因此所述AY軸滑塊9的運(yùn)動(dòng)受到所述A電機(jī)14的控制。由于所述芯軸7固連于所述工作臺(tái)2，所述A芯軸7活動(dòng)連接于所述AX軸滑塊8，因此所述AX軸滑塊8的運(yùn)動(dòng)受到所述工作臺(tái)2的控制。同時(shí)可以理解為，所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4在AY軸方向上對(duì)所述AX軸滑塊8進(jìn)行了控制。

由于所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4、B軸運(yùn)動(dòng)單元5、C軸運(yùn)動(dòng)單元6具有類似的結(jié)構(gòu)，參照所述A軸運(yùn)動(dòng)單元4的工作原理，本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)將不在贅述B軸運(yùn)動(dòng)單元5、C軸運(yùn)動(dòng)單元6的工作過程和工作原理。可以得到的結(jié)論是，所述B軸運(yùn)動(dòng)單元5在BX軸方向上對(duì)所述BY滑塊26進(jìn)行了控制，所述C軸運(yùn)動(dòng)單元6在CX軸方向上對(duì)所述CY滑塊19進(jìn)行了控制。又由于所述B芯軸25活動(dòng)連接于所述BY滑塊26，所述工作臺(tái)2可以相對(duì)于所述BY滑塊26做轉(zhuǎn)動(dòng)；又由于所述C芯軸20活動(dòng)連接于所述CY滑塊19，所述工作臺(tái)可以相對(duì)于所述CY滑塊19做轉(zhuǎn)動(dòng)。

初始狀態(tài)下：將所述A芯軸7的中心軸線記為A、將所述B芯軸25的中心軸線記為B，將所述C芯軸20的中心軸線記為C、將所述D芯軸21的中心軸線記為D；

運(yùn)動(dòng)結(jié)束后：將將所述A芯軸7的中心軸線記為A1、將所述B芯軸25的中心軸線記為B1，將所述C芯軸20的中心軸線記為C1、將所述D芯軸21的中心軸線記為D1。

接下來描述所述工作臺(tái)2的三種運(yùn)動(dòng)過程：

第一種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)2做X軸方向上的平動(dòng)。所述A電機(jī)14保持不動(dòng)，因此，所述AY軸滑塊9保持不動(dòng)；所述B電機(jī)31轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述BX滑塊27相對(duì)所述底座1沿X軸方向運(yùn)動(dòng)了一定距離BXO，即，由B點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到B1點(diǎn)；所述C電機(jī)32轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述CX滑塊18相對(duì)所述底座1沿X軸方向運(yùn)動(dòng)了一定距離CXO，即，由C點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到C1點(diǎn)。由于所述BX滑塊27的運(yùn)動(dòng)距離和所述CX滑塊18的運(yùn)動(dòng)距離相等，所以所述工作臺(tái)2由ABCD所示的位置運(yùn)動(dòng)到了A1B1C1D1所在的位置。

第二種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)2做Y軸方向上的平動(dòng)。所述A電機(jī)14轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，因此，所述AY軸滑塊9相對(duì)所述底座1沿Y軸方向上移動(dòng)了一定距離AYO，即，由A點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到A1點(diǎn)；所述B電機(jī)31和所述C電機(jī)32保持不動(dòng)，因此，所述BX滑塊27和所述CX滑塊18相對(duì)于所述底座1保持不動(dòng)。所以所述工作臺(tái)2由ABCD所示的位置運(yùn)動(dòng)到了A1B1C1D1所在的位置。

第三種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述工作臺(tái)2同時(shí)做X軸和Y軸方向上的運(yùn)動(dòng)，并且繞所述底座1做一定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)。如果AYO、BXO、CXO三者互不相等，則說明所述工作臺(tái)2同時(shí)做X軸和Y軸方向上的運(yùn)動(dòng)，并且繞所述底座1做一定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)。

由于所述A芯軸7、所述B芯軸25、所述C芯軸20、所述D芯軸21位于所述工作臺(tái)2的四周，因此，所述工作臺(tái)2的受力狀態(tài)均勻，所述工作臺(tái)2具有良好的承載能力。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)利用三個(gè)電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，使所述工作臺(tái)2在平面上獲得了三個(gè)方向的自由度。

本發(fā)明平面式三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)利用三個(gè)電機(jī)的共同作用實(shí)現(xiàn)對(duì)所述工作臺(tái)2的轉(zhuǎn)動(dòng)，所以所述工作臺(tái)2可以獲得較大的轉(zhuǎn)動(dòng)扭矩，同時(shí)精度較高。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，為了獲得較大的轉(zhuǎn)動(dòng)扭矩，同時(shí)，精度較高，必須在電機(jī)的輸出軸上設(shè)置精密減速器。由于該精密減速器價(jià)格昂貴，并且長時(shí)間運(yùn)行后，減速器容易產(chǎn)生間隙，從而導(dǎo)致機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)精度的降低。

最后，應(yīng)當(dāng)指出，以上實(shí)施例僅是本發(fā)明較有代表性的例子。顯然，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，還可以有許多變形。凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應(yīng)認(rèn)為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。