本發(fā)明涉及一種具備劃定對(duì)工件進(jìn)行加工的空間的包圍結(jié)構(gòu)(enclosure)的加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

公開了一種利用吸引裝置吸引在包圍結(jié)構(gòu)內(nèi)產(chǎn)生的包含切削液等的霧的技術(shù)(例如，日本特開2006-192362號(hào)公報(bào))。

以往，謀求一種可靠地防止霧從包圍結(jié)構(gòu)漏出到外部的技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

加工系統(tǒng)具備：第一包圍結(jié)構(gòu)，其具有開口部，劃定對(duì)工件進(jìn)行加工的第一空間；以及第二包圍結(jié)構(gòu)，其與第一包圍結(jié)構(gòu)相鄰地設(shè)置，劃定經(jīng)過(guò)開口部而與第一空間連通的第二空間。

在第二空間內(nèi)設(shè)置能夠經(jīng)過(guò)開口部而進(jìn)出第一空間的機(jī)器人。另外，加工系統(tǒng)具備氣壓調(diào)整裝置，該氣壓調(diào)整裝置使第二空間的氣壓高于第一空間的氣壓。

也可以，氣壓調(diào)整裝置具有供氣裝置，該供氣裝置向第二空間供氣使得第二空間的氣壓上升。也可以，加工系統(tǒng)還具備溫度調(diào)整裝置，該溫度調(diào)整裝置對(duì)通過(guò)供氣裝置向第二空間供給的氣體的溫度進(jìn)行調(diào)整。

也可以，加工系統(tǒng)還具備溫度傳感器，該溫度傳感器檢測(cè)第二空間的溫度。也可以，溫度調(diào)整裝置基于由溫度傳感器檢測(cè)出的溫度來(lái)對(duì)向第二空間供給的氣體的溫度進(jìn)行調(diào)整。

也可以，氣壓調(diào)整裝置具有排氣裝置，該排氣裝置從第一空間排氣使得第一空間的氣壓下降。也可以第二包圍結(jié)構(gòu)具有第二開口部。也可以，加工系統(tǒng)還具備支承部，該支承部以能夠出入第二空間的方式設(shè)置于第二開口部，能夠支承工件。

也可以支承部構(gòu)成為在被推入到第二空間時(shí)將第二開口部密閉。也可以，加工系統(tǒng)還具備：門，其用于將開口部打開和關(guān)閉；門驅(qū)動(dòng)部，其用于對(duì)門進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；以及控制部，其用于對(duì)氣壓調(diào)整裝置和門驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行控制。

也可以，在門關(guān)閉時(shí)，控制部使氣壓調(diào)整裝置進(jìn)行動(dòng)作，使得第二空間的氣壓高于第一空間的氣壓。也可以，在第二空間的氣壓高于第一空間的氣壓時(shí)，控制部使門驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行動(dòng)作來(lái)將門打開。也可以，在門打開的期間，控制部使氣壓調(diào)整裝置進(jìn)行動(dòng)作。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參照附圖并說(shuō)明下面的優(yōu)選的實(shí)施方式，本發(fā)明的上述或其它目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)會(huì)更加明確。

圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的加工系統(tǒng)的圖。

圖2是在圖1所示的加工系統(tǒng)中由虛線示出第二包圍結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是沿水平面切開圖1所示的加工系統(tǒng)后從上方觀察到的截面圖。

圖4是圖1所示的加工系統(tǒng)的框圖。

圖5是示出圖1所示的加工系統(tǒng)的動(dòng)作流程的一例的流程圖。

圖6是本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的加工系統(tǒng)的圖。

圖7是沿水平面切開圖6所示的加工系統(tǒng)后從上方觀察到的截面圖。

圖8是圖6所示的加工系統(tǒng)的框圖。

圖9是示出圖6所示的加工系統(tǒng)的動(dòng)作流程的一例的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖來(lái)詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先，參照?qǐng)D1～圖3來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的加工系統(tǒng)10。加工系統(tǒng)10具備加工機(jī)12和機(jī)器人14。

加工機(jī)12具有加工頭15(圖3)、工作臺(tái)16(圖3)、第一包圍結(jié)構(gòu)18、門20以及門驅(qū)動(dòng)部22。加工機(jī)12能夠執(zhí)行銑削、鏜削以及穿孔等多種加工處理。加工頭15具有根據(jù)要執(zhí)行的加工處理而被自動(dòng)更換的工具，該加工頭15用于對(duì)設(shè)置于工作臺(tái)16的工件w進(jìn)行加工。

第一包圍結(jié)構(gòu)18劃定第一空間24(圖3)。加工頭15和工作臺(tái)16設(shè)置于第一空間24，在該第一空間24內(nèi)通過(guò)加工頭15對(duì)工件w進(jìn)行加工。在第一包圍結(jié)構(gòu)18的面向機(jī)器人14的壁26形成有開口部28。

門20以能夠沿著壁26滑動(dòng)的方式設(shè)置于壁26。門20在將開口部28開放的開放位置與將開口部28封閉的封閉位置之間滑動(dòng)。

門驅(qū)動(dòng)部22具有伺服電動(dòng)機(jī)30和開閉機(jī)構(gòu)32。伺服電動(dòng)機(jī)30包括輸出軸，該伺服電動(dòng)機(jī)30用于對(duì)該輸出軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。開閉機(jī)構(gòu)32例如包括滾珠絲杠機(jī)構(gòu)，該開閉機(jī)構(gòu)32用于將輸出軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為沿著壁26的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。門20連結(jié)于開閉機(jī)構(gòu)32，伺服電動(dòng)機(jī)30通過(guò)該開閉機(jī)構(gòu)32以與輸出軸的轉(zhuǎn)速相應(yīng)的速度將門20打開和關(guān)閉。

機(jī)器人14例如是垂直多關(guān)節(jié)機(jī)器人，與壁26相鄰地設(shè)置。機(jī)器人14具有：基座34，其固定于地面；旋轉(zhuǎn)主體35，其以能夠繞鉛垂軸旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)于該基座34；機(jī)械臂36，其以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連結(jié)于該旋轉(zhuǎn)主體35；以及機(jī)械手38，其設(shè)置于該機(jī)械臂36的前端部。

機(jī)械手38具有能夠開閉的多個(gè)指部，用于把持工件或釋放工件。機(jī)械手38通過(guò)機(jī)械臂36的動(dòng)作而經(jīng)過(guò)開口部28進(jìn)出第一空間24。

加工系統(tǒng)10還具備第二包圍結(jié)構(gòu)40、供氣裝置41(圖1)以及支承部44和48。第二包圍結(jié)構(gòu)40與第一包圍結(jié)構(gòu)18相鄰地設(shè)置，劃定出第二空間42(圖3)。在門20打開期間，該第二空間42通過(guò)開口部28而與第一空間24連通。機(jī)器人14設(shè)置于第二空間42。

供氣裝置41設(shè)置于第二包圍結(jié)構(gòu)40的上壁46。供氣裝置41例如具有電動(dòng)風(fēng)扇，通過(guò)形成于上壁46的開口部(未圖示)而向第二空間42導(dǎo)入外部空氣。由此，供氣裝置41使第二空間42的氣壓上升。

支承部44設(shè)置于開口部(第二開口部)52，該開口部(第二開口部)52形成于第二包圍結(jié)構(gòu)40的側(cè)壁50。支承部44具有底板54和從該底板54的前緣向上方立起的前板56。前板具有與開口部52的外形一致的形狀。

支承部44以能夠出入第二空間42的方式設(shè)置于開口部52。在將要被加工機(jī)12加工的工件w設(shè)置于工作臺(tái)16時(shí)，使用者如圖1所示將支承部44向第二空間42的外部拉出，將要被加工的工件w載置在底板54上。

然后，使用者如圖3所示將支承部44推入到第二空間42內(nèi)。此時(shí)，前板56將開口部52氣密地封閉。通過(guò)這樣，工件w被支承部44支承并由使用者導(dǎo)入到第二空間42內(nèi)。

機(jī)器人14利用機(jī)械手38把持被支承部44支承著的工件w，在門20打開時(shí)將工件w經(jīng)過(guò)開口部28搬入到第一空間24，設(shè)置在工作臺(tái)16上。

支承部48具有與支承部44相同的結(jié)構(gòu)。具體地說(shuō)，支承部48以能夠出入第二空間42的方式設(shè)置于開口部(第二開口部)58，該開口部58形成于側(cè)壁50。

支承部48具有用于載置工件w的底板60和從底板60的前緣向上方立起的前板62。前板62具有與開口部58的外形一致的形狀。在如圖1和圖3所示那樣將支承部48推入到第二空間42時(shí)，前板62將開口部58氣密地封閉。

在本實(shí)施方式中，加工完成的工件w被載置于支承部48。具體地說(shuō)，當(dāng)將加工完成的工件w從加工機(jī)12搬出時(shí)，在門20打開時(shí)機(jī)器人14利用機(jī)械手38把持設(shè)置于工作臺(tái)16的加工完成的工件w，將該加工完成的工件w經(jīng)過(guò)開口部28從第一空間24搬出到第二空間42。

此時(shí)，支承部48如圖1和圖3所示那樣被推入到第二空間42。機(jī)器人14將從第一空間24搬出的工件w載置在支承部48的底板60上。然后，使用者將支承部48向第二空間42的外部拉出，取出加工完成的工件w。

在支承部44和48被推入到第二空間42且門20打開期間，第一包圍結(jié)構(gòu)18和第二包圍結(jié)構(gòu)40以相對(duì)于外部氣密地封閉的方式來(lái)劃定第一空間24和第二空間42。

圖4是示出加工系統(tǒng)10的框圖。加工系統(tǒng)10還具備加工機(jī)控制部64和機(jī)器人控制部66。加工機(jī)控制部64與機(jī)器人控制部66以能夠相互通信的方式連接。

加工機(jī)控制部64具有cpu(centralprocessingunit：中央處理單元)和存儲(chǔ)部等，用于對(duì)門驅(qū)動(dòng)部22和供氣裝置41的動(dòng)作進(jìn)行控制。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部64向門驅(qū)動(dòng)部22的伺服電動(dòng)機(jī)30發(fā)送指令來(lái)將門20打開和關(guān)閉。另外，加工機(jī)控制部64向內(nèi)置于供氣裝置41的電動(dòng)機(jī)(未圖示)發(fā)送指令來(lái)使供氣裝置41進(jìn)行動(dòng)作，從而向第二空間42導(dǎo)入外部空氣。

機(jī)器人控制部66具有cpu和存儲(chǔ)部等，用于向內(nèi)置于機(jī)器人14的伺服電動(dòng)機(jī)(未圖示)發(fā)送指令來(lái)使機(jī)器人14進(jìn)行動(dòng)作。加工機(jī)控制部64和機(jī)器人控制部66相互通信并且執(zhí)行更換工件w的工件更換處理。

接著，參照?qǐng)D5來(lái)說(shuō)明加工系統(tǒng)10的動(dòng)作。圖5所示的流程在加工機(jī)控制部64或機(jī)器人控制部66從使用者、上級(jí)控制器或加工程序接收到用于更換加工完成的工件w的工件更換指令時(shí)開始進(jìn)行。

在圖5所示的流程開始時(shí)，門20配置在封閉位置處。另外，支承部44和48被推入到第二空間42，開口部52和58分別被前板56和62封閉。

在步驟s1中，加工機(jī)控制部64使供氣裝置41啟動(dòng)。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部64向內(nèi)置于供氣裝置41的電動(dòng)機(jī)發(fā)送指令來(lái)使供氣裝置41進(jìn)行動(dòng)作，從而向第二空間42供給外部空氣。

如上所述，在該步驟s1開始時(shí)，門20配置在封閉位置處。因而，當(dāng)通過(guò)供氣裝置41將外部空氣供給到第二空間42時(shí)，第二空間42的氣壓p2上升。

在此，供氣裝置41將外部空氣導(dǎo)入到第二空間42，使得第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1(即，p2＞p1)。這樣，在本實(shí)施方式中，供氣裝置41構(gòu)成使第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1的氣壓調(diào)整裝置68(圖4)。

在步驟s2中，加工機(jī)控制部64使門20打開。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部64向門驅(qū)動(dòng)部22的伺服電動(dòng)機(jī)30發(fā)送指令，來(lái)將門20從封閉位置移動(dòng)到打開位置。

在此，在上述步驟s1中，利用供氣裝置41使第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1。因而，在該步驟s2中將門20打開時(shí)，產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的氣流。

在步驟s3中，機(jī)器人控制部66更換工件w。具體地說(shuō)，機(jī)器人控制部66使機(jī)器人14進(jìn)行動(dòng)作來(lái)把持設(shè)置于工作臺(tái)16的加工完成的工件w，將該工件w經(jīng)過(guò)開口部28從第一空間24搬出并載置在支承部48的底板60上。

接著，機(jī)器人控制部66使機(jī)器人14進(jìn)行動(dòng)作來(lái)把持載置在支承部44的底板54上的工件w，將該工件w經(jīng)過(guò)開口部28搬入到第一空間24并設(shè)置在工作臺(tái)16上。然后，機(jī)器人控制部66使機(jī)器人14從第一空間24退避到第二空間42。

在步驟s4中，加工機(jī)控制部64將門20關(guān)閉。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部64向門驅(qū)動(dòng)部22的伺服電動(dòng)機(jī)30發(fā)送指令，來(lái)將門20從打開位置移動(dòng)到封閉位置。

在步驟s5中，加工機(jī)控制部64使供氣裝置41停止。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部64向內(nèi)置于供氣裝置41的電動(dòng)機(jī)發(fā)送指令來(lái)使供氣裝置41停止。由此，停止向第二空間42導(dǎo)入外部空氣。

如上所述，在本實(shí)施方式中，在步驟s2中將門20打開時(shí)，產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的氣流。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止利用加工頭15對(duì)工件w進(jìn)行加工時(shí)在第一空間24內(nèi)產(chǎn)生的包含切削液等的霧經(jīng)過(guò)開口部28從第一空間24漏出到外部。

另外，在本實(shí)施方式中，在步驟s2～s4中門20打開的整個(gè)期間內(nèi)，加工機(jī)控制部64使供氣裝置41持續(xù)地動(dòng)作，從而維持為第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在門20打開的整個(gè)期間內(nèi)持續(xù)地產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的氣流，因此能夠可靠地防止從第一空間24經(jīng)過(guò)開口部28向外部的漏出。

另外，僅在需要產(chǎn)生從第二空間42向第一空間24流入的氣流時(shí)使供氣裝置41運(yùn)轉(zhuǎn)，由此還能夠抑制加工系統(tǒng)10的消耗電力。

另外，在本實(shí)施方式中，能夠通過(guò)能夠?qū)⒌诙臻g42氣密地封閉的支承部44和48來(lái)執(zhí)行要被加工的工件w的供給和加工完成的工件w的取出。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在執(zhí)行步驟s3時(shí)維持第二空間42的密閉狀態(tài)，由此能夠有效地產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的氣流。另一方面，使用者能夠通過(guò)支承部44和48容易地進(jìn)行要被加工的工件w的供給和加工完成的工件w的取出。

接著，參照?qǐng)D6和圖7來(lái)說(shuō)明其它實(shí)施方式所涉及的加工系統(tǒng)70。此外，在以下所說(shuō)明的各種實(shí)施方式中，對(duì)與已記述的實(shí)施方式相同的要素附加相同的附圖標(biāo)記，并省略詳細(xì)的說(shuō)明。

加工系統(tǒng)70與上述加工系統(tǒng)10不同之處在于以下這點(diǎn)。即，加工系統(tǒng)70還具備排氣裝置72、溫度調(diào)整裝置74、溫度傳感器76、第一氣壓傳感器78以及第二氣壓傳感器80。

排氣裝置72設(shè)置于第一包圍結(jié)構(gòu)18的上壁19。排氣裝置72例如具有電動(dòng)風(fēng)扇，經(jīng)過(guò)形成于上壁19的開口部(未圖示)從第一空間24排氣。由此，排氣裝置72使第一空間24的氣壓下降。

溫度調(diào)整裝置74例如是空氣調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)整第一包圍結(jié)構(gòu)18和第二包圍結(jié)構(gòu)40的外部的環(huán)境的溫度。在本實(shí)施方式中，溫度調(diào)整裝置74被配置為將調(diào)整溫度后的氣體供給到供氣裝置41。

溫度傳感器76設(shè)置于第二空間42，用于測(cè)量該第二空間42的溫度。第一氣壓傳感器78設(shè)置于第一空間24，用于測(cè)量該第一空間24的氣壓p1。另一方面，第二氣壓傳感器80設(shè)置于第二空間42，用于測(cè)量該第二空間42的氣壓p2。

圖8是示出加工系統(tǒng)70的框圖。加工系統(tǒng)70具備加工機(jī)控制部82和機(jī)器人控制部66。加工機(jī)控制部82與機(jī)器人控制部66以能夠相互通信的方式連接。

加工機(jī)控制部82具有cpu和存儲(chǔ)部等，用于對(duì)門驅(qū)動(dòng)部22、供氣裝置41、排氣裝置72、溫度調(diào)整裝置74、溫度傳感器76、第一氣壓傳感器78以及第二氣壓傳感器80的動(dòng)作進(jìn)行控制。

具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部82向門驅(qū)動(dòng)部22的伺服電動(dòng)機(jī)30發(fā)送指令來(lái)將門20打開和關(guān)閉。另外，加工機(jī)控制部82向內(nèi)置于供氣裝置41的電動(dòng)機(jī)(未圖示)發(fā)送指令來(lái)使供氣裝置41進(jìn)行動(dòng)作，從而向第二空間42導(dǎo)入外部空氣。

另外，加工機(jī)控制部82向內(nèi)置于排氣裝置72的電動(dòng)機(jī)(未圖示)發(fā)送指令來(lái)使排氣裝置72進(jìn)行動(dòng)作，來(lái)從第一空間24排氣。另外，加工機(jī)控制部82向溫度調(diào)整裝置74發(fā)送指令來(lái)使溫度調(diào)整裝置74進(jìn)行動(dòng)作，從而對(duì)第一包圍結(jié)構(gòu)18和第二包圍結(jié)構(gòu)40的外部的環(huán)境的溫度進(jìn)行調(diào)整。

另外，加工機(jī)控制部82向溫度傳感器76發(fā)送指令來(lái)測(cè)量第二空間42的溫度，從溫度傳感器76獲取與測(cè)量出的溫度有關(guān)的數(shù)據(jù)。另外，加工機(jī)控制部82向第一氣壓傳感器78和第二氣壓傳感器80發(fā)送指令來(lái)分別測(cè)量第一空間24和第二空間42的氣壓，從第一氣壓傳感器78和第二氣壓傳感器80獲取與測(cè)量出的氣壓有關(guān)的數(shù)據(jù)。

接著，參照?qǐng)D9來(lái)說(shuō)明加工系統(tǒng)70的動(dòng)作。此外，在圖9所示的流程中，對(duì)與圖5所示的流程相同的處理附加相同的步驟序號(hào)，并省略詳細(xì)的說(shuō)明。

圖9所示的流程在加工機(jī)控制部82或機(jī)器人控制部66從使用者、上級(jí)控制器或加工程序接收到更換加工完成的工件w的工件更換指令時(shí)開始進(jìn)行。

在圖9所示的流程開始時(shí)，門20配置在封閉位置。另外，支承部44和48被推入第二空間42，開口部52和58分別被前板56和62封閉。

在步驟s11中，加工機(jī)控制部82使氣壓調(diào)整裝置啟動(dòng)。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部82向內(nèi)置于供氣裝置41的電動(dòng)機(jī)發(fā)送指令來(lái)使供氣裝置41進(jìn)行動(dòng)作，從而向第二空間42供給外部空氣。與此同時(shí)，加工機(jī)控制部82向內(nèi)置于排氣裝置72的電動(dòng)機(jī)(未圖示)發(fā)送指令來(lái)使排氣裝置72進(jìn)行動(dòng)作，來(lái)從第一空間24排氣。

如上所述，在該步驟s11開始時(shí)，門20配置在封閉位置。因而，當(dāng)通過(guò)供氣裝置41將外部空氣供給到第二空間42并且通過(guò)排氣裝置72從第一空間24排氣時(shí)，第二空間42的氣壓p2相對(duì)于第一空間24的氣壓p1上升。

供氣裝置41向第二空間42供氣和排氣裝置72從第一空間24排氣使得第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1。

這樣，在本實(shí)施方式中，供氣裝置41和排氣裝置72構(gòu)成使第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1的氣壓調(diào)整裝置84(圖8)。

在步驟s12中，加工機(jī)控制部82測(cè)量第二空間42的溫度。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部82向溫度傳感器76發(fā)送指令來(lái)測(cè)量第二空間42的溫度t，從溫度傳感器76獲取與測(cè)量出的溫度t有關(guān)的數(shù)據(jù)。

在步驟s13中，加工機(jī)控制部82判定步驟s12中獲取到的第二空間42的溫度t是否在預(yù)先決定的容許范圍[t1，t2]內(nèi)。該容許范圍由使用者根據(jù)第一空間24內(nèi)執(zhí)行的加工處理預(yù)先設(shè)定，并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部。

在溫度t在容許范圍內(nèi)(即，t1≤t≤t2)的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“是”，進(jìn)入步驟s15。另一方面，在溫度t在容許范圍外(即，t＜t1或t2＜t)的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“否”，進(jìn)入步驟s14。

在步驟s14中，加工機(jī)控制部82向溫度調(diào)整裝置74發(fā)送指令來(lái)使溫度調(diào)整裝置74進(jìn)行動(dòng)作。作為一例，在步驟s13中溫度t小于閾值t1的情況下(即，t＜t1)，溫度調(diào)整裝置74對(duì)第一包圍結(jié)構(gòu)18和第二包圍結(jié)構(gòu)40的外部的環(huán)境進(jìn)行加熱。

另一方面，在步驟s13中溫度t大于閾值t2的情況下(即，t2＜t)，溫度調(diào)整裝置74對(duì)第一包圍結(jié)構(gòu)18和第二包圍結(jié)構(gòu)40的外部的環(huán)境進(jìn)行冷卻。

通過(guò)像這樣對(duì)外部的空氣進(jìn)行加熱或冷卻，來(lái)使供氣裝置41向第二空間42導(dǎo)入的外部空氣的溫度上升或下降，其結(jié)果是，能夠使第二空間42的溫度上升或下降。通過(guò)這樣，溫度調(diào)整裝置74對(duì)通過(guò)供氣裝置41向第二空間42供給的氣體的溫度進(jìn)行調(diào)整。

在步驟s15中，加工機(jī)控制部82測(cè)量第一空間24的氣壓p1和第二空間42的氣壓p2。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部82向第一氣壓傳感器78和第二氣壓傳感器80發(fā)送指令來(lái)分別測(cè)量氣壓p1和氣壓p2，獲取與測(cè)量出的氣壓有關(guān)的數(shù)據(jù)。

在步驟s16中，加工機(jī)控制部82判定在第一空間24與第二空間42之間是否形成了預(yù)先決定的氣壓差δp。具體地說(shuō)，加工機(jī)控制部82計(jì)算步驟s15中獲取到的氣壓p1與氣壓p2之差δp＝p2-p1。

然后，加工機(jī)控制部82判定計(jì)算出的差δp是否超過(guò)預(yù)先決定的閾值α(即，δp≥α)。該閾值α設(shè)為在打開了門20的情況下能夠產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入充足的氣流的值，該閾值α由使用者預(yù)先決定，并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部。

在差δp超過(guò)閾值α的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“是”，前進(jìn)到步驟s2。另一方面，在差δp沒(méi)有超過(guò)閾值α(即，δp＜α)的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“否”，循環(huán)進(jìn)行步驟s16。

在步驟s16中判定為“是”之后，加工機(jī)控制部82或機(jī)器人控制部66執(zhí)行與圖5所示的流程相同的步驟s2～s4。

在步驟s4之后，在步驟s17中，加工機(jī)控制部82使氣壓調(diào)整裝置84停止。具體來(lái)說(shuō)，加工機(jī)控制部82向供氣裝置41和排氣裝置72發(fā)送指令，來(lái)使供氣裝置41和排氣裝置72停止。

在本實(shí)施方式中，在步驟s11中，利用氣壓調(diào)整裝置84維持為第二空間42的氣壓p2高于第一空間24的氣壓p1。因而，在步驟s2中將門20打開時(shí)，產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的氣流。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止在通過(guò)加工頭15對(duì)工件w進(jìn)行加工時(shí)在第一空間24中產(chǎn)生的包含切削液等的霧經(jīng)過(guò)開口部28從第一空間24漏出到外部。

另外，在本實(shí)施方式中，由供氣裝置41和排氣裝置72構(gòu)成氣壓調(diào)整裝置84。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠迅速地使氣壓p2相對(duì)于氣壓p1變化，使得氣壓p2高于氣壓p1。

另外，在本實(shí)施方式中，在第二空間42的溫度t在容許范圍外(即，在步驟s13中判定為“否”)的情況下，由溫度調(diào)整裝置74根據(jù)第一空間24中執(zhí)行的加工處理來(lái)調(diào)整向第二空間42供給的氣體的溫度(即，第二空間42的溫度t)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使在步驟s2中設(shè)為已將門20打開，也能夠根據(jù)加工處理適當(dāng)?shù)卣{(diào)整第一空間24的溫度，因此能夠維持加工處理的精度。

另外，在本實(shí)施方式中，在第一空間24與第二空間42之間形成了規(guī)定的氣壓差δp(即，在步驟s16中判定為“是”)的情況下，將門20打開(步驟s2)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，當(dāng)在步驟s2中將門20打開時(shí)，能夠產(chǎn)生從第二空間42經(jīng)過(guò)開口部28向第一空間24流入的充足的氣流，因此能夠更有效地防止包含切削液等的霧從第一空間24漏出到外部。

此外，在圖9所示的步驟s16中，加工機(jī)控制部82也可以基于從開始步驟s11的時(shí)間點(diǎn)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間來(lái)判定在第一空間24與第二空間42之間是否形成了氣壓差δp。

作為一例，加工機(jī)控制部82具有對(duì)從預(yù)先決定的時(shí)間點(diǎn)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)的計(jì)時(shí)部，對(duì)從步驟s11中向供氣裝置41或排氣裝置72發(fā)送了指令的時(shí)間點(diǎn)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間t進(jìn)行計(jì)時(shí)。

然后，在步驟s16中，加工機(jī)控制部82判定由計(jì)時(shí)部計(jì)時(shí)得到的經(jīng)過(guò)時(shí)間t是否達(dá)到預(yù)先決定的時(shí)間t1。該預(yù)先決定的時(shí)間t1設(shè)為在使氣壓調(diào)整裝置84啟動(dòng)之后足以形成氣壓差δp的值，該預(yù)先決定的時(shí)間t1由使用者預(yù)先設(shè)定，存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部。

在經(jīng)過(guò)時(shí)間t達(dá)到預(yù)先決定的時(shí)間t1的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“是”，進(jìn)入步驟s2。另一方面，在經(jīng)過(guò)時(shí)間t沒(méi)有達(dá)到預(yù)先決定的時(shí)間t1的情況下，加工機(jī)控制部82判定為“否”，循環(huán)進(jìn)行步驟s16。

另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)供氣裝置41向第二空間42供給外部空氣的情況進(jìn)行了說(shuō)明。然而，供氣裝置也可以向第二空間42供給某種氣體。

在該情況下，供氣裝置也可以具有：貯藏部，其用于貯藏某種氣體；泵，其用于從貯藏部排出氣體；以及通氣管道，其用于將從該泵排出的氣體導(dǎo)入到第二空間42。該通氣管道可以在第二空間42的任何位置處開口。

另外，也可以在圖1所示的加工系統(tǒng)10中省略供氣裝置41，另一方面，將上述排氣裝置72設(shè)置于第一包圍結(jié)構(gòu)18。在該情況下，在圖5中的步驟s1和s5中，加工機(jī)控制部64使排氣裝置72啟動(dòng)和停止。

以上，通過(guò)發(fā)明的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但是上述的實(shí)施方式并非對(duì)權(quán)利要求書所涉及的發(fā)明進(jìn)行限定。另外，將本發(fā)明的實(shí)施方式中說(shuō)明的特征進(jìn)行組合所得的方式也能夠包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中，但是這些特征的組合的全部未必是發(fā)明的技術(shù)方案所必需的。并且，能夠?qū)ι鲜龅膶?shí)施方式施以各種變更或改進(jìn)，這對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見的。

另外，應(yīng)該注意的是權(quán)利要求書、說(shuō)明書以及附圖中示出的裝置、系統(tǒng)、程序以及方法中的動(dòng)作、過(guò)程、步驟、工序以及階段等各處理的執(zhí)行順序沒(méi)有特別注明“比…之前”、“…之前”等，而且，只要不是將之前的處理的輸出用在之后的處理中，就能夠以任意的順序來(lái)實(shí)現(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求書、說(shuō)明書以及附圖中的動(dòng)作流程，雖然為了便于說(shuō)明而使用“首先，”、“接著，”、“接下來(lái)”等來(lái)進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不意味著必須以此順序來(lái)實(shí)施。