本發(fā)明涉及一種主軸，特別是涉及一種微細(xì)機(jī)械加工用超高速精密氣動(dòng)微主軸,屬于機(jī)械制造裝備領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

零件的小型化和尺寸的高精度化對(duì)其加工設(shè)備提出了越來(lái)越高的要求。微主軸作為微機(jī)床的關(guān)鍵部件，直接決定了微機(jī)床的性能及微細(xì)切削微細(xì)磨削等微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用?，F(xiàn)有微主軸分為微電主軸和微氣動(dòng)主軸兩種，主要存在以下三個(gè)方面問(wèn)題：一是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大限制了微機(jī)床的小型化。要滿足微機(jī)床要求，長(zhǎng)徑比不大于3:1；二是受微電主軸中電動(dòng)機(jī)的損耗發(fā)熱和采用滾動(dòng)軸承的摩擦發(fā)熱、或者采用小孔節(jié)流式靜壓氣體軸承剛度低等問(wèn)題影響，轉(zhuǎn)速較低(大多<200000r/min以下)，不僅影響了微細(xì)機(jī)械加工效率和加工質(zhì)量，且加劇了微刀具的磨損和更滑速度。微細(xì)切削微細(xì)磨削用微刀具的外徑一般在幾微米至幾百微米之間，根據(jù)材料性能所推薦的微細(xì)切削速度可推導(dǎo)得出微主軸的轉(zhuǎn)速應(yīng)超過(guò)500000r/min；三是現(xiàn)有微主軸采用彈簧夾頭裝夾微刀具，彈簧夾頭的制造安裝誤差等會(huì)直接傳遞到刀具上，大幅增加刀具的跳動(dòng)誤差。如微主軸超高速回轉(zhuǎn)時(shí)的跳動(dòng)誤差可達(dá)10μm，大大超過(guò)了微米級(jí)的微細(xì)機(jī)械加工厚度。因此在實(shí)際微細(xì)機(jī)械加工中為了避免微主軸的大跳動(dòng)誤差往往會(huì)限制微主軸轉(zhuǎn)速。

如果僅從體積大小來(lái)衡量，微主軸只是比傳統(tǒng)主軸體積小。但實(shí)際上，隨著體積的大幅減小、轉(zhuǎn)速的不斷提高，其熱變形、剛度、頻率、振幅等與傳統(tǒng)主軸存在很大的不同。為此，必須從創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)入手，研發(fā)出用于微細(xì)機(jī)械加工的超高速精密微主軸。而微電主軸結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且受散熱條件限制，轉(zhuǎn)速較低；采用氣流驅(qū)動(dòng)并支承的氣浮渦輪式微主軸由于氣體的摩擦因數(shù)低、溫升小、流速高，可以達(dá)到很高的轉(zhuǎn)速，理論上是能夠滿足高速微細(xì)切削加工要求的。本專利發(fā)明人已設(shè)計(jì)出兩臺(tái)新型的超高速精密氣動(dòng)微主軸(見專利：ZL201010116981.8、ZL201310157777.4)，但是體積較大，轉(zhuǎn)速還不能完全滿足要求。為此，設(shè)計(jì)出新型的用于微細(xì)機(jī)械加工的微主軸，其外部結(jié)構(gòu)<直徑30mm×長(zhǎng)60mm，最高轉(zhuǎn)速超過(guò)400000r/min。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種轉(zhuǎn)速高、跳動(dòng)誤差小，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、制造方便，用于微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削、微細(xì)磨削等微細(xì)機(jī)械加工的超高速精密微主軸。

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供的微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，包括箱體、均壓板、后端軸承支承件、渦輪噴嘴、前端軸承支承件、主軸轉(zhuǎn)子、微刀具和安裝板，所述渦輪直接在所述主軸轉(zhuǎn)子中間加工而成，所述渦輪上的葉片為規(guī)則圓柱面形，且正對(duì)渦輪噴嘴上的小孔，所述渦輪噴嘴設(shè)置有兩圈小孔用以提供高速氣流驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)，所述主軸轉(zhuǎn)子前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承、后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承徑向支承安裝，所述主軸轉(zhuǎn)子后端設(shè)置有擋板，所述擋板前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承軸向支承安裝，所述主軸轉(zhuǎn)子后端還設(shè)置有后端軸承排氣道用以排出氣流，所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承安裝在前端軸承支承件內(nèi)，所述前端軸承支承件周向均布有4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承與所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承制成一體的“L”形，并安裝在后端軸承支承件內(nèi)，所述后端軸承支承件周向均布有4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承通過(guò)均壓板提供氣流，所述均壓板、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承依次安裝在箱體后端，所述后端軸承支承件、渦輪噴嘴、前端軸承支承件依次安裝在箱體內(nèi)，并通過(guò)安裝板、螺釘固定安裝，所述箱體設(shè)置有后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承供氣口及對(duì)應(yīng)的止推軸承進(jìn)氣道、止推軸承排氣道、止推軸承排氣口、后端多孔質(zhì)靜壓氣體軸承供氣口、渦輪后端排氣口、噴嘴供氣口、渦輪前端排氣口，前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承供氣口，所述主軸轉(zhuǎn)子前端軸線處設(shè)置有軸向孔，通過(guò)熱脹冷縮效應(yīng)夾持微銑刀、微鉆頭、微磨棒等微刀具或其它微執(zhí)行機(jī)構(gòu)，且軸向孔深度大于微刀具刀柄長(zhǎng)度，從而可調(diào)節(jié)微刀具懸伸長(zhǎng)度。

所述渦輪噴嘴不限于設(shè)置兩圈小孔，可根據(jù)輸出轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)矩要求設(shè)置單圈或多圈小孔。

所述前端軸承支承件不限于均布4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道，所述后端軸承支承件不限于均布4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道，所述均壓板也不限于均布4個(gè)均壓孔，可根據(jù)需要均布設(shè)置其它數(shù)量的進(jìn)氣道或均壓孔。

采用上述技術(shù)方案的微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，由渦輪噴嘴提供的高速氣流沖擊渦輪驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)微主軸超高轉(zhuǎn)速性能；主軸轉(zhuǎn)子前、后端分別采用多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承支承定位，主軸轉(zhuǎn)子后端設(shè)置有擋板，擋板前、后端分別采用多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承支承定位，實(shí)現(xiàn)微主軸的超精密回轉(zhuǎn)；主軸轉(zhuǎn)子前端軸線處設(shè)置有軸向孔，通過(guò)熱脹冷縮效應(yīng)夾持微刀具。

采用上述技術(shù)方案的微細(xì)機(jī)械加工用微主軸，與現(xiàn)有技術(shù)相比其優(yōu)點(diǎn)和積極效果是顯著的，主要體現(xiàn)在以下方面：

1.兩圈或多圈小孔的噴嘴結(jié)構(gòu)。在沖擊式氣動(dòng)微渦輪中，為了獲得超高轉(zhuǎn)速，噴嘴中的小孔尺寸一般要小。但是小孔尺寸越小，其沖擊作用力就越小。如果采用常用的單圈小孔布置結(jié)構(gòu)，受微主軸結(jié)構(gòu)尺寸限制，其數(shù)量有限，因此造成微渦輪產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩和功率較小，難以滿足微細(xì)機(jī)械加工要求。而在噴嘴中正對(duì)渦輪葉片的周向上設(shè)置兩圈或多圈小孔，會(huì)成倍增加噴嘴小孔數(shù)量，不僅可實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)微渦輪的超高轉(zhuǎn)速性能，而且能有效提升其轉(zhuǎn)矩和功率。

2.主軸轉(zhuǎn)子與渦輪的一體式結(jié)構(gòu)。現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)機(jī)械中支承轉(zhuǎn)子與渦輪很多是加工后裝配到一起，渦輪的制造安裝等誤差會(huì)直接傳遞到支承轉(zhuǎn)子上，加劇了轉(zhuǎn)子的不平衡。尤其是超高速精密微主軸，宏觀尺度下很小的不平衡量就有可能導(dǎo)致很大的跳動(dòng)誤差。而現(xiàn)有動(dòng)平衡技術(shù)還無(wú)法解決毫米級(jí)轉(zhuǎn)子幾十萬(wàn)轉(zhuǎn)的動(dòng)平衡校正，因此只能依靠加工精度來(lái)保證。而本技術(shù)方案將主軸轉(zhuǎn)子與渦輪制成一體，不僅避免了渦輪的安裝誤差，且渦輪上的葉片為規(guī)則圓柱面形，加工精度易保證，因此平衡性能好，從而有利于微主軸轉(zhuǎn)速和回轉(zhuǎn)精度的提高。

3.微小型多孔質(zhì)靜壓氣體軸承支承結(jié)構(gòu)。超高速精密微主軸受結(jié)構(gòu)尺寸及微小零件加工條件限制，目前主要采用滾動(dòng)軸承和小孔節(jié)流式靜壓氣體軸承支承。滾動(dòng)軸承高速運(yùn)行時(shí)的溫升較高，需設(shè)置冷卻系統(tǒng)，這就使微主軸結(jié)構(gòu)復(fù)雜。小孔節(jié)流式靜壓氣體軸承承載小、剛度低，造成主軸的跳動(dòng)隨著轉(zhuǎn)速的提高而不斷加劇。本技術(shù)方案采用微小型多孔質(zhì)靜壓氣體軸承支承，不僅避免了溫升問(wèn)題，且承載力和剛度都得以提升，保證了微主軸超高轉(zhuǎn)速下的高回轉(zhuǎn)精度。

4.微刀具的熱脹冷縮夾持方式?，F(xiàn)有微主軸常采用微小彈簧夾頭夾持微刀具，彈簧夾頭的制造安裝誤差不僅會(huì)直接傳遞到微刀具上，導(dǎo)致微刀具的跳動(dòng)誤差增大，而且也增大了主軸轉(zhuǎn)子的不平衡量，影響微主軸的轉(zhuǎn)速。而本技術(shù)方案在主軸轉(zhuǎn)子前端軸線處設(shè)置有軸向孔，通過(guò)熱脹冷縮效應(yīng)夾持微刀具，即通過(guò)溫度的改變來(lái)實(shí)現(xiàn)刀具的夾持和更換要求，以此避免彈簧夾頭的制造安裝誤差及其帶入的不平衡量，從而有利于微主軸回轉(zhuǎn)精度及其轉(zhuǎn)速的提高。

5.微刀具懸伸長(zhǎng)度可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。主軸轉(zhuǎn)子前端軸線處的軸向孔深度大于微刀具刀柄長(zhǎng)度，不僅可根據(jù)加工要求調(diào)節(jié)微刀具懸伸長(zhǎng)度，以滿足較大尺寸范圍內(nèi)的加工要求，更重要的是通過(guò)調(diào)節(jié)微刀具懸伸長(zhǎng)度可與主軸轉(zhuǎn)子后端設(shè)置的擋板協(xié)調(diào)保證主軸轉(zhuǎn)子前后端質(zhì)量平衡，減小主軸轉(zhuǎn)子的跳動(dòng)誤差。

6.主軸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且對(duì)稱。主軸轉(zhuǎn)子上的渦輪葉片為偶數(shù)個(gè)規(guī)則的圓柱面形，主軸轉(zhuǎn)子后端設(shè)置的擋板與前端設(shè)置的軸向孔都為圓柱或圓筒形結(jié)構(gòu)，可見整個(gè)主軸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單且對(duì)稱，加工精度容易保證，也就是說(shuō)易通過(guò)加工制造精度來(lái)保證主軸轉(zhuǎn)子的不平衡量，從而有利于實(shí)現(xiàn)微主軸的超高轉(zhuǎn)速與低跳動(dòng)誤差性能。

綜上所述，本發(fā)明設(shè)計(jì)新穎合理、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小(<直徑30mm×長(zhǎng)45mm)、制造方便，符合市場(chǎng)化的產(chǎn)品要求，而且轉(zhuǎn)速高、跳動(dòng)誤差小，特別適合于超精密微小零件的微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削、微細(xì)磨削等微細(xì)機(jī)械加工，可作為微機(jī)床的微主軸及其它作高速超高速、高精度回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的機(jī)電設(shè)備或手動(dòng)工具機(jī)的微主軸。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例的主剖視圖。

圖2是本發(fā)明圖1的A-A剖視圖(即后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承進(jìn)氣均壓通道)。

圖3是本發(fā)明圖1的B-B剖視圖(即多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承排氣通道)。

圖4是本發(fā)明圖1的C-C剖視圖(即后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承進(jìn)氣通道)。

圖5是本發(fā)明圖1的D-D剖視圖(即渦輪后端排氣通道)。

圖6是本發(fā)明圖1的E-E剖視圖(即渦輪進(jìn)氣通道)。

圖7是本發(fā)明圖1的F-F剖視圖(即渦輪前端排氣通道)。

圖8是本發(fā)明圖1的G-G剖視圖(即主軸轉(zhuǎn)子后端軸承排氣道)

附圖1-8中：1—箱體，2—后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承，3—前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承，4—后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承，5—后端氣流進(jìn)氣道，6—后端多孔質(zhì)靜壓氣體軸承供氣口，7—小孔，8—噴嘴供氣口，9—前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承供氣口，10—前端氣流進(jìn)氣道，11—安裝板，12—螺釘，13—前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承，14—軸向孔，15—微刀具，16—主軸轉(zhuǎn)子，17—前端軸承支承件，18—渦輪噴嘴，19—渦輪，20—后端軸承支承件，21—擋板，22—后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承供氣口，23—止推軸承排氣口，24—渦輪后端排氣口，25—渦輪后端排氣道，26—渦輪前端排氣口，27—渦輪前端排氣道，28—止推軸承進(jìn)氣道，29—葉片，30—均壓板，31—均壓孔，32—止推軸承排氣道，33—后端軸承排氣道。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)說(shuō)明。

參見附圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6、圖7和圖8，所述渦輪19直接在所述主軸轉(zhuǎn)子16中間加工而成，即渦輪19與主軸轉(zhuǎn)子16制成一體，避免了渦輪16的安裝誤差，所述渦輪19上的葉片29為規(guī)則圓柱面形，且正對(duì)渦輪噴嘴18上的小孔7，所述渦輪噴嘴18設(shè)置有兩圈小孔7用以提供高速氣流驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)子16高速旋轉(zhuǎn)，即采用氣動(dòng)微渦輪實(shí)現(xiàn)微主軸的超高速回轉(zhuǎn)，所述主軸轉(zhuǎn)子16前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承13、后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承4徑向支承，所述主軸轉(zhuǎn)子16后端設(shè)置有擋板21，所述擋板21前、后端分別采用前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承3、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2軸向支承，即采用多孔質(zhì)靜壓氣體軸承實(shí)現(xiàn)微主軸的超精密回轉(zhuǎn)，所述主軸轉(zhuǎn)子16后端還設(shè)置有后端軸承排氣道33用以排出氣流，所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承13安裝在前端軸承支承件17內(nèi)，所述前端軸承支承件17周向均布有4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道10，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承4與所述前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承3制成一體的“L”形，并安裝在后端軸承支承件20內(nèi)，所述后端軸承支承件20周向均布有4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道5，所述后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2通過(guò)均壓板30提供氣流，所述均壓板30、后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2依次安裝在箱體1后端，所述后端軸承支承件20、渦輪噴嘴18、前端軸承支承件17依次安裝在箱體1內(nèi)，并通過(guò)安裝板11、螺釘12固定安裝，可見整個(gè)微主軸的零件數(shù)量少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工成本低，有利于產(chǎn)品的市場(chǎng)化要求，所述箱體1設(shè)置有后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承供氣口22及對(duì)應(yīng)的止推軸承進(jìn)氣道28、止推軸承排氣道32、止推軸承排氣口23、后端多孔質(zhì)靜壓氣體軸承供氣口6、渦輪后端排氣口24、噴嘴供氣口8、渦輪前端排氣口26，前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承供氣口9，所述主軸轉(zhuǎn)子16前端軸線處設(shè)置有軸向孔14，通過(guò)熱脹冷縮效應(yīng)夾持微銑刀、微鉆頭、微磨棒等微刀具15或其它微執(zhí)行機(jī)構(gòu)，避免了采用彈簧夾頭的制造安裝誤差，且軸向孔14深度大于微刀具15刀柄長(zhǎng)度，從而可調(diào)節(jié)微刀具15懸伸長(zhǎng)度，不僅可實(shí)現(xiàn)較大尺寸范圍的微細(xì)機(jī)械加工，更重要的是可與主軸轉(zhuǎn)子16后端設(shè)置的擋板21協(xié)調(diào)保證主軸轉(zhuǎn)子16前后端質(zhì)量平衡，減小主軸轉(zhuǎn)子16的跳動(dòng)誤差，提升微刀具15的回轉(zhuǎn)精度。

參見附圖1和圖6，所述渦輪噴嘴18不限于設(shè)置兩圈小孔7，越小尺寸的小孔在一定范圍內(nèi)能提供更高速度的氣流，但是作用力小，因此可根據(jù)輸出轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)矩要求設(shè)置單圈或多圈小孔7，即在實(shí)現(xiàn)渦輪19超高轉(zhuǎn)速的同時(shí)，還要保證輸出轉(zhuǎn)矩，以滿足微細(xì)機(jī)械加工要求。

參見附圖1和圖4，所述前端軸承支承件17不限于均布4個(gè)前端氣流進(jìn)氣道10，所述后端軸承支承件20也不限于均布4個(gè)后端氣流進(jìn)氣道5，所述均壓板30也不限于均布4個(gè)均壓孔31，可根據(jù)需要設(shè)置其它數(shù)量的進(jìn)氣道或均壓孔，但需周向均布設(shè)置，目的是減小超高速氣流不對(duì)稱沖擊對(duì)多孔質(zhì)軸承變形的影響，進(jìn)而保證主軸轉(zhuǎn)子的高回轉(zhuǎn)精度。

本發(fā)明的工作原理簡(jiǎn)述于下：氣源經(jīng)兩個(gè)噴嘴供氣口8進(jìn)入渦輪噴嘴18內(nèi)，隨后經(jīng)小孔7形成超高速氣流，作用于渦輪19上的葉片29，推動(dòng)主軸轉(zhuǎn)子16旋轉(zhuǎn)，隨后排出的氣流一部分經(jīng)渦輪前端排氣道27、渦輪前端排氣口26，另一部分經(jīng)渦輪后端排氣道25、渦輪后端排氣口24排出，從而實(shí)現(xiàn)微主軸的超高速回轉(zhuǎn)性能；主軸轉(zhuǎn)子16前端的徑向支承是在氣源經(jīng)前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承供氣口9進(jìn)入前端軸承支承件17內(nèi)，隨后經(jīng)前端氣流進(jìn)氣道10流入前端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承13內(nèi)，通過(guò)靜壓作用支承主軸轉(zhuǎn)子16后一部分氣流直接排出，另一部分氣流經(jīng)渦輪前端排氣道27、渦輪前端排氣口26排出，主軸轉(zhuǎn)子16后端的徑向支承是在氣源經(jīng)后端多孔質(zhì)靜壓氣體軸承供氣口6進(jìn)入后端軸承支承件20內(nèi)，隨后經(jīng)后端氣流進(jìn)氣道5進(jìn)入后端多孔質(zhì)靜壓氣體徑向軸承4內(nèi)，通過(guò)靜壓作用支承主軸轉(zhuǎn)子16后一部分氣流經(jīng)渦輪后端排氣道25、渦輪后端排氣口24排出，另一部分氣流經(jīng)后端軸承排氣道33、止推軸承排氣道32排出，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)主軸轉(zhuǎn)子16的徑向支承定位；主軸轉(zhuǎn)子16的軸向支承是通過(guò)設(shè)置的擋板21來(lái)實(shí)現(xiàn)，具體是進(jìn)入后端軸承支承件20內(nèi)的一部分氣流會(huì)進(jìn)入擋板21前端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承3內(nèi)，通過(guò)靜壓作用支承主軸轉(zhuǎn)子16的擋板21后一部分經(jīng)止推軸承排氣口23流出，另一部分經(jīng)后端軸承排氣道33、止推軸承排氣道32排出，擋板21后端的支承是在氣源從后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承供氣口22、止推軸承進(jìn)氣道28，均壓板30上的均壓孔31后，進(jìn)入后端多孔質(zhì)靜壓氣體止推軸承2內(nèi)，通過(guò)靜壓作用支承主軸轉(zhuǎn)子16的擋板21后，一部分氣流經(jīng)止推軸承排氣口23排出，另一部分氣流經(jīng)止推軸承排氣道32排出，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)主軸轉(zhuǎn)子16的軸向支承定位，采用多孔質(zhì)靜壓氣體軸承支承，不僅可有效降低采用滾動(dòng)軸承支承時(shí)的摩擦功率損耗，而且相比小孔節(jié)流式靜壓氣體軸承，承載力更高、剛度更大，因此可有效解決微主軸超高速回轉(zhuǎn)時(shí)的大跳動(dòng)誤差問(wèn)題；微刀具15通過(guò)熱脹冷縮效應(yīng)夾持在主軸轉(zhuǎn)子16的軸向孔14內(nèi)，避免了采用彈簧夾頭的制造安裝誤差，而且由于軸向孔14的深度大于微刀具15刀柄的長(zhǎng)度，因此可調(diào)節(jié)微刀具15的懸伸長(zhǎng)度，這樣不僅可滿足較大尺寸范圍內(nèi)的加工要求，更重要的是可與主軸轉(zhuǎn)子16后端設(shè)置的擋板21協(xié)調(diào)實(shí)現(xiàn)主軸轉(zhuǎn)子16前后端的精密平衡要求，非常有利于微主軸超精密回轉(zhuǎn)要求的實(shí)現(xiàn)。