1.一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:按照半圓型靶材成品尺寸要求預(yù)留余量切割坯料,直角邊進行平面加工,將兩個半圓粘接成整圓,研磨加工磨外圓,將整圓拆解回兩個半圓,進行平面表面的精磨加工。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:所述一種半圓型靶材的加工方法,具體包括以下步驟:
第一步:按照半圓型靶材成品尺寸要求進行坯料的切割加工,預(yù)留余量切割坯料,預(yù)留尺寸直徑大于5mm;
第二步:將多片半圓兩端用精密口鉗裝夾固定,將直角邊平行放置于平面磨床,進行平面加工;
第三步:將兩個半圓在工裝上進行粘接成整圓,對整圓進行固定,外沿找正,對外圓尺寸按照磨外圓的普通加工工藝進行研磨加工;
第四步:加工完成后,將整圓拆解回兩個半圓,進行平面表面的精磨加工;
第五步:研磨完成,工件進行清洗,檢驗,形成半圓型靶材。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:所述第一步中切割使用水刀切割,預(yù)留尺寸直徑大于10mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:所述第一步中切割使用電火花線切割,預(yù)留尺寸直徑大于5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:所述第三步中粘接為:采用加工好的鋁制圓片,將半圓片在鋁制圓片上用502膠進行粘接,將半圓組成整圓,然后用另一塊鋁制圓片在對面進行粘接,在機床上進行固定找正。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的一種半圓型靶材的加工方法,其特征是:所述最終加工出的半圓型靶材的加工精度直徑+0.1mm,厚度小于0.03mm,粗糙度小于1.6。