本實用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光修復(fù)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前，在顯示基板的制造過程中，可能會由于工藝的原因出現(xiàn)一些不良，例如在形成源極或漏極時，常會出現(xiàn)刻蝕不完全的問題，這時就需要對顯示基板進(jìn)行修復(fù)以將多余的部分去除掉。

現(xiàn)有技術(shù)中常利用如圖1所示的激光發(fā)射器10對顯示基板(待修復(fù)基板)20進(jìn)行修復(fù)，激光發(fā)射器10包括激光發(fā)射頭101，然而由于顯示基板20中大多數(shù)膜層都是金屬材料，金屬材料在激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光的熱效應(yīng)下容易濺射，而濺射的碎屑201會污染顯示基板20，從而又會引起二次不良。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的實施例提供一種激光修復(fù)系統(tǒng)，可在修復(fù)待修復(fù)基板的過程中，避免污染待修復(fù)基板。

為達(dá)到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案：

本實用新型實施例提供一種激光修復(fù)系統(tǒng)，包括：激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器上設(shè)置有激光發(fā)射頭；吹氣裝置，所述吹氣裝置具有吹氣口，用于朝向所述激光發(fā)射頭的照射位置進(jìn)行吹氣；吸氣裝置，所述吸氣裝置具有吸氣腔室，所述吸氣腔室具有吸氣口，所述吸氣口用于朝向所述激光發(fā)射頭的照射位置進(jìn)行吸氣；其中，所述吹氣口與所述吸氣腔室互不連通。

優(yōu)選的，所述吸氣裝置和所述吹氣裝置封裝在一殼體內(nèi)，所述吹氣裝置的吹氣口和所述吸氣裝置的吸氣口露出于所述殼體。

優(yōu)選的，所述激光修復(fù)系統(tǒng)還包括：通道集成裝置；所述通道集成裝置包括光通道、吸氣通道和吹氣通道；所述光通道用于使所述激光發(fā)射頭發(fā)射的光通過，所述吹氣通道與所述吹氣口通過管道相連通，所述吸氣通道與所述吸氣口通過管道相連通；其中，所述光通道的光出口和所述吹氣通道的出氣口位于所述通道集成裝置的同一個端面上。

優(yōu)選的，所述吸氣通道的入氣口、所述光通道的光出口和所述吹氣通道的出氣口位于所述通道集成裝置的同一個端面上。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述吹氣通道的出氣口相對所述吸氣通道的入氣口靠近所述光通道的光出口。

優(yōu)選的，所述吹氣通道分為入氣段和出氣段，所述吹氣通道的出氣段向靠近所述光通道的光出口處傾斜。

優(yōu)選的，所述通道集成裝置還包括用于密封所述光通道的光入口和光出口的透明遮擋件。

優(yōu)選的，所述通道集成裝置包括多個吹氣通道和多個吸氣通道，所述多個吹氣通道圍繞所述光通道設(shè)置，所述多個吸氣通道圍繞多個吹氣通道設(shè)置。

優(yōu)選的，所述吹氣裝置包括第一氣壓調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)所述吹氣口的吹氣壓力；和/或所述吸氣裝置包括第二氣壓調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)所述吸氣口的吸氣壓力。

優(yōu)選的，所述激光發(fā)射器具有一個激光出射口，所述激光發(fā)射器包括多個激光發(fā)射頭，所述多個激發(fā)光射頭均可移動至所述激光出射口；其中，所述激光出射口正對所述通道集成裝置中的光通道。

本實用新型實施例提供一種激光修復(fù)系統(tǒng)，由于激光修復(fù)系統(tǒng)除包括激光發(fā)射器外，還包括吹氣裝置和吸氣裝置，當(dāng)激光發(fā)射器的激光發(fā)射頭對待修復(fù)基板中的待修復(fù)位置進(jìn)行修復(fù)時，吹氣裝置對激光照射位置進(jìn)行吹氣，從而可以使濺射的碎屑處于懸浮狀態(tài)，這樣碎屑就不會粘結(jié)在待修復(fù)基板上，吸氣裝置對激光照射位置進(jìn)行吸氣時，可以吸附懸浮的碎屑，這樣便避免了碎屑落在待修復(fù)基板上，減少了修復(fù)過程對待修復(fù)基板的污染，從而減小了二次不良的產(chǎn)生。此外，吸附裝置還可以對空氣中的顆粒進(jìn)行吸附，防止空氣中的顆粒落在待修復(fù)基板上，以進(jìn)一步減小對待修復(fù)基板的污染，保證了待修復(fù)基板的潔凈度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的一種激光發(fā)射器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2(a)為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2(b)為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3(a)為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖三；

圖3(b)為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖四；

圖3(c)為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖五；

圖4為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖六；

圖5為本實用新型實施例提供的一種通道集成裝置的俯視示意圖；

圖6為本實用新型實施例提供的一種吸氣通道或吹氣通道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本實用新型實施例提供的一種激光修復(fù)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖七。

附圖標(biāo)記：

10-激光發(fā)射器；101-激光發(fā)射頭；102-激光出射口；20-待修復(fù)基板(顯示基板)；201-碎屑；30-吹氣裝置；40-吸氣裝置；50-殼體；60-通道集成裝置；601-光通道；602-吹氣通道；6021-入氣段；6022-出氣段；603-吸氣通道；70-管道；80-透明遮擋件。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

本實用新型實施例提供一種激光修復(fù)系統(tǒng)，如圖2-圖4以及圖7所示，包括：激光發(fā)射器10，激光發(fā)射器10上設(shè)置有激光發(fā)射頭101；吹氣裝置30，吹氣裝置30具有吹氣口，用于朝向激光發(fā)射頭101的照射位置進(jìn)行吹氣；吸氣裝置40，吸氣裝置40具有吸氣腔室，吸氣腔室具有吸氣口，吸氣口用于朝向激光發(fā)射頭101的照射位置進(jìn)行吸氣；其中，吹氣口與吸氣腔室互不連通。

需要說明的是，第一，本實用新型實施例中激光發(fā)射頭101的照射位置并不限于激光發(fā)射頭101在待修復(fù)基板20上的照射點，可以包括照射點以及照射點周圍一定范圍的區(qū)域。

第二，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，為了確保激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光可以對待修復(fù)基板20進(jìn)行修復(fù)，吹氣裝置30和吸氣裝置40的設(shè)置位置以不影響激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光照射到待修復(fù)基板20上的待修復(fù)位置為準(zhǔn)。此處，激光發(fā)射頭101的照射位置即指待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置。

第三，吹氣裝置30和吸氣裝置40可以如圖2(a)所示設(shè)置在不同位置，也可以如圖2(b)所示吹氣裝置30和吸氣裝置40封裝在同一殼體50內(nèi)。

其中，對于吹氣裝置30的類型和吹氣原理不進(jìn)行限定，只要有氣流從吹氣口吹出即可。對于吸氣裝置40的類型和吸氣原理不進(jìn)行限定，只要氣流能通過吸氣口從吸氣腔室外流向吸氣腔室內(nèi)即可。

第四，激光修復(fù)系統(tǒng)在使用時，可以在激光發(fā)射頭101照射的同時，利用吹氣裝置30和吸氣裝置40分別進(jìn)行吹氣和吸氣；也可以在激光發(fā)射頭101照射的同時，利用吹氣裝置30進(jìn)行吹氣，在激光發(fā)射頭101照射停止后，吹氣裝置30可以停止吹氣，并利用吸氣裝置40進(jìn)行吸氣。

第五，對于吹氣裝置30的吹氣時間以及吹氣壓力、吸氣裝置40的吸氣時間以及吸氣壓力不進(jìn)行限定，可以根據(jù)待修復(fù)基板20需要去除的膜層多余部分的量和材料進(jìn)行合理設(shè)置，以確保設(shè)置的吹氣壓力既可以使碎屑201處于懸浮狀態(tài)，即碎屑201不落在待修復(fù)基板20上，又不會將碎屑201吹散而污染到其它區(qū)域，設(shè)置的吸氣壓力能將碎屑201吸附至吸氣腔室內(nèi)，通常吸氣壓力在1～2個大氣壓值范圍內(nèi)。

本實用新型實施例提供一種激光修復(fù)系統(tǒng)，由于激光修復(fù)系統(tǒng)除包括激光發(fā)射器10外，還包括吹氣裝置30和吸氣裝置40，當(dāng)激光發(fā)射器10的激光發(fā)射頭101對待修復(fù)基板20中的待修復(fù)位置進(jìn)行修復(fù)時，吹氣裝置30對激光照射位置進(jìn)行吹氣，從而可以使濺射的碎屑201處于懸浮狀態(tài)，這樣碎屑201就不會粘結(jié)在待修復(fù)基板20上，吸氣裝置40對激光照射位置進(jìn)行吸氣時，可以吸附懸浮的碎屑201，這樣便避免了碎屑201落在待修復(fù)基板20上，減少了修復(fù)過程對待修復(fù)基板20的污染，從而減小了二次不良的產(chǎn)生。此外，吸附裝置40還可以對空氣中的顆粒進(jìn)行吸附，防止空氣中的顆粒落在待修復(fù)基板20上，以進(jìn)一步減小對待修復(fù)基板20的污染，保證了待修復(fù)基板20的潔凈度。

優(yōu)選的，如圖2(b)所示，吸氣裝置40和吹氣裝置30封裝在一殼體50內(nèi)，吹氣裝置30的吹氣口和吸氣裝置40的吸氣口露出于殼體50。

吸氣裝置40在吸氣時，由于外界氣壓高于吸氣腔室內(nèi)氣壓，因而氣流從吸氣腔室外向吸氣腔室內(nèi)流動；而吹氣裝置30在吹氣時，由于外界氣壓低于吹氣裝置30內(nèi)氣壓，因而氣流由吹氣裝置30內(nèi)向吹氣裝置30外流動?；诖耍緦嵱眯滦蛯嵤├龑⑽鼩庋b置40和吹氣裝置30封裝在同一殼體50內(nèi)，一方面，吸氣裝置40內(nèi)的氣流和吹氣裝置30內(nèi)的氣流可以進(jìn)行交換，以提高吸氣裝置40的吸氣效率和吹氣裝置30的吹氣效率(此時吸氣腔室內(nèi)吸附的碎屑201和空氣中的顆粒等不能進(jìn)入吹氣裝置30)；另一方面，當(dāng)激光發(fā)射器10移動時，吸氣裝置40和吹氣裝置30可以隨著激光發(fā)射器10同時進(jìn)行移動。

本實用新型實施例，當(dāng)激光發(fā)射頭101發(fā)射激光時，碎屑201主要集中該激光發(fā)射頭101的正下方，由于若吸氣裝置40和吹氣裝置30距離待修復(fù)位置較遠(yuǎn)，則吹氣口和吸氣口離待修復(fù)位置較遠(yuǎn)，從而會使得吸附效果不佳或吹氣口吹出的氣不能使碎屑201處于懸浮狀態(tài)；若吸氣裝置40和吹氣裝置30距離待修復(fù)位置較近，則吹氣裝置30和吸氣裝置40可能會影響激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光射向待修復(fù)位置。

基于此，本實用新型優(yōu)選的，如圖3、圖4以及圖7所示，激光修復(fù)系統(tǒng)還包括：通道集成裝置60；通道集成裝置60包括光通道601、吸氣通道603和吹氣通道602；光通道601用于使激光發(fā)射頭101發(fā)射的光通過，吹氣通道602與吹氣口通過管道70相連通，吸氣通道603與吸氣口通過管道70相連通；其中，光通道601的光出口和吹氣通道602的出氣口位于通道集成裝置60的同一個端面上。

其中，光通道601即指激光發(fā)射頭101發(fā)出的光可以通過該通道射向待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置，激光入射向光通道601的口稱為光入口，激光從光通道601出射的口稱為光出口。此處，激光發(fā)射頭101可以正對光通道601，以使激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光射向光通道601，也可以將激光發(fā)射頭101和光通道601之間通過光纖連接，以使激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光射向光通道601。

吹氣通道602中氣流進(jìn)入吹氣通道602的口稱為入氣口，氣流從吹氣通道602流向空氣的口稱為出氣口。同理，吸氣通道603中氣流進(jìn)入吸氣通道603的口稱為入氣口，氣流從吸氣通道603流向管道70的口稱為出氣口。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，連接吸氣通道603和吸氣口的管道70以及連接吹氣通道602和吹氣口的管道70應(yīng)具有良好的密封性，不能漏氣。管道70的材料例如可以為不銹鋼。進(jìn)一步地，管道70的兩端可以具有外螺紋，吸氣通道603的出氣口和吸氣裝置40的吸氣口具有與管道70外螺紋匹配的內(nèi)螺紋，以使管道70與吸氣通道603以及吸氣口連接的更緊密，避免漏氣。同理，吹氣通道602的入氣口和吹氣裝置30的吹氣口也可以具有與管道70外螺紋匹配的內(nèi)螺紋，以使管道70與吹氣通道602以及吹氣口連接的更緊密。

需要說明的是，如圖3、圖4以及圖7所示，光通道601的光出口和吹氣通道602的出氣口位于通道集成裝置60的同一端面上，這樣便可以在激光發(fā)射頭101對待修復(fù)位置進(jìn)行修復(fù)的同時，利用吹氣裝置30對待修復(fù)位置進(jìn)行吹氣。此處，可以是如圖3(a)、圖3(c)、圖4以及圖7所示，光通道601的光出口、吹氣通道602的出氣口以及吸氣通道603的入氣口均位于通道集成裝置60的同一端面上，也可以是如圖3(b)所示，吸氣通道603的入氣口與光通道601的光出口、吹氣通道602的出氣口位于通道集成裝置60的不同端面上，此時，激光發(fā)射頭101對待修復(fù)位置修復(fù)完成后，則需要旋轉(zhuǎn)通道集成裝置60，以使吸氣通道603的入氣口朝向待修復(fù)基板20。

此外，對于通道集成裝置60中吸氣通道603的個數(shù)和吹氣通道602的個數(shù)不進(jìn)行限定，可以分別設(shè)置一個，也可以均設(shè)置多個，當(dāng)然也可以是吸氣通道603和吹氣通道602中的任一個設(shè)置一個，另一個設(shè)置多個(圖3、圖4以及圖7中均以吸氣通道603和吹氣通道602分別設(shè)置一個為例進(jìn)行示意)。

此處，優(yōu)選的通道集成裝置60與待修復(fù)基板20之間的距離滿足d：1.5mm≤d≤2mm。

在此基礎(chǔ)上，激光修復(fù)系統(tǒng)還包括自動聚焦裝置，在修復(fù)過程中，自動聚焦裝置會控制激光發(fā)射器10移動，以將當(dāng)前用于發(fā)射激光的激光發(fā)射頭101移動至與待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置正對的位置，從而使激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光射向待修復(fù)位置。本實用新型實施例，由于激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光從通道集成裝置60的光通道601出射，因而激光發(fā)射器10應(yīng)與通道集成裝置60同步進(jìn)行移動，以確保光通道601的光出口正對待修復(fù)位置。激光發(fā)射器10與通道集成裝置60可以水平移動，也可以豎直移動，豎直移動時便可以調(diào)整通道集成裝置60與待修復(fù)基板20之間的距離。

本實用新型實施例，由于通道集成裝置60包括吸氣通道603和吹氣通道602，因而可以使吸氣通道603的入氣口和吹氣通道602的出氣口離待修復(fù)位置更近，從而可以更有效地對待修復(fù)位置進(jìn)行吸氣和吹氣，且激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光可以通過光通道601照射向待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置，吸氣通道603和吹氣通道602的設(shè)置不會干涉激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光射向待修復(fù)位置。

優(yōu)選的，如圖3(a)、圖3(c)、圖4以及圖7所示，吸氣通道603的入氣口、光通道601的光出口和吹氣通道602的出氣口位于通道集成裝置60的同一個端面上。

本實用新型實施例，由于吸氣通道603的入氣口、光通道601的光出口和吹氣通道602的出氣口位于通道集成裝置60的同一個端面上，因而可以在激光發(fā)射頭101在對待修復(fù)位置進(jìn)行修復(fù)時，同時進(jìn)行吹氣和吸氣；或者，在激光發(fā)射頭101對待修復(fù)位置修復(fù)完成后，無需旋轉(zhuǎn)通道集成裝置60，便可以直接進(jìn)行吸氣，從而節(jié)省了時間，防止碎屑201落在待修復(fù)基板上。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖3(a)、圖3(c)、圖4以及圖7所示，吹氣通道602的出氣口相對吸氣通道603的入氣口靠近光通道601的光出口。

由于光通道601的光出口正對的位置濺射的碎屑201最多，且從吹氣通道602吹出的氣會將碎屑201吹向遠(yuǎn)離光通道601的光出口的方向，因此本實用新型實施例優(yōu)選，吹氣通道602的出氣口相對吸氣通道603的入氣口靠近光通道601的光出口，這樣便可以使得修復(fù)過程對待修復(fù)基板20的污染最少。

優(yōu)選的，如圖3(c)、圖4以及圖7所示，吹氣通道602分為入氣段6021和出氣段6022，吹氣通道602的出氣段6022向靠近光通道601的光出口處傾斜。

其中，對于吹氣通道602的出氣段6022向靠近光通道601的光出口處傾斜的角度不進(jìn)行限定，優(yōu)選的，出氣段6022向靠近光通道601的光出口處傾斜的角度能夠使從吹氣通道602的出氣口吹出的氣剛好吹向待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置。

本實用新型實施例，吹氣通道602的出氣段6022向靠近光通道601的光出口處傾斜可以使從吹氣通道602吹出的氣更靠近待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置，以進(jìn)一步確保激光發(fā)射頭101照射后濺射的碎屑201盡可能多地處于懸浮狀態(tài)。

優(yōu)選的，如圖4所示，通道集成裝置60還包括用于密封光通道601的光入口和光出口的透明遮擋件80。

其中，對于透明遮擋件80的材料不進(jìn)行限定，例如可以為透明玻璃。在此基礎(chǔ)上，對于透明遮擋件80的形狀不進(jìn)行限定，只要能密封光通道601的光入口和光出口即可。

本實用新型實施例，在光通道601的光入口和光出口處設(shè)置用于密封光入口和光出口的透明遮擋件80，從而可以防止修復(fù)過程中濺射的碎屑201進(jìn)入光通道601或吹氣時懸浮的碎屑201進(jìn)入光通道601，污染光通道601，影響激光發(fā)射頭101發(fā)射的激光射向待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置。

優(yōu)選的，如圖5所示，通道集成裝置60包括多個吹氣通道602和多個吸氣通道603，多個吹氣通道602圍繞光通道601設(shè)置，多個吸氣通道603圍繞多個吹氣通道602設(shè)置。

其中，通道集成裝置60包括多個吹氣通道602時，此時激光修復(fù)系統(tǒng)可以包括多個吹氣裝置30，多個吹氣裝置30分別通過多個管道70與多個吹氣通道602相連通，也可以只包括一個吹氣裝置30，一個吹氣裝置30分別通過多個管道70與多個吹氣通道602相連通，用于向多個吹氣通道602吹氣。同理，通道集成裝置60包括多個吸氣通道603，此時激光修復(fù)系統(tǒng)可以包括多個吸氣裝置40，多個吸氣裝置40分別通過多個管道70與多個吸氣通道603相連通，也可以只包括一個吸氣裝置40，一個吸氣裝置40分別通過多個管道70與多個吸氣通道603相連通，用于向多個吸氣通道603吸氣。

本實用新型實施例，激光發(fā)射頭101發(fā)射的激光射向待修復(fù)基板20的待修復(fù)位置時，碎屑201會向待修復(fù)位置的四周都濺射，因而在光通道601周圍設(shè)置有多個吹氣通道602，可以充分對濺射的碎屑201吹氣，使待修復(fù)位置四周的碎屑201盡可能多地都處于懸浮狀態(tài)，在此基礎(chǔ)上，多個吸氣通道603圍繞多個吹氣通道602設(shè)置，這樣可以更充分地吸附碎屑201，使落在待修復(fù)基板20上碎屑201的量最少，進(jìn)而保證吸附的徹底性。

由于對待修復(fù)基板20上不同膜層進(jìn)行修復(fù)，或?qū)Σ煌迯?fù)基板20上膜層進(jìn)行修復(fù)時，材料的不同會導(dǎo)致使碎屑201處于懸浮狀態(tài)的吹氣壓力不同，材料的不同以及處于懸浮狀態(tài)的碎屑201量的不同會導(dǎo)致吸附碎屑201的吸氣壓力不同，因而本實用新型優(yōu)選的，吹氣裝置30包括第一氣壓調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)吹氣口的吹氣壓力；和/或吸氣裝置40包括第二氣壓調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)吸氣口的吸氣壓力，這樣便可以根據(jù)具體需要去除部分的材料或含量調(diào)試出一個合適的吸氣壓力和吹氣壓力，以確保激光修復(fù)系統(tǒng)可以使濺射的碎屑201處于懸浮狀態(tài)，且具有更好的吸附效果。此外，激光修復(fù)系統(tǒng)在實際使用過程中，還可以根據(jù)吹氣裝置30的吹氣效果和吸附裝置40的吸附效果，利用第一氣壓調(diào)節(jié)閥對吹氣裝置30的吹氣壓力進(jìn)行調(diào)試，以使設(shè)置的吹氣壓力既可以使濺射的碎屑201處于懸浮狀態(tài)，且不會將碎屑201吹散而污染到別的區(qū)域；利用第二氣壓調(diào)節(jié)閥對吸氣裝置40的吸氣壓力進(jìn)行調(diào)試，以盡可能地將懸浮的碎屑201都能夠吸附至吸附腔室內(nèi)。

優(yōu)選的，如圖6所示，通道集成裝置60包括可拆卸的多個部件，吹氣通道602和吸氣通道603分別由多個部件中的至少兩個部件圍成。

本實用新型說明書附圖6中以一個吹氣通道602或一個吸氣通道603為例進(jìn)行示意，且一個吹氣通道602或一個吸氣通道603由兩個部件圍成。

其中，多個部件可以通過連接件例如螺釘?shù)冗B接以圍成吹氣通道602和吸氣通道603。

由于激光修復(fù)系統(tǒng)長時間使用后，吸氣通道603或吹氣通道602中會殘留碎屑201或其它雜質(zhì)，從而影響通道集成裝置60的使用壽命，因而本實用新型實施例中，吹氣通道602和吸氣通道603分別由可拆卸的多個部件中的至少兩個部件圍成，這樣便可以對吹氣通道602和吸氣通道603進(jìn)行拆卸，以方便清理吹氣通道602和吸氣通道603，延長通道集成裝置60的使用壽命。

優(yōu)選的，如圖7所示，激光發(fā)射器10具有一個激光出射口102，激光發(fā)射器10包括多個激光發(fā)射頭101，多個激發(fā)光射頭101均可移動至激光出射口102；其中，激光出射口102正對通道集成裝置60中的光通道601。

此處，激光發(fā)射器10具有一個激光出射口102，只有移動至該位置的激光發(fā)射頭101才能發(fā)射激光。由于激光出射口102正對通道集成裝置60中的光通道601，因而當(dāng)激光發(fā)射頭101移動至激光出射口102時，激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光便可以射向光通道601?？梢愿鶕?jù)需要修復(fù)的膜層的需求移動切換相應(yīng)的激光發(fā)射頭101，并使激光發(fā)射頭101移動至激光出射口102處，以正對光通道601。

在此基礎(chǔ)上，需要說明的是，當(dāng)激光發(fā)射器10只有一個激光發(fā)射頭101時，激光發(fā)射頭101正對通道集成裝置60中的光通道601，當(dāng)激光發(fā)射器10有多個激光發(fā)射頭101時，激光出射口102一直正對通道集成裝置60中的光通道601，若需要對待修復(fù)基板20上的不同位置進(jìn)行修復(fù)時，在激光發(fā)射器10移動時，通道集成裝置60同時進(jìn)行移動，且移動時激光出射口102一直正對通道集成裝置60中的光通道601。

由于本實用新型實施例的激光發(fā)射器10包括多個激光發(fā)射頭101，因此可以根據(jù)待修復(fù)膜層的材料和厚度等選用相應(yīng)的激光發(fā)射頭101，且當(dāng)一個激光發(fā)射頭101損壞時，可使用其他激光發(fā)射頭101，從而擴(kuò)大了激光修復(fù)系統(tǒng)的使用范圍。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。