1.一種超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工裝置，其特征在于，所述超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工裝置包括：
2.一種超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1所述的一種超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工裝置進(jìn)行加工，所述超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述獲取第一模態(tài)參數(shù)，包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述基于所述第二位置的坐標(biāo)、所述第二位置測(cè)量撓度、所述第一扭轉(zhuǎn)角度和所述第一撓度計(jì)算修正進(jìn)給量，包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述基于所述第二位置測(cè)量撓度、所述第一撓度和所述第二撓度計(jì)算所述第二位置的第二扭轉(zhuǎn)角度，包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述修正進(jìn)給量包括刀具修正進(jìn)給量和工作臺(tái)修正進(jìn)給量，所述根據(jù)所述第二扭轉(zhuǎn)角度和所述第二位置測(cè)量撓度計(jì)算所述修正進(jìn)給量，包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述刀具修正進(jìn)給量包括刀具修正徑向進(jìn)給量和刀具修正周向進(jìn)給量，所述根據(jù)刀具預(yù)設(shè)進(jìn)給量、所述第二扭轉(zhuǎn)角度和所述第二位置測(cè)量撓度計(jì)算所述刀具修正進(jìn)給量，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法，其特征在于，所述工作臺(tái)修正進(jìn)給量包括工作臺(tái)修正徑向進(jìn)給量和工作臺(tái)修正周向進(jìn)給量，所述根據(jù)工作臺(tái)預(yù)設(shè)進(jìn)給量、所述第二扭轉(zhuǎn)角度和所述第二位置測(cè)量撓度計(jì)算所述工作臺(tái)修正進(jìn)給量，包括：
9.一種超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工設(shè)備，其特征在于，包括至少一個(gè)控制處理器和用于與所述至少一個(gè)控制處理器通信連接的存儲(chǔ)器；所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有可被所述至少一個(gè)控制處理器執(zhí)行的指令，所述指令被所述至少一個(gè)控制處理器執(zhí)行，以使所述至少一個(gè)控制處理器能夠執(zhí)行如權(quán)利要求2至8任一項(xiàng)所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法。
10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，所述計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行如權(quán)利要求2至8任一項(xiàng)所述的超硬度高強(qiáng)度內(nèi)齒輪的超聲精密加工方法。