激光輸出裝置及其藍(lán)寶石挖槽方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光加工領(lǐng)域，特別是涉及一種激光輸出裝置及其藍(lán)寶石挖槽方法。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石具有耐劃傷，擦傷，耐腐蝕的特點(diǎn)，與其它玻璃相比的優(yōu)點(diǎn)早已被很多人了解。但是由于材料本身的價(jià)格以及其加工上的難度，使得它一直以來難以被廣泛使用。目前藍(lán)寶石的材料成本已經(jīng)逐步下降，并且激光微加工領(lǐng)域的技術(shù)也有了飛快的發(fā)展。對藍(lán)寶石的切割，打孔，挖槽等具有很大的市場應(yīng)用前景。
[0003]對于傳統(tǒng)的消費(fèi)類電子行業(yè)中藍(lán)寶石凹槽的激光加工工藝來說，由于藍(lán)寶石是晶體材料，其晶向結(jié)構(gòu)是六方晶向，具有各向異性的特點(diǎn)，在激光加工中這種各向異性也會(huì)導(dǎo)致激光的效果的各向差異，用普通的線偏振激光來加工凹槽容易造成凹槽的深淺不一，影響加工效果和質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要提供一種能夠提升藍(lán)寶石加工效果和質(zhì)量的激光輸出裝置及使用該激光輸出裝置的藍(lán)寶石挖槽方法。
[0005]一種激光輸出裝置，包括激光器及光路組件，所述激光器用于產(chǎn)生激光；所述光路組件包括:
[0006]反射鏡，用于反射所述激光器產(chǎn)生的激光；及
[0007]四分之一波片，用于將所述激光器產(chǎn)生的激光轉(zhuǎn)變成圓偏振激光。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括檢測組件，用于檢測經(jīng)過所述四分之一波片的激光是否是圓偏振激光，所述檢測組件包括二分之一波片、偏振片、第一功率計(jì)及第二功率計(jì)；經(jīng)過所述四分之一波片的激光依次經(jīng)過所述二分之一波片及偏振片，激光分為互成90度夾角的第一分量及第二分量，第一功率計(jì)及第二功率計(jì)分別用于測量第一分量及第二分量的功率。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括用于控制所述圓偏振激光的激光振鏡。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括用于聚焦所述激圓偏振激光的激光聚焦鏡。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述激光器產(chǎn)生的激光的波長范圍為355?1064nm，激光的偏振態(tài)為線偏振，偏振比大于50:1。
[0012]一種藍(lán)寶石挖槽方法，包括以下步驟:
[0013]提供權(quán)利要求1所述的激光輸出裝置；
[0014]將藍(lán)寶石樣片放置于工作臺(tái)上，所述激光器產(chǎn)生激光，所述激光經(jīng)過所述四分之一波片轉(zhuǎn)變成圓偏振激光，所述圓偏振激光經(jīng)所述反射鏡反射后射至所述藍(lán)寶石樣片上進(jìn)行挖槽加工。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述激光輸出裝置還包括檢測組件，所述檢測組件包括二分之一波片、偏振片、第一功率計(jì)及第二功率計(jì)；
[0016]所述藍(lán)寶石挖槽方法還包括對所述圓偏振激光進(jìn)行檢測的步驟，所述對所述圓偏振激光進(jìn)行檢測的步驟具體為:
[0017]經(jīng)過所述四分之一波片的激光依次經(jīng)過所述二分之一波片及偏振片，激光分為互成90度夾角的第一分量及第二分量；
[0018]所述第一功率計(jì)及所述第二功率計(jì)分別測量所述第一分量及所述第二分量的功率，轉(zhuǎn)動(dòng)所述二分之一波片，并比較所述第一分量的功率與所述第二分量的功率的大小，若轉(zhuǎn)動(dòng)所述二分之一波片前后所述第一分量的功率與所述第二分量的功率都相等，則經(jīng)過所述四分之一波片的激光為圓偏振激光。
[0019]使用上述激光輸出裝置的藍(lán)寶石挖槽方法，將線偏振的激光光束通過四分之一波片轉(zhuǎn)換成圓偏振激光光束以對藍(lán)寶石樣片進(jìn)行挖槽加工，加工后的藍(lán)寶石樣片的凹槽的深度更加均勻，一致性更好，有效提升藍(lán)寶石加工效果和質(zhì)量。
【附圖說明】
[0020]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中的激光輸出裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為圓偏振激光在藍(lán)寶石樣片上的挖槽的軌跡的示意圖；
[0022]圖3為圓偏振激光在藍(lán)寶石樣片上挖出的凹槽的橫截面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施方式。相反地，提供這些實(shí)施方式的目的是使對本發(fā)明的公開內(nèi)容理解的更加透徹全面。
[0024]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的，并不表示是唯一的實(shí)施方式。
[0025]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施方式的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0026]請參閱圖1，本發(fā)明一實(shí)施例中的激光輸出裝置100，包括激光器110及光路組件(圖未標(biāo))。
[0027]激光器110用于產(chǎn)生激光。工作時(shí)，光路組件介于激光器110與需處理產(chǎn)品之間，激光器110發(fā)出的激光經(jīng)過光路組件。
[0028]光路組件包括反射鏡120及四分之一波片130。反射鏡120用于反射激光器110產(chǎn)生的激光。具體在本實(shí)施例中，反射鏡120包括第一反射鏡121及第二反射鏡123。
[0029]四分之一波片130用于將激光器110產(chǎn)生的激光轉(zhuǎn)變成圓偏振激光。
[0030]激光器110產(chǎn)生的激光經(jīng)過第一反射鏡121的反射后進(jìn)入四分之一波片130，四分之一波片130將激光器110產(chǎn)生的激光轉(zhuǎn)變成圓偏振激光。具體在本實(shí)施例中，激光器110產(chǎn)生的激光的波長范圍為355?1064nm，激光的偏振態(tài)為線偏振，偏振比大于50:1。經(jīng)過四分之一波片130之后，所獲得的圓偏振激光光束的偏振長軸與短軸比的范圍為I?1.2。
[0031]激光輸出裝置100還包括檢測組件(圖未標(biāo))。檢測組件用于檢測經(jīng)過四分之一波片130的激光是否是圓偏振激光，
[0032]檢測組件包括二分之一波片140、偏振片150、第一功率計(jì)160及第二功率計(jì)170。經(jīng)過四分之一波片130的激光依次經(jīng)過二分之一波片140及偏振片150。由于偏振片150的特性，其中水平偏振光垂直透過偏振片150，垂直偏振光轉(zhuǎn)90度射出。激光分為互成90度夾角的第一分量及第二分量，第一功率計(jì)160及第二功率計(jì)170分別用于測量第一分量及第二分量的功率。
[0033]轉(zhuǎn)動(dòng)二分之一波片140，若分別由第一功率計(jì)160及第二功率計(jì)170測得的第一分量及第二分量的功率相等，則經(jīng)過四分之