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      一種納米晶金屬極薄帶的制備方法

      文檔序號:9361124閱讀:1084來源:國知局
      一種納米晶金屬極薄帶的制備方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明屬于乳制技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種納米晶金屬極薄帶的制備方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]納米晶金屬材料一般是指晶粒尺度在10nm以內(nèi)的金屬材料;納米晶金屬材料因其晶粒細小和晶界比表面積大而表現(xiàn)出與普通金屬材料性能迥異的力學、電學和磁學等性能。納米晶金屬材料可通過氣相法制備,如氣相沉積法和濺射法等,也可通過液相法制備,如快淬法等,還可通過強烈塑性變形法制備,如小球滾動乳制法、高壓扭轉(zhuǎn)法和超聲波噴丸法等。
      [0003]隨著微制造技術(shù)和微成形技術(shù)的發(fā)展,金屬及合金極薄帶需求量越來越大,廣泛應(yīng)用于微電子行業(yè)、微制造行業(yè)、儀器儀表行業(yè)和微機電行業(yè)等;納米晶金屬極薄帶因兼具納米晶金屬材料和極薄帶的優(yōu)點,有著巨大的商業(yè)潛能,但常規(guī)的納米晶粒金屬材料制備方法卻難以實現(xiàn)連續(xù)低成本生產(chǎn),限制了其研究與應(yīng)用。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本發(fā)明的目的是提供一種納米晶金屬極薄帶的制備方法,采用帶張力異步乳制方法對金屬帶材進行連續(xù)乳制,通過上、下工作輥道次在線快慢速交替,充分細化晶粒獲得納米晶金屬極薄帶。
      [0005]本發(fā)明的方法按以下步驟進行:
      1、采用鋼、銅、鋁、鎳、鈦或鉬帶材,或上述金屬的合金帶材作為乳件,厚度為200?5000 μ m ;
      2、設(shè)置異步極薄帶乳機的乳制速度、異速比、異速比調(diào)節(jié)步長、預(yù)壓緊力和前后張應(yīng)力;
      3、啟動異步極薄帶乳機對乳件進行一個道次乳制,乳制時在線調(diào)節(jié)異速比,調(diào)節(jié)范圍為 1.0-1.5 ;
      4、一個道次乳制結(jié)束后,測量乳件的厚度,并重新對乳制速度、異速比、異速比調(diào)節(jié)步長、前后張應(yīng)力和預(yù)壓緊力進行設(shè)定;
      5、啟動異步極薄帶乳機對乳件進行下一道次乳制,乳制時在線調(diào)節(jié)異速比,調(diào)節(jié)范圍為 1.0-1.5 ;
      6、重復(fù)步驟2到5,直至乳件被乳制為厚度1~5μπι的納米晶極薄帶,完成乳制。
      [0006]上述的步驟2和步驟4中,設(shè)置的乳制速度為乳機最大乳制速度的20%~100%,異速比為1.0-1.5,異速比調(diào)節(jié)步長為0.01-0.10
      [0007]上述的步驟2和步驟4中,設(shè)置的前后張應(yīng)力為乳件原料屈服應(yīng)力的20%~60%,預(yù)壓緊力為乳機最大乳制力的10%~80%。
      [0008]上述的納米晶金屬極薄帶的晶粒尺寸在30~70nm。
      [0009]上述的步驟3和步驟5中,當異速比不為I時,異步極薄帶乳機中乳制速度較快的工作輥為快工作輥,乳制速度較慢的工作輥為慢工作輥,并且快工作輥的速度始終比慢工作輥的速度快;其中步驟3中的快工作輥在步驟5中為慢工作輥。
      [0010]上述的異步極薄帶乳機通過控制系統(tǒng)設(shè)置乳制速度、異速比和異速比調(diào)節(jié)步長,并通過控制系統(tǒng)在線調(diào)節(jié)異速比;所述的控制系統(tǒng)包括主控計算機、PLC和操作臺。
      [0011]本發(fā)明的方法對原料的原始晶粒尺寸沒有要求,采用帶張力異步乳制方法對乳件進行連續(xù)乳制,乳件承受壓縮-剪切-拉伸復(fù)合成形,易于乳件減薄和晶粒碎化;乳制過程中,上、下工作輥道次在線快慢速交替,乳件上下表面道次交替承受不同應(yīng)力狀態(tài),利于乳件晶粒均勻細化;整個乳制過程,乳件累積壓下系數(shù)大于等于40.0,且無中間退火道次,乳件最終厚度為1~5 μ m,最終晶粒尺寸在30~70nm ;等軸晶金屬原料經(jīng)過乳制后,乳件內(nèi)晶粒沿乳制方向延伸,在厚度方向上被壓扁,隨著壓下量增大,位錯密度增大,位錯纏結(jié),形成亞晶并進一步碎化成納米亞晶,當壓下量繼續(xù)增大時,納米亞晶界滑動,形成納米晶金屬極薄帶。
      [0012]本發(fā)明的有益效果在于:
      1、采用帶張力異步乳制,乳件將承受壓縮-剪切-拉伸復(fù)合成形,利于乳件減薄和晶粒碎化,可實現(xiàn)金屬極薄帶生產(chǎn)的連續(xù)化;
      2、可實現(xiàn)上、下工作輥道次在線快慢速交替,乳件上下表面道次交替承受不同應(yīng)力狀態(tài),利于晶粒均勻細化;
      3、整個乳制過程,乳件累積壓下系數(shù)大于等于40.0,但無須中間退火道次,可大大提高生產(chǎn)效率。
      【附圖說明】
      [0013]圖1為本發(fā)明的納米晶金屬極薄帶的制備裝置結(jié)構(gòu)示意圖;圖中,1、異步極薄帶乳機,2、計算機,3、操作臺,4、PLC;
      圖2為本發(fā)明的實施帶張力異步乳制時的乳件變形區(qū)組成示意圖;圖中,O1S快速輥圓心,02為慢速輥圓心,R為工作輥半徑,Vh為乳件入口速度,VhS乳件出口速度;
      圖3為本發(fā)明的納米晶金屬極薄帶的乳制過程乳件晶粒變化示意圖;
      圖4為本發(fā)明實施例2的納米晶紫銅極薄帶透射照片圖。
      【具體實施方式】
      [0014]本發(fā)明實施例中異步極薄帶乳機的控制系統(tǒng)包括主控計算機、PLC和操作臺,計算機和異步極薄帶乳機分別與操作臺裝配在一起,主控計算機上有乳機控制系統(tǒng)人機界面,可對上、下工作輥的乳制速度和異速比調(diào)節(jié)步長進行設(shè)定且可讀取當前乳制力、乳制速度等數(shù)值。
      [0015]本發(fā)明實施例中采用的金屬原料的厚度在200~5000 μπι。
      [0016]本發(fā)明的納米晶金屬極薄帶的制備方法的累積壓下系數(shù)大于等于40.00
      [0017]本發(fā)明中使用的透射電鏡為Tecnai G2 20。
      [0018]本發(fā)明的納米晶金屬極薄帶的制備裝置結(jié)構(gòu)如圖1所示,異步極薄帶乳機I通過控制系統(tǒng)設(shè)置乳制速度、異速比和異速比調(diào)節(jié)步長,并通過控制系統(tǒng)在線調(diào)節(jié)異速比;所述的控制系統(tǒng)包括主控計算機2、PLC4和操作臺3。
      [0019]本發(fā)明實施例中所使用的異步極薄帶乳機的最大乳制速度為130mm/s,最大乳制力為500kN。
      [0020]實施例1
      1、采用的原料為厚度350μπι,寬度為80mm的Q195鋼帶,成分按重量百分比C0.06-0.12%、Mn 0.25-0.50%、Si ( 0.30%、S 彡 0.05%、P 彡 0.045%,其余部分為 Fe,晶粒尺寸為12 μπι,原料的屈服強度為195MPa;啟動乳機系統(tǒng)電源,并將Q195鋼帶穿過上、下工作輥之間的輥縫,卷到兩卷筒上;
      2、設(shè)置異步極薄帶乳機的乳制速度、異速比、異速比調(diào)節(jié)步長、預(yù)壓緊力和前后張應(yīng)力;乳制速度為50mm/s,為乳機最大乳制速度的38.5%,異速比為1.0,異速比調(diào)節(jié)步長為0.01 ;前后張應(yīng)力為70MPa,為乳件原料屈服強度的35.9%,預(yù)壓緊力為100kN,為乳機最大乳制力的20.0% ;
      3、啟動異步極薄帶乳機對Q195鋼帶進行一個道次乳制,乳制時在線調(diào)節(jié)異速比,調(diào)節(jié)范圍在1.0-1.5 ;乳制時,當異速比不為I時,上工作輥為快工作輥,下工作輥為慢工作輥;
      4、一個道次乳制結(jié)束后,測量Q195鋼帶的厚度,并重新對乳制速度、異速比、異速比調(diào)節(jié)步長、前后張應(yīng)力和預(yù)壓緊力進行設(shè)定;乳制速度為50mm/s,為乳機最大乳制速度的38.5%,異速比為1.0,異速比調(diào)節(jié)步長為0.01 ;前后張應(yīng)力為70MPa,為乳件原料屈服強度的35.9%,預(yù)壓緊力為100kN,為乳機最大乳制力的20.0% ;
      5、啟動異步極薄帶乳
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