03沿所述激光器101的光路方向依次設(shè)置。通過(guò)設(shè)置第三反射鏡203，可以起到加長(zhǎng)光路和轉(zhuǎn)折光路的作用，進(jìn)一步方便對(duì)待加工的工件進(jìn)行加工。
[0052]另外，為避免激光裝置在外力作用下?lián)p壞，本實(shí)施例提供的激光控制系統(tǒng)中的激光裝置還可以設(shè)置激光裝置外殼，激光器101、第一反射鏡102、第二反射鏡103、第一探測(cè)器104、第二探測(cè)器105、能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和第三反射鏡203均設(shè)置于激光裝置外殼內(nèi)，通過(guò)設(shè)置激光裝置外殼可以對(duì)激光器101、第一反射鏡102、第二反射鏡103、第一探測(cè)器104、第二探測(cè)器105、能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和第三反射鏡203起到很好的保護(hù)作用，避免激光裝置在外力作用下?lián)p壞的情況發(fā)生。在設(shè)置激光裝置外殼時(shí)，需在外殼上設(shè)置一個(gè)用于激光通過(guò)的通孔以便激光器101發(fā)出的激光對(duì)待加工的工件進(jìn)行加工。
[0053]實(shí)施例三
[0054]參閱圖3，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于上述激光控制系統(tǒng)的穩(wěn)定激光光路能量和指向的方法，該方法包括以下步驟:
[0055]步驟S301:控制裝置獲得激光的數(shù)據(jù)信息，數(shù)據(jù)信息包括入射到第一反射鏡上的激光的光斑位置信息、入射到第二反射鏡上的激光的光斑位置信息，入射到第一反射鏡上的激光的取樣能量值，和/或，入射到第二反射鏡上的激光的取樣能量值。
[0056]使用激光裝置對(duì)待加工的工件進(jìn)行加工時(shí)，激光器發(fā)出的激光入射到第一反射鏡，第一探測(cè)器檢測(cè)入射到第一反射鏡上的激光的光斑位置信息以及激光的取樣能量值并反饋給控制裝置，入射到第一反射鏡上的激光經(jīng)第一反射鏡反射后入射到第二反射鏡，第二探測(cè)器檢測(cè)入射到第二反射鏡上的激光的光斑位置信息以及激光的取樣能量值并反饋給控制裝置。
[0057]其中，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器可以實(shí)時(shí)采集或者每隔固定時(shí)間采集第一反射鏡鏡上的光斑位置信息和激光的取樣能量值以及第二反射鏡上的光斑位置信息和激光的取樣能量值并反饋給控制裝置。
[0058]本實(shí)施例中，能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用半波片和偏振分光棱鏡組合而成，由于半波片和偏振分光棱鏡固有的特性，不同的入射角度的激光經(jīng)半波片偏轉(zhuǎn)后，透過(guò)偏振分光棱鏡的透過(guò)率不同。
[0059]步驟S302:控制裝置根據(jù)預(yù)設(shè)的算法對(duì)獲得的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行運(yùn)算，得到補(bǔ)償數(shù)據(jù)；
[0060]控制裝置獲得第一探測(cè)器檢測(cè)到的激光的光斑位置信息和激光的取樣能量值以及第二探測(cè)器檢測(cè)到的激光的光斑位置信息和激光的取樣能量值以后，根據(jù)第一探測(cè)器和第二探測(cè)器采集到的光斑位置信息以及激光的取樣能量值計(jì)算出相應(yīng)的補(bǔ)償數(shù)據(jù)(即為維持預(yù)先確定好激光的光路，第一反射鏡、第二反射鏡所需轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值，以及為維持原確定的入射到待加工工件的激光的能量值，半波片所需轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值)。
[0061]其中，控制裝置可以采用專用的控制器或計(jì)算機(jī)等智能終端，在使用激光裝置對(duì)待加工的工件進(jìn)行加工前，已經(jīng)預(yù)先確定好激光的光路以及激光經(jīng)偏振分光棱鏡后入射到待加工工件的激光的能量值范圍，并已記錄在控制裝置內(nèi)。
[0062]步驟S303:控制裝置根據(jù)補(bǔ)償數(shù)據(jù)控制安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的第一反射鏡的安裝角度、安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的第二反射鏡的安裝角度以及激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)后輸出的激光的能量大小。
[0063]控制裝置計(jì)算出相應(yīng)的補(bǔ)償數(shù)據(jù)后，并根據(jù)補(bǔ)償數(shù)據(jù)控制用于安裝第一反射鏡和第二反射鏡的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，以及半波片轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使激光沿原已確定好的光路經(jīng)聚焦鏡聚焦后入射到待加工的工件上，且入射到待加工的工件上的激光的能量值大小也在原設(shè)定的激光的能量值的范圍內(nèi)。
[0064]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種激光裝置，其特征在于，包括:激光器、第一反射鏡、第二反射鏡、第一探測(cè)器、第二探測(cè)器和能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)； 所述第一反射鏡、所述第二反射鏡和所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)沿所述激光器的光路方向依次設(shè)置； 所述第一探測(cè)器用于檢測(cè)入射到所述第一反射鏡上的激光的光斑位置信息，所述第二探測(cè)器用于檢測(cè)入射到所述第二反射鏡上的激光的光斑位置信息； 所述第一探測(cè)器還用于檢測(cè)入射到所述第一反射鏡上的激光的取樣能量值，和/或，所述第二探測(cè)器還用于檢測(cè)入射到所述第二反射鏡上的激光的取樣能量值； 所述第一反射鏡和所述第二反射鏡分別安裝在兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述第一探測(cè)器包括第一位置探測(cè)器，所述第二探測(cè)器包括第二位置探測(cè)器和第二能量探測(cè)器； 所述第一位置探測(cè)器用于檢測(cè)所述入射到所述第一反射鏡上的激光的光斑位置信息; 所述第二位置探測(cè)器用于檢測(cè)所述入射到所述第二反射鏡上的激光的光斑位置信息，所述第二能量探測(cè)器用于檢測(cè)所述入射到所述第二反射鏡上的激光的取樣能量值。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為聲光調(diào)制器或電光調(diào)制器。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括半波片和偏振分光棱鏡，所述第一反射鏡、所述第二反射鏡、所述半波片和所述偏振分光棱鏡沿所述激光器的光路方向依次設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光裝置，其特征在于，還包括吸收體，所述吸收體沿所述激光器的光路上的激光中的S偏振分量經(jīng)所述偏振分光棱鏡反射后的方向設(shè)置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于，所述激光器為固體激光器或半導(dǎo)體激光器。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于，還包括激光裝置外殼，所述激光器、所述第一反射鏡、所述第二反射鏡、所述第一探測(cè)器、所述第二探測(cè)器、所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和所述第三反射鏡均設(shè)置于所述激光裝置外殼內(nèi)。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于，還包括用于校準(zhǔn)所述激光器的光路方向的第一工裝和第二工裝，所述第一工裝位于所述第二探測(cè)器和所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)之間，所述第二工裝位于所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的遠(yuǎn)離所述第二探測(cè)器的一側(cè)。9.一種激光控制系統(tǒng)，包括權(quán)利要求1-8任一所述激光裝置，其特征在于，還包括控制裝置，所述控制裝置用于根據(jù)所述第一探測(cè)器和所述第二探測(cè)器檢測(cè)到的所述光斑位置信息和取樣能量值，控制安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的所述第一反射鏡的安裝角度、安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的所述第二反射鏡的安裝角度以及激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)所述能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)后輸出的激光的能量大小。10.一種應(yīng)用于權(quán)利要求9所述激光控制系統(tǒng)的穩(wěn)定激光光路能量和指向的方法，其特征在于，包括: 控制裝置獲得激光的數(shù)據(jù)信息，所述數(shù)據(jù)信息包括入射到所述第一反射鏡上的激光的光斑位置信息、入射到所述第二反射鏡上的激光的光斑位置信息，入射到所述第一反射鏡上的激光的取樣能量值，和/或，入射到所述第二反射鏡上的激光的取樣能量值； 所述控制裝置根據(jù)預(yù)設(shè)的算法對(duì)獲得的所述數(shù)據(jù)信息進(jìn)行運(yùn)算，得到補(bǔ)償數(shù)據(jù)；所述控制裝置根據(jù)所述補(bǔ)償數(shù)據(jù)控制安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的所述第一反射鏡的安裝角度、安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的所述第二反射鏡的安裝角度以及激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)后輸出的激光的能量大小。
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例提供了一種激光裝置、控制系統(tǒng)及穩(wěn)定激光光路能量和指向的方法。激光裝置包括激光器、第一反射鏡、第二反射鏡、第一探測(cè)器、第二探測(cè)器和能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；第一反射鏡、第二反射鏡和能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)沿激光器的光路方向依次設(shè)置；第一探測(cè)器和第二探測(cè)器分別用于檢測(cè)第一反射鏡上的激光的光斑位置信息和激光的取樣能量值以及第二反射鏡上的激光的光斑位置信息和激光的取樣能量值；第一反射鏡和第二反射鏡分別安裝在兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明實(shí)施例提供的激光裝置、控制系統(tǒng)及穩(wěn)定激光光路能量和指向的方法能有效保證激光光路能量和指向的穩(wěn)定。
【IPC分類】B23K26/70, B23K26/064
【公開號(hào)】CN105149772
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510657219
【發(fā)明人】張瑞, 常遠(yuǎn)
【申請(qǐng)人】維嘉數(shù)控科技（蘇州）有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年10月12日