線電極放電加工裝置、使用該線電極放電加工裝置的薄板的制造方法以及半導體晶片的 ...的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種線電極放電加工裝置、使用該線電極放電加工裝置的薄板的制造方法以及半導體晶片的制造方法。
【背景技術】
[0002]當前，在使用線電極放電加工，利用切割加工從柱狀的被加工物制作薄板形狀的晶片的情況下，為了提高上述切割加工的生產(chǎn)率，提出了將1根線電極在多個導輥之間反復卷掛從而使用許多線電極同時進行加工的方式。在該方式的線電極放電加工裝置中，形成將線電極以恒定間距并行配置而得到的切割線電極部，使該切割線電極部靠近被加工物，并且使用供電件向構成切割線電極部的各個線電極分別供電，由此在各切割線電極部與被加工物之間同時并列地產(chǎn)生放電，在多個位置處并行進行切割加工(例如，參照專利文獻1)。
[0003]專利文獻1:日本特開2000 - 94221號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]在上述線電極放電加工裝置中，對于構成切割線電極部的各個線電極，從分開的加工電源進行供電，因此各供電件彼此分離/獨立并電氣絕緣。為了使各供電件彼此電氣絕緣，在相鄰的供電件之間填充有絕緣材料。另外，用于貫穿多個供電件而對齊位置的排列棒由非導電性材料制作?；蛘?，通過在其表面實施非導電性物質的包覆，從而使各供電件在彼此不接觸且電氣不導通的情況下進行組裝。此時，多個供電件分別以各供電件也與作為供電對象的切割線電極部的各線電極的并列間隔相對應而排列的方式進行組裝，由此，如果在某個供電件架設線電極的槽中架設線電極，則對于其他的并列的供電件，也架設與它們對應的線電極。因此，在各供電件的組裝中，通過由填充于各供電件之間的絕緣材料等插入物進行的供電件間隔的調(diào)整、以及在貫穿了用于排列供電件的排列棒的狀態(tài)下的緊固量(tightening amount)的調(diào)整，從而對各供電件間隔進行微調(diào)。但是，在多個供電件的組裝中，構成切割線電極部的相鄰線電極彼此的間隔為幾百μm左右，與此相對，要求該相鄰線電極間隔的波動的容許值小于或等于十幾μπι?幾十μπι。因此，為了以這樣高精度排列供電件，需要高度的供電件組裝技術、以及對組裝后的供電件間的距離正確地進行測定的檢查技術，在加工現(xiàn)場中對各供電件的排列間隔進行微調(diào)并不是容易的。
[0005]本發(fā)明就是鑒于上述情況提出的，其目的在于通過穩(wěn)定地進行來自加工電源的供電，從而能夠進行高精度的切割加工，得到一種加工可靠性高的線電極放電加工裝置、使用該線電極放電加工裝置的薄板的制造方法、以及半導體晶片的制造方法。
[0006]為了解決上述課題并實現(xiàn)目的，本發(fā)明的特征在于具備:一對導輥，它們隔開間隔平行地配置；一根線電極，其在所述一對導輥之間以恒定間距分離并多次卷掛，該線電極隨著導輥的旋轉而行進，并且在一對導輥之間形成彼此分離的多個并列線電極部；一對減振導輥，它們設置在一對導輥之間，與并列線電極部分別從動接觸而形成減振后的切割線電極部；供電單元，其具備與作為供電對象的各切割線電極部的線電極并列間隔相對應地排列，并與多個并列線電極部分別接觸而供電的多個供電件，相鄰的各供電件被排列為至少每隔1根線電極而向并列線電極部進行供電；以及加工電源，其在供電件與線電極之間施加電壓而產(chǎn)生放電。
[0007]發(fā)明的效果
[0008]根據(jù)本發(fā)明，具備供電單元，其具有與作為供電對象的各切割線電極部的線電極并列間隔相對應地排列，并與多個并列線電極部分別接觸而供電的多個供電件，相鄰的各供電件被排列為至少每隔1根線電極而向所述并列線電極部進行供電。因此，供電電流的寄生量較大的是相對于相鄰的線電極，向與相鄰線電極相鄰的線電極、即隔1根相鄰的線電極的寄生電流急劇地減少。因此，隔開大于或等于1根線電極的間隔進行供電，能夠減少由寄生電流(泄漏電流)對加工產(chǎn)生的影響。另外，供電件之間的排列精度提高，不易產(chǎn)生相對于多根并列線電極的位置偏移，能夠提高從被加工物同時加工成薄板時的加工精度。另外，起到下述效果，即，使供電件的組裝及調(diào)整變得容易，簡化加工安排，能夠縮短加工準備時間。
【附圖說明】
[0009]圖1是表示本發(fā)明的實施方式1的線電極放電加工裝置的整體結構的斜視圖。
[0010]圖2是表示本發(fā)明的實施方式1的線電極放電加工裝置的供電件的概略的結構圖。
[0011]圖3是表示本發(fā)明的實施方式1的線電極放電加工裝置的供電件的排列狀態(tài)以及向并列線電極部的供電狀態(tài)的圖，(a)是俯視圖，(b)是側視圖。
[0012]圖4是表示本發(fā)明的實施方式1的線電極放電加工裝置的供電件的構造的說明圖。
[0013]圖5是表示使用本發(fā)明的實施方式1的線電極放電加工裝置進行加工的加工狀態(tài)的圖，(a)是表示加工中的狀態(tài)的圖，(b)是表示加工后的一片晶片的圖。
[0014]圖6是表示本發(fā)明的實施方式2的線電極放電加工裝置的整體結構的斜視圖。
[0015]圖7是表示本發(fā)明的實施方式2所涉及的供電件的概略的結構圖。
[0016]圖8是表示使用本發(fā)明的實施方式2的線電極放電加工裝置進行加工的加工狀態(tài)的圖，(a)是表示加工中的狀態(tài)的圖，(b)是表示加工后的1片晶片的圖。
[0017]圖9是表示本發(fā)明的實施方式3的線電極放電加工裝置的供電件部分的結構部件和構造的結構圖。
【具體實施方式】
[0018]下面，基于附圖詳細地說明本發(fā)明所涉及的線電極放電加工裝置、使用該線電極放電加工裝置的薄板的制造方法以及半導體晶片的制造方法的實施方式。此外，本發(fā)明并不由本實施方式限定。另外，在下面的實施方式中使用的裝置是示意性的，各部件的大小的比例等有時與實際的部件不同。
[0019]實施方式1
[0020]圖1是表示本發(fā)明的實施方式1所涉及的線電極放電加工裝置的主要部分的結構的側視圖。本實施方式1的線電極放電加工裝置具備:4根主導輥la?Id ;—根線電極3，其在這些主導輥la?Id之間以恒定間距分離并多次卷繞而在一對主導輥lc、Id之間形成并列線電極部PS，該線電極3隨著這些主導輥la?Id的旋轉而行進；一對減振導輥7a、7b，它們與并列線電極部PS從動接觸，形成進行減振的多個切割線電極部CL ;供電件(供電件單元6a?6d)，其向多個切割線電極部CL分別進行供電；線電極線軸2以及線電極卷線軸4 ;以及使被加工物5相對于切割線電極部CL沿構成切割線電極部CL的線電極3的并列方向、以及與構成各切割線電極部CL的線電極3的并列方向垂直的方向相對移動的單元。一體成型而成的多個供電件構成了彼此電連接的2對供電件單元6a - 6b,6c 一 6d，各供電件單元具備在兩端具有軸端支撐部的供電件支架60a、60b (在圖1中未圖示)，能夠進行位置控制(圖3(a)及(b))。另外，加工電源10在多個供電件(供電件單元6a?6d)與線電極3之間施加電壓而產(chǎn)生放電。上述多個供電件(供電件單元6a?6d)與作為供電對象的各切割線電極部CL的線電極并列間隔相對應地進行排列。并且，加工電源對各供電單元6a?6d進行供電，各供電單元6a?6d被配置為每隔3根線電極而對所述切割線電極部CL進行供電。另外，在相同的供電件單元6a?6d中排列的供電件彼此電連接。
[0021]主導輥la?Id是構成線電極行進系統(tǒng)的主要導輥，在該線電極放電加工裝置中，相同直徑的4根主導輥相互平行地隔開間隔而配置。從線電極線軸2抽出的一根線電極3依次跨在4根主導輥la?Id之間，以恒定間距分離并且反復卷掛。線電極3隨著主導輥la?Id的旋轉而行進，最后到達線電極卷線軸4。主導輥lc、Id設置于隔著被加工物5的位置處，線電極3在兩個主導輥之間以恒定的張力被拉伸，由此構成彼此在主導輥的軸向上相分離的多個并列線電極部PS。此外，在本說明書中，并列線電極部PS是指從主導輥lc送出而卷掛于主導輥Id之前的部分。在上述并列線電極部PS內(nèi)，包含與被加工物5相對的部分在內(nèi)的直線地拉伸的區(qū)域成為切割線電極部CL。圖1示出被加工物5的切割開始，切割線電極部CL行進至被加工物5的內(nèi)部后的狀態(tài)。
[0022]與并列線電極部PS接觸而配置的供電件單元6a?6d是對切割線電極部CL供給電壓脈沖的電極，在圖1中在被加工物5的兩