技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種無需提升渦電流傳感器的振蕩頻率、內(nèi)部電路的放大率及勵磁電壓，并且即使不在研磨臺內(nèi)的不同位置設(shè)置靈敏度不同的多個傳感器，也可以正確檢測半導(dǎo)體晶片等基板上的金屬薄膜（或?qū)щ娦员∧ぃ┑臏u電流傳感器。該渦電流傳感器為配置于形成有金屬膜或?qū)щ娦阅さ幕錡的附近、檢測金屬膜或?qū)щ娦阅ど闲纬傻臏u電流的渦電流傳感器（50），其構(gòu)成為，將卷繞了導(dǎo)線或?qū)щ婓w的尺寸不同的多個線圈（63A、63B）互相分離配置為外側(cè)的線圈（63B）包圍內(nèi)側(cè)的線圈（63A），多個線圈（63A、63B）各自分別檢測金屬膜或?qū)щ娦阅ど闲纬傻臏u電流。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋太郎;多田光男
受保護的技術(shù)使用者：株式會社荏原制作所
文檔號碼：201310110317
技術(shù)研發(fā)日：2013.03.29
技術(shù)公布日：2017.03.01