1.一種化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，該裝置包含：
反應(yīng)腔（1）；
進(jìn)氣部件（2），設(shè)置在所述反應(yīng)腔（1）頂部，并與該反應(yīng)腔（1）內(nèi)部相通；
旋轉(zhuǎn)軸（3），設(shè)置在所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)底部；
托盤（5），設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸（3）頂部，并與所述進(jìn)氣部件（2）相對(duì)設(shè)置；
加熱部件（4），環(huán)繞設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸（3）、所述托盤（5）下方；
限流環(huán)（6），設(shè)置在所述托盤（5）周邊；
氣體抽取部件（7），設(shè)置在所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)底部，并環(huán)繞設(shè)置在所述加熱裝置（4）周邊；所述氣體抽取部件（7）與外部相通，所述氣體抽取環(huán)頂蓋（72）設(shè)有多個(gè)抽氣孔（721）；
多個(gè)清潔部件（8），每個(gè)所述清潔部件（8）包含：一個(gè)傳動(dòng)單元（81）和刮片（82）；所述傳動(dòng)單元（81）還包含第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、第二旋轉(zhuǎn)軸（813），所述刮片（82）設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）上；
所述傳動(dòng)單元（81）還包括曲軸結(jié)構(gòu)（811），所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）包含一對(duì)旋轉(zhuǎn)臂（8111）、一個(gè)第一連桿（8112）；
所述清潔部件（8）還包括與所述限流環(huán)（6）上向下延伸的連動(dòng)桿（83），所述第一連桿（8112）與所述連動(dòng)桿（83）相連接，所述第一連桿（8112）通過(guò)一對(duì)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）分別與所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、第二旋轉(zhuǎn)軸（813）連接；
所述刮片（82）的位置與相應(yīng)所述抽氣孔（721）位置對(duì)應(yīng)，所述限流環(huán)上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述連動(dòng)桿（83）驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)單元（81）上的刮片（82）沿旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述刮片掃過(guò)所述抽氣孔（721）。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述氣體抽取部件（7）包含：
氣體抽取環(huán)（71），呈環(huán)形，設(shè)置在所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)底部，并環(huán)繞設(shè)置在所述加熱裝置（4）周邊；
氣體抽取環(huán)頂蓋（72），呈環(huán)形，對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述氣體抽取環(huán)（71）頂部。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述氣體抽取環(huán)（71）截面呈U形；該氣體抽取環(huán)（71）設(shè)有一對(duì)匯總孔（711），所述一對(duì)匯總孔（711）對(duì)稱設(shè)置在該氣體抽取環(huán)（71）底部；
所述氣體抽取部件（7）通過(guò)該對(duì)匯總孔（711）于外部相通。
4.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)桿單元（81）中：
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的一端與所述氣體抽取環(huán)（71）的一內(nèi)側(cè)壁連接，該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接； 所述刮片（82）設(shè)置在該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）上；
所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的一端與所述氣體抽取環(huán)（71）的另一內(nèi)側(cè)壁連接，該第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接；
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）與所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）處于一條直線上。
5.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）中：
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的一端與所述反應(yīng)腔（1）的一內(nèi)側(cè)壁連接，該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接； 所述刮片（82）設(shè)置在該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）上；
所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的一端與該反應(yīng)腔（1）的同側(cè)內(nèi)側(cè)壁連接，該第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接；
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）與所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）處于一條直線上。
6.權(quán)利要求4或5所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）中：
一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂（8111），一個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的外側(cè)壁底部與所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）連接；另一個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的外側(cè)壁底部所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）連接；
第一連桿（8112），設(shè)置在所述一對(duì)旋轉(zhuǎn)臂（8111）頂部之間。
7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述連動(dòng)桿（83）包含：
連動(dòng)環(huán)（831），套置在所述第一連桿（8112）上；
第二連桿（832），所述第二連桿（832）的一端與所述連動(dòng)環(huán)（831）連接，該第二連桿（832）的另一端與所述限流環(huán)（6）連接。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的直徑大于所述第二連桿（832）的長(zhǎng)度。
9.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述第二連桿（832）的初始位置與鉛垂面呈一個(gè)銳角。
10.一種用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，所述化學(xué)氣相沉積裝置包含：反應(yīng)腔（1），設(shè)于反應(yīng)腔（1）的頂部進(jìn)氣部件（2），設(shè)于反應(yīng)腔（1）內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)軸（3）、托盤（5）、加熱部件（4）、限流環(huán)（6），以及設(shè)于反應(yīng)腔（1）內(nèi)底部的氣體抽取部件（7）；
其特征在于，該清潔部件（8）設(shè)置于所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)，并與限流環(huán)（6）連接；所述清潔部件（8）包含：
一個(gè)傳動(dòng)單元（81）和刮片（82）；所述傳動(dòng)單元（81）還包含第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、第二旋轉(zhuǎn)軸（813），所述刮片（82）設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）上；
所述傳動(dòng)單元（81）還包括曲軸結(jié)構(gòu)（811），所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）包含一對(duì)旋轉(zhuǎn)臂（8111）、一個(gè)第一連桿（8112）；
所述清潔部件（8）還包括與所述限流環(huán)（6）上向下延伸的連動(dòng)桿（83），所述第一連桿（8112）與所述連動(dòng)桿（83）相連接，所述第一連桿（8112）通過(guò)一對(duì)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）分別與所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）、第二旋轉(zhuǎn)軸（813）連接；
所述刮片（82）的位置與相應(yīng)所述抽氣孔（721）位置對(duì)應(yīng)，所述限流環(huán)上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述連動(dòng)桿（83）驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)單元（81）上的刮片（82）沿旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述刮片掃過(guò)所述抽氣孔（721）。
11.如權(quán)利要求10所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述氣體抽取部件（7）包含：
氣體抽取環(huán)（71），呈環(huán)形，設(shè)置在所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)底部，并環(huán)繞設(shè)置在所述加熱裝置（4）周邊；
氣體抽取環(huán)頂蓋（72），呈環(huán)形，對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述氣體抽取環(huán)（71）頂部，所述氣體抽取環(huán)頂蓋（72）設(shè)有抽氣孔（721）。
12.如權(quán)利要求10所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述氣體抽取環(huán)（71）截面呈U形；該氣體抽取環(huán)（71）設(shè)有一對(duì)匯總孔（711），所述一對(duì)匯總孔（711）對(duì)稱設(shè)置在該氣體抽取環(huán)（71）底部；
所述氣體抽取部件（7）通過(guò)該對(duì)匯總孔（711）于外部相通。
13.如權(quán)利要求11所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述傳動(dòng)桿單元（81）中：
第一旋轉(zhuǎn)軸（812），所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的一端與所述氣體抽取環(huán)（71）的一內(nèi)側(cè)壁連接，該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接；所述刮片（82）設(shè)置在該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）上；
第二旋轉(zhuǎn)軸（813），所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的一端與所述氣體抽取環(huán)（71）的另一內(nèi)側(cè)壁連接，該第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接；
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）與所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）處于一條直線上。
14.如權(quán)利要求11所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）中：
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的一端與所述反應(yīng)腔（1）的一內(nèi)側(cè)壁連接，該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接； 所述刮片（82）設(shè)置在該第一旋轉(zhuǎn)軸（812）上；
所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的一端與該反應(yīng)腔（1）的同側(cè)內(nèi)側(cè)壁連接，該第二旋轉(zhuǎn)軸（813）的另一端與所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）連接；
所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）與所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）處于一條直線上。
15.如權(quán)利要求13或14所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述曲軸結(jié)構(gòu)（811）中：
一個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的外側(cè)壁底部與所述第一旋轉(zhuǎn)軸（812）連接；另一個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的外側(cè)壁底部所述第二旋轉(zhuǎn)軸（813）連接；
第一連桿（8112），設(shè)置在所述一對(duì)旋轉(zhuǎn)臂（8111）頂部之間。
16.如權(quán)利要求15所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述連動(dòng)桿（83）包含：
連動(dòng)環(huán)（831），設(shè)置在所述第一連桿（8112）上；
第二連桿（832），所述第二連桿（832）的一端與所述連動(dòng)環(huán)（831）連接，該第二連桿（832）的另一端與所述限流環(huán)（6）連接。
17.如權(quán)利要求16所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臂（8111）的直徑大于所述第二連桿（832）的長(zhǎng)度。
18.如權(quán)利要求16所述的用于化學(xué)氣相沉積裝置的清潔部件，其特征在于，所述第二連桿（832）的初始位置與鉛垂面呈一個(gè)銳角。
19.一種化學(xué)氣相沉積裝置的清潔方法，其特征在于，該方法包含如下步驟：
在所述氣體抽取部件（7）內(nèi)設(shè)定多個(gè)所述清潔部件（8），或在反應(yīng)腔（1）內(nèi)設(shè)定多個(gè)所述清潔部件（8）；
當(dāng)所述限流環(huán)（6）移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)多個(gè)所述清潔部件（8）轉(zhuǎn)動(dòng)；
每個(gè)所述清潔部件（8）與對(duì)應(yīng)的所述抽氣孔（721）相接觸，以清潔該抽氣孔（721）。
20.如權(quán)利要求19所述的化學(xué)氣相沉積裝置的清潔方法，其特征在于，根據(jù)所述氣體抽取部件（7）中抽氣孔（721）的數(shù)量，設(shè)定所述清潔部件（8）的數(shù)量；
將每個(gè)所述清潔部件（8）的刮片（82）位置與相應(yīng)的所述抽氣孔（721）位置一一對(duì)應(yīng)；
將所有的清潔部件（8）設(shè)定在所述氣體抽取環(huán)（71）內(nèi)或設(shè)定在所述反應(yīng)腔（1）內(nèi)；同時(shí)確保初始狀態(tài)時(shí)，所述第二連桿（832）的初始位置與鉛垂面之間呈一個(gè)銳角。
21.如權(quán)利要求19所述的化學(xué)氣相沉積裝置的清潔方法，其特征在于，當(dāng)所述限流環(huán)（6）進(jìn)行上下移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所有的連動(dòng)桿（83）進(jìn)行上下移動(dòng)；
每個(gè)所述連動(dòng)桿（83）帶動(dòng)與其連接的曲軸結(jié)構(gòu)（811）轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)刮片（82）轉(zhuǎn)動(dòng)。
22.如權(quán)利要求19所述的化學(xué)氣相沉積裝置的清潔方法，其特征在于，當(dāng)每個(gè)所述刮片（82）在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該刮片（82）與對(duì)應(yīng)的所述抽氣孔（721）充分接觸，將沉積在該抽氣孔（721）上的沉淀物去除，并將沉淀物帶入截面呈U形的所述氣體抽取環(huán)（71）內(nèi)，實(shí)現(xiàn)所有抽氣孔（721）的清潔。