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      用于從金屬基材去除氧化物的方法和裝置與流程

      文檔序號:11147332閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種用于從金屬基材去除氧化物的方法,包括:

      提供三氟化硼流;及,

      加熱所述金屬基材。

      2.如權利要求1所述的方法,其中,提供三氟化硼流包括從與所述氧化物分離放置的三氟化硼前驅體提供三氟化硼流。

      3.如權利要求1所述的方法,其中,提供三氟化硼流包括從氣體存儲及/或傳輸設備提供三氟化硼流。

      4.如權利要求1所述的方法,其中,所述加熱在750℃到1150℃的溫度范圍。

      5.如權利要求1所述的方法,其中,所述金屬基材包含超合金。

      6.如權利要求1所述的方法,其中,所述金屬基材包括含有不超過10%重量百分比的鉻的合金。

      7.一種用于從金屬基材去除氧化物的裝置,包括:

      氣源,其用來提供三氟化硼流;以及

      加熱設備,其用于加熱所述金屬基材。

      8.如權利要求7所述的裝置,其中,所述氣源包括氣體存儲及/或傳輸設備。

      9.如權利要求7所述的裝置,其中,所述氣源包括從與所述氧化物分離放置的三氟化硼前驅體提供三氟化硼流的設備。

      10.如權利要求7所述的裝置,其中,所述金屬基材包含超合金。

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