本發(fā)明屬于靶材的綁定方法，具體涉及一種鉻管靶材的綁定方法。

背景技術(shù)：

靶材產(chǎn)品主要分為平面靶和管靶。與平面靶材相比，管靶材具有利用率高、鍍膜連續(xù)性好、鍍膜成分均勻等優(yōu)點(diǎn)，是理想的濺射靶材，市場需求量巨大。隨著鍍膜行業(yè)從使用平面靶材向使用旋轉(zhuǎn)管靶材轉(zhuǎn)變，管靶材正在成為磁控濺射設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)選材。

目前濺射鍍膜用管靶材的綁定方法主要有兩種。第一種方法是以噴涂鉻管靶材為代表，具體工藝是首先在背管外表面噴涂一層鎳鋁、鎳鉻或者鎳鉻鋁等材料作為打底層，然后噴涂鉻粉制備噴涂鉻管靶材，通過打底層實(shí)現(xiàn)鉻管靶材層與背管的綁定。噴涂管鉻靶材存在致密度低、氧含量高等缺點(diǎn)，無法滿足高質(zhì)量鍍膜產(chǎn)品的要求。第二種方法以燒結(jié)鉻管靶材為代表，具體工藝是先通過冷等靜壓成形然后通過燒結(jié)進(jìn)行致密化，最后將燒結(jié)后的鉻管坯料套在背管外表面，在二者的裝配間隙中澆灌熔融的銦等低熔點(diǎn)金屬實(shí)現(xiàn)鉻管坯料與背管的綁定。目前燒結(jié)工藝只能制備長度為300mm以內(nèi)的單只鉻管坯料，而且以現(xiàn)有的金屬銦綁定技術(shù)無法實(shí)現(xiàn)長度大于1000mm的管靶材綁定，因此只能通過多節(jié)分段綁定的方法以達(dá)到一定的長度，這樣就增加了生產(chǎn)工序，提高了生產(chǎn)成本

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種鉻管靶材的綁定方法，利用熱等靜壓工藝使鉻管靶材層通過綁定層與背管達(dá)到冶金結(jié)合，實(shí)現(xiàn)鉻管靶材的綁定.

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種鉻管靶材的綁定方法，包括以下步驟：

步驟一：綁定層的制備

將包套背管清洗后進(jìn)行預(yù)鍍鎳處理，然后通過電鍍工藝制備金屬涂層作為綁定層；

步驟二：真空除氣

將鉻粉或鉻管坯料填充至綁定層外表面與包套外管內(nèi)表面形成的空間中，然后進(jìn)行真空除氣；

步驟三：熱等靜壓

將步驟二真空除氣后的包套外管進(jìn)行熱等靜壓，使綁定層與包套背管實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合；

步驟四：機(jī)械加工

將步驟三熱等靜壓后的包套采用機(jī)械加工的方法去除包套外管，即獲得與包套背管綁定的鉻管靶材。

所述金屬涂層為鎳、鉻或銅，厚度為0.1～0.5mm。

所述真空除氣在室溫或者高溫下進(jìn)行，真空度大于1×10^-3Pa后封焊。

所述熱等靜壓工藝參數(shù)為溫度600～1000℃，壓力80～150MPa，保溫時間1～5h。

本發(fā)明的顯著效果在于：能夠滿足濺射鍍膜行業(yè)對鉻管靶材的需求,可以實(shí)現(xiàn)長度大于1000mm的鉻管靶材的綁定，無需多節(jié)分段綁定，提高了生產(chǎn)效率,利用低成本的金屬鎳、鉻、銅替代昂貴的金屬銦實(shí)現(xiàn)了鉻管靶材與背管的綁定，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述的一種鉻管靶材的綁定方法結(jié)構(gòu)示意圖

圖中：1.包套外管；2.綁定層；3.包套背管

具體實(shí)施方式

一種鉻管靶材的綁定方法，包括以下步驟：

步驟一：背管電鍍處理

根據(jù)鉻管靶材產(chǎn)品的形狀和尺寸設(shè)計包套，對包套背管噴砂處理后利用電鍍工藝制備金屬涂層作為綁定層，實(shí)現(xiàn)綁定層與背管的冶金結(jié)合。

步驟二：包套組裝焊接

將包套內(nèi)管、包套外管及包套端蓋組裝，先焊接包套底端，包套上端蓋不焊接，留裝粉位置，包套組裝采用氬弧焊焊接，在包套外管上打孔，以便焊接除氣導(dǎo)管

步驟三：包套除氣

將鉻粉或者鉻管坯料裝入包套中，焊接包套上端蓋和除氣導(dǎo)管進(jìn)行真空熱除氣。真空熱除氣結(jié)束后，在真空條件下封裝包套

步驟四：熱等靜壓

將除氣結(jié)束的包套進(jìn)行熱等靜壓，利用熱等靜壓使鉻管靶材層通過綁定層與背管達(dá)到冶金結(jié)合，實(shí)現(xiàn)鉻管靶材的綁定

步驟五：機(jī)械加工

將熱等靜壓后的鉻管通過機(jī)械加工去除包套端蓋和包套外管，即得到與背管綁定良好的鉻管靶材。