本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種磁控管的

安裝機(jī)構(gòu)及磁控濺射設(shè)備。

背景技術(shù)：

磁控濺射技術(shù)是一類常見的物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)技術(shù)，其特點(diǎn)是在靶材的背部設(shè)置磁控管，用于提供可穿過靶材的磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)在工藝腔室內(nèi)對(duì)等離子體中的電子形成磁場(chǎng)束縛，使其沿著磁力線作螺旋運(yùn)動(dòng)，從而可以延長電子運(yùn)動(dòng)軌跡，并提高電子對(duì)工藝氣體的電離幾率，進(jìn)而達(dá)到增加濺射產(chǎn)額的目的。

磁控管與靶材之間的間距稱為靶間距，若靶間距過大，則會(huì)使穿過靶材的磁場(chǎng)強(qiáng)度過低，導(dǎo)致膜層沉積速率下降；若靶間距過小，則穿過靶材的磁場(chǎng)強(qiáng)度過高，這可以在工藝開始時(shí)獲得較高的沉積速率，但在濺射一段時(shí)間之后，沉積速率會(huì)迅速下降到一個(gè)非常低的水平。因此，為了獲得理想的沉積速率，經(jīng)常需要調(diào)整靶間距。

圖1為現(xiàn)有的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖2為現(xiàn)有的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的剖視圖。請(qǐng)一并參閱圖1和圖2，該安裝結(jié)構(gòu)用于將傳動(dòng)軸4豎直安裝在絕緣腔6的頂壁上，在絕緣腔6的底部設(shè)置有靶材7，磁控管8通過磁控管安裝座10固定在傳動(dòng)軸4的下端，且位于靶材7上方。傳動(dòng)軸4的上端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3與驅(qū)動(dòng)電機(jī)1連接，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)1通過電機(jī)安裝座2固定在絕緣腔6的頂壁上。在驅(qū)動(dòng)電機(jī)1的驅(qū)動(dòng)下，傳動(dòng)軸4帶動(dòng)磁控管8作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，掃描靶材7表面。安裝結(jié)構(gòu)包括軸承組件和軸承固定座5，其中，軸承組件用于支撐傳動(dòng)軸4，其包括深溝球軸承、角接觸軸承、上下端蓋、密封圈等等，以實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)軸4的旋轉(zhuǎn)和密封。軸承固定座5用于將該軸承組件固定 在軸承底座5絕緣腔6的頂壁上。

在需要調(diào)整磁控管8與靶材7之間的靶間距D時(shí)，可以通過更換設(shè)置在磁控管8的上端面與磁控管安裝座10之間的不同厚度的墊片9來實(shí)現(xiàn)，即，當(dāng)需要增大靶間距D時(shí)，使用厚度較小的墊片10；當(dāng)需要減小靶間距D時(shí)，使用厚度較大的墊片10。但是，這會(huì)存在以下問題：

其一，采用更換墊片10的方式無法實(shí)現(xiàn)靶間距D的無級(jí)調(diào)節(jié)。

其二，在更換墊片10時(shí)，需要打開絕緣腔6，并卸載磁控管8，在完成墊片10的更換之后，還需要重新安裝磁控管8，這一過程非常繁瑣。

其三，打開絕緣腔6還會(huì)打斷工藝的連續(xù)性，從而降低了產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種磁控管的安裝機(jī)構(gòu)及磁控濺射設(shè)備，其不僅可以實(shí)現(xiàn)靶間距的無級(jí)調(diào)節(jié)，而且無需打開絕緣腔，也無需裝卸磁控管，調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，用于將傳動(dòng)軸豎直安裝在絕緣腔的頂壁上，所述傳動(dòng)軸的下端延伸至所述絕緣腔內(nèi)，在所述絕緣腔的底部設(shè)置有靶材，所述磁控管固定在所述傳動(dòng)軸的下端，且位于所述靶材上方，所述安裝機(jī)構(gòu)包括軸承組件、軸承底座、軸承固定座和壓緊塊，其中，所述軸承組件用于支撐所述傳動(dòng)軸；所述軸承底座用于固定所述軸承組件；所述軸承固定座固定在所述絕緣腔的頂壁上，且套在所述軸承底座上，并且所述軸承固定座與所述軸承底座螺紋連接；通過調(diào)節(jié)所述軸承底座與所述軸承固定座在豎直方向上的相對(duì)旋合位置，來調(diào)整所述軸承底座相對(duì)于所述絕緣腔的頂壁的高度；所述壓緊塊與所述軸承固定座螺紋連接，且位于所述軸承底座的上方，用以在完成對(duì)所述軸承底座與所述軸承固定座在豎直方向上的相對(duì)旋合位置的調(diào)節(jié)之后，壓緊所述軸承底座。

優(yōu)選的，在所述軸承底座的外周壁上形成有第一環(huán)形凸臺(tái)，并 且在所述第一環(huán)形凸臺(tái)的外周壁上形成有第一外螺紋；在所述軸承固定座的內(nèi)周壁上形成有內(nèi)螺紋，所述內(nèi)螺紋和所述第一外螺紋螺紋相配合；所述壓緊塊環(huán)繞在所述軸承底座和所述軸承固定座之間，并且在所述壓緊塊的外周壁上，且位于其下端形成有第二環(huán)形凸臺(tái)，并且在所述第二環(huán)形凸臺(tái)的外周壁上形成有第二外螺紋，所述內(nèi)螺紋和所述第二外螺紋相配合。

優(yōu)選的，在所述軸承固定座的內(nèi)周壁上，且位于所述內(nèi)螺紋的底部形成有第三環(huán)形凸臺(tái)，所述第三環(huán)形凸臺(tái)的內(nèi)徑小于所述第一環(huán)形凸臺(tái)的外徑，用以防止所述軸承底座下移，致使靶間距為零。

優(yōu)選的，所述軸承固定座的頂端低于所述軸承底座的頂端，且在所述軸承底座的外周壁上，且位于所述軸承固定座上方的位置處設(shè)置有第一螺紋孔，用以安裝用于手動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述軸承底座旋轉(zhuǎn)的第一把手。

優(yōu)選的，所述第一螺紋孔為一個(gè)或多個(gè)，且多個(gè)所述第一螺紋孔沿所述軸承底座的外周壁對(duì)稱分布。

優(yōu)選的，所述壓緊塊的上端高于所述軸承固定座的頂端，且低于所述第一螺紋孔，并且在所述壓緊塊的外周壁上，且位于所述軸承固定座上方的位置處設(shè)置有第二螺紋孔，用以安裝用于手動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述壓緊塊旋轉(zhuǎn)的第二把手。

優(yōu)選的，所述第二螺紋孔為一個(gè)或多個(gè)，且多個(gè)所述第二螺紋孔沿所述軸承底座的外周壁對(duì)稱分布。

優(yōu)選的，分別對(duì)應(yīng)地在所述軸承固定座和所述軸承底座上設(shè)置有讀數(shù)盤和指針，其中，所述讀數(shù)盤沿所述軸承固定座的周向環(huán)繞設(shè)置，且標(biāo)有靶間距的數(shù)值。

優(yōu)選的，在所述軸承固定座的內(nèi)周壁與所述軸承底座的外周壁之間設(shè)置有動(dòng)密封件，用以實(shí)現(xiàn)二者之間的動(dòng)密封。

優(yōu)選的，在所述絕緣腔的頂壁上設(shè)置有貫穿其厚度的安裝孔，所述軸承固定座位于所述安裝孔內(nèi)，且在所述軸承固定座的外周壁上還設(shè)置有安裝法蘭，所述安裝法蘭與所述絕緣腔的頂壁通過螺釘固定連接，且在二者之間設(shè)置有密封圈。

作為另一個(gè)技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種磁控濺射設(shè)備，包括反應(yīng)腔、絕緣腔、磁控管、磁控管旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，其中，所述絕緣腔設(shè)置在所述反應(yīng)腔的頂部，且在所述絕緣腔的底部設(shè)置有靶材，所述靶材的下表面暴露在所述反應(yīng)腔的內(nèi)部環(huán)境中；所述磁控管旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述傳動(dòng)軸通過所述磁控管的安裝機(jī)構(gòu)豎直安裝在絕緣腔的頂壁上，且所述傳動(dòng)軸的下端延伸至所述絕緣腔內(nèi)，所述磁控管固定在所述傳動(dòng)軸的下端；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，所述磁控管的安裝機(jī)構(gòu)采用本發(fā)明提供的上述磁控管的安裝機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明具有以下有益效果：

本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，其通過設(shè)置軸承固定座，該軸承固定座固定在絕緣腔的頂壁上，且套在軸承底座上，并且與之螺紋連接，可以通過調(diào)節(jié)軸承底座與軸承固定座在豎直方向上的相對(duì)旋合位置，來調(diào)整軸承底座相對(duì)于絕緣腔的頂壁的高度，從而帶動(dòng)軸承組件和傳動(dòng)軸以及與該傳動(dòng)軸連接的磁控管整體上升或下降，且由于螺紋連接具有連續(xù)可調(diào)性，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)靶間距的無級(jí)調(diào)節(jié)。而且，由于僅通過旋轉(zhuǎn)軸承底座即可實(shí)現(xiàn)磁控管的升降，而無需打開絕緣腔，也無需裝卸磁控管，因此，本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

本發(fā)明提供的磁控濺射設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，不僅可以實(shí)現(xiàn)靶間距的無級(jí)調(diào)節(jié)，而且無需打開絕緣腔，也無需裝卸磁控管，調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為現(xiàn)有的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的剖視圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的立體圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的剖視圖；

圖5為圖4中A區(qū)域的放大圖；以及

圖6為圖3中B區(qū)域的放大圖。

具體實(shí)施方式

為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對(duì)本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)及磁控濺射設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的立體圖。圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)的剖視圖。請(qǐng)一并參閱圖3和圖4，磁控管的安裝機(jī)構(gòu)用于將傳動(dòng)軸14豎直安裝在絕緣腔19的頂壁上。其中，在絕緣腔19的底部設(shè)置有靶材21，傳動(dòng)軸14的下端延伸至絕緣腔19內(nèi)，磁控管20通過磁控管安裝件24固定在傳動(dòng)軸14的下端，且位于靶材21上方，磁控管20的下端面與靶材21之間的間距稱為靶間距D。而且，傳動(dòng)軸14的上端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)13與驅(qū)動(dòng)電機(jī)11連接，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)11通過電機(jī)固定架12固定在絕緣腔19的頂壁上，用以通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)13驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸14旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)磁控管20圍繞傳動(dòng)軸14旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)13為帶傳動(dòng)，其由主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和傳動(dòng)帶組成，其中，主動(dòng)輪與驅(qū)動(dòng)電機(jī)11的驅(qū)動(dòng)軸連接；從動(dòng)輪與傳動(dòng)軸14連接；傳動(dòng)帶分別套在主動(dòng)輪和從動(dòng)輪上，在驅(qū)動(dòng)電機(jī)11工作時(shí)，主動(dòng)輪通過傳送帶驅(qū)動(dòng)從動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)傳動(dòng)軸14旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還可以采用諸如齒輪傳動(dòng)等的其他任意傳動(dòng)方式。

圖5為圖4中A區(qū)域的放大圖。請(qǐng)參閱圖5，磁控管的安裝機(jī)構(gòu)包括軸承組件23、軸承底座15、軸承固定座16和壓緊塊22，其中，軸承組件23用于支撐傳動(dòng)軸14，其由軸承底座15固定在傳動(dòng)軸14上。該軸承組件23包括軸承鎖緊螺母231、壓軸套筒232、上端蓋233、深溝球軸承234、內(nèi)圈調(diào)整環(huán)235、角接觸球軸承236、機(jī)械密封237、壓緊套筒238、內(nèi)部密封圈239和下端蓋240，用以實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)軸14的旋轉(zhuǎn)，以及軸承底座15與傳動(dòng)軸14之間的密封，保證防止絕緣腔19內(nèi)的去離子水溢出。當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，軸承組件還可以采用其他任意結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)崿F(xiàn)上述支撐和密封作用即可。

軸承固定座16固定在絕緣腔19的頂壁上，且套在軸承底座15上，并且軸承固定座16與軸承底座15螺紋連接，該螺紋連接的具體方式為：在軸承底座15的外周壁上形成有第一環(huán)形凸臺(tái)152，且在該第一環(huán)形凸臺(tái)152的外周壁上形成有第一外螺紋；并且，在軸承固定座16的內(nèi)周壁上形成有內(nèi)螺紋161，該內(nèi)螺紋161與第一外螺紋相配合，從而實(shí)現(xiàn)軸承固定座16與軸承底座15的螺紋連接，通過調(diào)節(jié)二者在豎直方向上的相對(duì)旋合位置，可以調(diào)整軸承底座15相對(duì)于絕緣腔19的頂壁的高度，即，通過使軸承底座15圍繞傳動(dòng)軸14轉(zhuǎn)動(dòng)，在內(nèi)螺紋與第一外螺紋的配合作用下，軸承底座15相對(duì)于軸承固定座16上升或下降，且由于螺紋連接具有連續(xù)可調(diào)性，從而可以實(shí)現(xiàn)靶間距D的無級(jí)調(diào)節(jié)。

壓緊塊22環(huán)繞在軸承固定座16與軸承底座15之間，且位于軸承底座15的上方，并且與軸承固定座16螺紋連接，用以在完成對(duì)軸承底座15與軸承固定座16在豎直方向上的相對(duì)旋合位置的調(diào)節(jié)之后，壓緊軸承底座15，以鎖緊該軸承底座15，保證其位置固定不動(dòng)。具體來說，在壓緊塊22的外周壁上，且位于其下端形成有第二環(huán)形凸臺(tái)222，且在該第二環(huán)形凸臺(tái)222的外周壁上形成有第二外螺紋，軸承固定座16的內(nèi)螺紋161與該第二外螺紋相配合，從而實(shí)現(xiàn)壓緊塊22與軸承固定座16的螺紋連接。當(dāng)完成靶間距D的調(diào)節(jié)，即軸承底座15的高度確定之后，通過旋緊壓緊塊22，其第二環(huán)形凸臺(tái)222與第一環(huán)形凸臺(tái)152相接觸，且在二者之間形成預(yù)緊力，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)軸承底座15的鎖定。此外，在調(diào)節(jié)靶間距D之前，應(yīng)首先旋松壓緊塊22，以解除對(duì)軸承底座15的鎖定。

由上可知，本發(fā)明實(shí)施例提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)僅通過旋轉(zhuǎn)軸承底座15即可實(shí)現(xiàn)磁控管20的升降，而無需打開絕緣腔19，也無需裝卸磁控管20，調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

優(yōu)選的，在軸承固定座16的內(nèi)周壁上，且位于其內(nèi)螺紋161的底部形成有第三環(huán)形凸臺(tái)162，該第三環(huán)形凸臺(tái)162的內(nèi)徑小于第一環(huán)形凸臺(tái)152的外徑，以防止第一環(huán)形凸臺(tái)152下移，導(dǎo)致靶間距D為零，從而避免因磁控管20接觸靶材21影響工藝效果甚至損壞靶材 21。

另外，為了在調(diào)節(jié)靶間距D時(shí)，更方便地轉(zhuǎn)動(dòng)軸承底座15，優(yōu)選的，軸承固定座16的頂端低于軸承底座15的頂端，且在軸承底座15的外周壁上，且位于軸承固定座16上方的位置處設(shè)置有第一螺紋孔151，用以安裝用于手動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸承底座15旋轉(zhuǎn)的第一把手。在需要調(diào)節(jié)靶間距D時(shí)，將第一把手安裝在第一螺紋孔151中即可。在本實(shí)施例中，第一螺紋孔151為兩個(gè)，且相對(duì)設(shè)置，從而可以使操作人員更省力。當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，第一螺紋孔151還可以為一個(gè)或者三個(gè)以上，且三個(gè)以上的第一螺紋孔151沿軸承底座15的外周壁對(duì)稱分布，以方便操作人員根據(jù)具體情況選擇多個(gè)第一螺紋孔151中位置較合適的第一螺紋孔151安裝第一把手。

另外，與轉(zhuǎn)動(dòng)軸承底座15的方式相類似的，優(yōu)選的，壓緊塊22的上端高于軸承固定座16的頂端，且低于第一螺紋孔151，并且在壓緊塊22的外周壁上，且位于軸承固定座16上方的位置處設(shè)置有第二螺紋孔221，用于安裝用于手動(dòng)驅(qū)動(dòng)壓緊塊22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第二把手。優(yōu)選的，第二螺紋孔221與第一螺紋孔151的尺寸相同，從而可以通用一個(gè)把手驅(qū)動(dòng)軸承底座15和壓緊塊22，即，同一把手既用作第一把手，又用作第二把手。另外，與第一螺紋孔151相類似的，第二螺紋孔221的數(shù)量同樣可以設(shè)計(jì)為一個(gè)或多個(gè)，且多個(gè)第二螺紋孔221沿軸承底座15的外周壁對(duì)稱分布。

進(jìn)一步優(yōu)選的，圖6為圖3中B區(qū)域的放大圖。請(qǐng)參閱圖6，分別對(duì)應(yīng)地在軸承固定座16和軸承底座15上設(shè)置有讀數(shù)盤18和指針17，其中，讀數(shù)盤18沿軸承固定座16的周向環(huán)繞設(shè)置，且標(biāo)有靶間距D的數(shù)值。具體來說，在本實(shí)施例中，讀數(shù)盤18設(shè)置在軸承固定座16的上端面；指針17的安裝端固定在軸承底座15的外周壁上，且位于軸承固定座16和壓緊塊22的上方的位置處，指針17的指示端延伸至讀數(shù)盤18的上方，用以指示靶間距D的當(dāng)前讀數(shù)。在需要調(diào)節(jié)靶間距D時(shí)，可以根據(jù)指針17所指示的初始讀數(shù)以及軸承固定座16的內(nèi)螺紋161的導(dǎo)程計(jì)算出靶間距D的調(diào)整量，從而獲得指針17的目標(biāo)位置，然后轉(zhuǎn)動(dòng)軸承底座15，直至其上的指針17到 達(dá)該目標(biāo)位置。借助讀數(shù)盤18和指針17，可以更準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)靶間距D。

在本實(shí)施例中，在軸承固定座16的內(nèi)周壁與軸承底座15的外周壁之間設(shè)置有動(dòng)密封件26，用于實(shí)現(xiàn)二者之間的動(dòng)密封，從而可以在保證軸承固定座16和軸承底座15的相對(duì)旋轉(zhuǎn)的前提下，實(shí)現(xiàn)密封效果，以防止絕緣腔19內(nèi)的去離子水自二者之間的間隙溢出。

在本實(shí)施例中，在絕緣腔19的頂壁上還設(shè)置有貫穿其厚度的安裝孔，軸承固定座16位于該安裝孔內(nèi)，且在軸承固定座16的外周壁上還設(shè)置有安裝法蘭163，該安裝法蘭163與絕緣腔19的頂壁通過螺釘固定連接，并且在二者之間還設(shè)置有密封圈25，以防止絕緣腔19內(nèi)的去離子水溢出。

綜上所述，本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，其通過設(shè)置軸承固定座，該軸承固定座固定在絕緣腔的頂壁上，且套在軸承底座上，并且與之螺紋連接，可以通過調(diào)節(jié)軸承底座與軸承固定座在豎直方向上的相對(duì)旋合位置，來調(diào)整軸承底座相對(duì)于絕緣腔的頂壁的高度，從而帶動(dòng)軸承組件和傳動(dòng)軸以及與該傳動(dòng)軸連接的磁控管整體上升或下降，且由于螺紋連接具有連續(xù)可調(diào)性，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)靶間距的無級(jí)調(diào)節(jié)。而且，由于僅通過旋轉(zhuǎn)軸承底座即可實(shí)現(xiàn)磁控管的升降，而無需打開絕緣腔，也無需裝卸磁控管，因此，本發(fā)明提供的磁控管的安裝機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

作為另一個(gè)技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種磁控濺射設(shè)備，其包括反應(yīng)腔、絕緣腔、磁控管、磁控管旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和磁控管的安裝機(jī)構(gòu)，其中，絕緣腔設(shè)置在反應(yīng)腔的頂部，且在該絕緣腔的底部設(shè)置有靶材，靶材的下表面暴露在反應(yīng)腔的內(nèi)部環(huán)境中。

磁控管旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，其中，傳動(dòng)軸通過磁控管的安裝機(jī)構(gòu)豎直安裝在絕緣腔的頂壁上，且該傳動(dòng)軸的下端延伸至絕緣腔內(nèi)，磁控管則固定在傳動(dòng)軸的下端。驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)磁控管在靶材上方進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在上述結(jié)構(gòu)中，磁控管的安裝機(jī)構(gòu)采用本發(fā)明提供的上述磁控管的安裝機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明提供的磁控濺射設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的磁控管 的安裝機(jī)構(gòu)，不僅可以實(shí)現(xiàn)靶間距的無級(jí)調(diào)節(jié)，而且無需打開絕緣腔，也無需裝卸磁控管，調(diào)節(jié)過程簡單、保證了工藝的連續(xù)性。

可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。