技術總結(jié)
本發(fā)明涉及一種針對由石墨構(gòu)成的PECVD舟皿的經(jīng)改進的保護層，PECVD舟皿尤其是在光伏工業(yè)中用于容納晶圓以及用于在PECVD涂覆設備中傳輸晶圓或?qū)⒕A傳輸穿過PECVD涂覆設備。通過本發(fā)明應提供如下針對PECVD舟皿的保護層，利用該保護層能夠?qū)崿F(xiàn)在硅基底上制備出更好且更均質(zhì)的抗反射層。這通過如下方式來實現(xiàn)，即，由石墨構(gòu)成的PECVD舟皿帶有能導電的硬質(zhì)材料涂覆部，該能導電的硬質(zhì)材料涂覆部由氮化鈦和/或由碳化鈦和/或由碳化硼(B4C)構(gòu)成。

技術研發(fā)人員：托爾斯滕·科恩邁爾
受保護的技術使用者：KGT石墨科技有限公司
文檔號碼：201580007438
技術研發(fā)日：2015.02.04
技術公布日：2017.02.22