技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供抑制含有金屬的基板的腐蝕的方法。該基板可呈任何適合的形式。在一些實(shí)施方式中，該金屬為鈷。在一些實(shí)施方式中，所述方法可用于半導(dǎo)體晶片。本發(fā)明還提供拋光基板的化學(xué)機(jī)械拋光組合物及方法?？稍诒疚乃_的所述方法及組合物中使用腐蝕抑制劑。該抑制劑包含兩性表面活性劑、磺酸酯、膦酸酯、羧酸酯、氨基酸衍生物、磷酸酯、羥乙基磺酸酯、硫酸酯、磺基丁二酸酯、磺基肉桂酸酯、或其任意組合。

技術(shù)研發(fā)人員：M.卡瓦諾;S.克拉夫特;A.沃爾夫;P.W.卡特;E.西克馬;J.克羅斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：嘉柏微電子材料股份公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.21
技術(shù)公布日：2017.09.08