技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種制造化學(xué)機(jī)械研磨墊的方法，包括以下步驟：將含有丙烯酸酯官能團(tuán)的聚合物前體引入模具中；在該聚合物前體中提供磨料顆粒和光引發(fā)劑以形成混合物；以及在該混合物被容納于該模具的底板和頂蓋之間時(shí)，通過該模具的透明區(qū)段使該混合物暴露于紫外線輻射，以使該聚合物前體形成自由基，通過使自由基彼此交聯(lián)而從該聚合物前體形成聚合物基質(zhì)。研磨層包括該聚合物基質(zhì)，該聚合物基質(zhì)具有分散在其中的磨料顆粒。

技術(shù)研發(fā)人員：M·C·奧里拉利;R·巴賈杰;F·C·雷德克
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.19
技術(shù)公布日：2017.08.01