本發(fā)明涉及一種吸附墊及其制造方法，特別是涉及一種可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊及其制造方法。

背景技術(shù)：

參考圖1，其顯示美國(guó)公告專利第us5,871,393號(hào)所揭示的具有現(xiàn)有吸附墊的研磨設(shè)備的示意圖。該研磨設(shè)備10包括一下平臺(tái)(lowerbaseplate)11、一吸附墊(sheet)12、一基材(workpiece)13、一上平臺(tái)(upperbaseplate)14、一拋光墊(polishingpad)15及一研磨漿液(slurry)16。該下平臺(tái)11是相對(duì)于該上平臺(tái)14。該吸附墊12設(shè)置于該下平臺(tái)11上，且該吸附墊12用以承載及固定該基材13。該拋光墊15固定于該上平臺(tái)14，且面向該下平臺(tái)11，用以對(duì)該基材13進(jìn)行拋光。

該研磨設(shè)備10的作動(dòng)方式如下。首先將該基材13置于該吸附墊12上，且該基材13被該吸附墊12吸住。接著，該上平臺(tái)14及該下平臺(tái)11以相反方向旋轉(zhuǎn)，且同時(shí)將該上平臺(tái)14向下移動(dòng)，使該拋光墊15接觸到該基材13的表面，通過(guò)不斷補(bǔ)充該研磨漿液16以及該拋光墊15的作用，可對(duì)該基材13進(jìn)行拋光作業(yè)。

但上述的該吸附墊12經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間使用后，皆會(huì)面臨滲水至墊內(nèi)而造成虹吸現(xiàn)象被破壞的情形，以致該基材13與該吸附墊12間的吸附力變差，進(jìn)而使得該基材13無(wú)法拋平甚至破片。當(dāng)上述的滲水情形發(fā)生時(shí)，即表示該吸附墊12已達(dá)使用壽命終點(diǎn)而必須更換。

然而，由于無(wú)法準(zhǔn)確得知滲水情形發(fā)生的第一時(shí)間，故也無(wú)法在滲水情形發(fā)生的第一時(shí)間立即更換該吸附墊12，以致大量的基材13因拋光不良或破片而需廢棄。因此，若能準(zhǔn)確判斷出滲水情形發(fā)生的第一時(shí)間(即吸附墊12的使用壽命終點(diǎn))，并立即更換該吸附墊12，將可避免基材13的耗損。

基于上述理由，有必要提供一創(chuàng)新且具進(jìn)步性的可顯色使用壽命終點(diǎn)的 吸附墊及其制造方法，以解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊，包括一吸附層、一染料膠囊層及一載體層。該吸附層具有一表面。該染料膠囊層設(shè)置于該吸附層的表面。該載體層貼合于該染料膠囊層上。

本發(fā)明另提供一種可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的制造方法，包括以下步驟：提供一吸附層，該吸附層具有一表面；形成一染料膠囊層于該吸附層的表面；及貼合一載體層于該染料膠囊層上。

本發(fā)明的染料膠囊層可在吸附墊滲水后溶解出染料，透過(guò)染料的顯色效果，可輕易判斷出吸附墊的使用壽命終點(diǎn)。

為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明所述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

圖1為美國(guó)公告專利第us5,871,393號(hào)所揭示的具有現(xiàn)有吸附墊的研磨設(shè)備的示意圖；

圖2為本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明染料微膠囊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明另一實(shí)施例吸附墊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的滲水顯色示意圖；

圖6為本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的制造方法流程圖；

圖7a為本發(fā)明的制造方法中的一吸附層的示意圖；

圖7b為本發(fā)明的制造方法形成一染料膠囊層于吸附層的表面的示意圖；及

圖7c為本發(fā)明的制造方法貼合一載體層于染料膠囊層上的示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

10研磨設(shè)備

11下平臺(tái)

12吸附墊

13基材

14上平臺(tái)

15拋光墊

16研磨漿液

20可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊

21吸附層

21s表面

22染料膠囊層

221染料微膠囊

221c水溶性膠囊體

221d染料

23載體層

24粘著層

s61～s63步驟

具體實(shí)施方式

參閱圖2，其顯示本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明的可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊20包括一吸附層21、一染料膠囊層22及一載體層23。

在本實(shí)施例中，該吸附層21為聚氨酯(pu)膜，且該吸附層21具有一表面21s。

該染料膠囊層22設(shè)置于該吸附層21的表面21s，且該染料膠囊層22包括至少一染料微膠囊221。在本實(shí)施例中，該染料膠囊層22包括多個(gè)染料微膠囊221。

參閱圖3，其顯示本發(fā)明染料微膠囊的結(jié)構(gòu)示意圖。該染料微膠囊221包括一水溶性膠囊體221c及一染料221d，該染料221d設(shè)置于該水溶性膠囊體221c內(nèi)。在本實(shí)施例中，該水溶性膠囊體221c遇水會(huì)溶解，并釋放出該染料221d，以達(dá)到顯色的效果。

再參閱圖2及圖3，為維持該載體層23與該吸附層21的結(jié)合強(qiáng)度及該可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊20的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，該染料膠囊層22的厚度不應(yīng) 太薄或太厚，故較佳地，該染料膠囊層22的厚度應(yīng)控制在10至1000微米，且該染料膠囊層22的厚度應(yīng)小于該吸附層21的厚度及小于該載體層23的厚度。

此外，為使該染料膠囊層22的厚度能順利控制在10至1000微米，較佳地，該染料微膠囊221的長(zhǎng)度應(yīng)控制在10至100微米。

該載體層23貼合于該染料膠囊層22上。在本實(shí)施例中，該載體層23為背膠膜，該背膠膜可直接貼合于該染料膠囊層22上。此外，該可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊20也可通過(guò)該背膠膜貼合于一研磨設(shè)備(圖未繪出)上。

參閱圖4，其顯示本發(fā)明另一實(shí)施例吸附墊的結(jié)構(gòu)示意圖。在另一實(shí)施例中，可設(shè)置一粘著層24于該染料膠囊層22與該載體層23之間，以使該載體層23可透過(guò)該粘著層24貼合于該染料膠囊層22上。較佳地，該粘著層24為背膠膜或糊劑，而該載體層23的材質(zhì)可為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(pet)。

參閱圖5，其顯示本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的滲水顯色示意圖。當(dāng)該可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊20滲水后，該染料膠囊層22的該等染料微膠囊221因遇水而溶解，并釋放出該多個(gè)染料221d，透過(guò)該多個(gè)染料221d的顯色效果，即可輕易判斷出該吸附墊20的使用壽命終點(diǎn)。

圖6顯示本發(fā)明可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊的制造方法流程圖。圖7a顯示本發(fā)明的制造方法中的一吸附層的示意圖。圖7b顯示依據(jù)本發(fā)明的制造方法形成一染料膠囊層于吸附層的表面的示意圖。圖7c顯示依據(jù)本發(fā)明的制造方法貼合一載體層于染料膠囊層上的示意圖。

配合參閱圖6的步驟s61及圖7a，提供一吸附層21，該吸附層21具有一表面21s。在本實(shí)施例中，該吸附層21為聚氨酯(pu)膜。

配合參閱圖6的步驟s62及圖7b，形成一染料膠囊層22于該吸附層21的表面21s。在此步驟中，可以涂布或噴霧方式形成該染料膠囊層22于該吸附層21的表面21s。

此外，該染料膠囊層22包括至少一染料微膠囊221。在本實(shí)施例中，該染料膠囊層22包括多個(gè)染料微膠囊221。

再參閱圖3及圖7b，該染料微膠囊221包括一水溶性膠囊體221c及一染料221d，該染料221d設(shè)置于該水溶性膠囊體221c內(nèi)。在本實(shí)施例中， 該水溶性膠囊體221c遇水會(huì)溶解，并釋放出該染料221d，以達(dá)到顯色的效果。

配合參閱圖6的步驟s63及圖7c，貼合一載體層23于該染料膠囊層22上。在本實(shí)施例中，該載體層23為背膠膜，該背膠膜可直接貼合于該染料膠囊層22上。

再參閱圖4，或者，在另一實(shí)施例中，可設(shè)置一粘著層24于該染料膠囊層22與該載體層23之間，以使該載體層23可透過(guò)該粘著層24貼合于該染料膠囊層22上。較佳地，該粘著層24為背膠膜或糊劑，而該載體層23的材質(zhì)可為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(pet)。

此外，該粘著層24可采用下列兩種方法中的任一方法設(shè)置于該染料膠囊層22與該載體層23之間：

于步驟s62中，先設(shè)置該粘著層24于該染料膠囊層22上，使步驟s63的該載體層23可透過(guò)該粘著層24貼合于該染料膠囊層22上。

于步驟s63中，先設(shè)置該粘著層24于該載體層23上，該載體層23再透過(guò)該粘著層24貼合于該染料膠囊層22上。

再參閱圖7c，為維持該載體層23與該吸附層21的結(jié)合強(qiáng)度及該可顯色使用壽命終點(diǎn)的吸附墊20的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，該染料膠囊層22的厚度不應(yīng)太薄或太厚，故較佳地，該染料膠囊層22的厚度應(yīng)控制在10至1000微米，且該染料膠囊層22的厚度應(yīng)小于該吸附層21的厚度及小于該載體層23的厚度。

此外，為使該染料膠囊層22的厚度能順利控制在10至1000微米，較佳地，該染料微膠囊221的長(zhǎng)度應(yīng)控制在10至100微米。

上述實(shí)施例僅為說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，并非限制本發(fā)明，因此熟悉此技術(shù)的人士對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修改及變化仍不脫本發(fā)明的精神。本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)如所述的權(quán)利要求所列。