技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于涂覆工件的組件和方法。用于涂覆工件（32）的組件（1）包括帶有設(shè)置在其中的操縱器（24）的處理腔室（1）。操縱器（24）承載用于涂覆工件（32）的涂覆裝置（25）。構(gòu)造成罐（1）的處理腔室（1）的頂部有用于排出熱氣體和/或涂覆顆粒的排氣端口（3）。處理腔室（1）的內(nèi)部中設(shè)置排氣罩（33）以便沿排氣端口（3）的方向疏導(dǎo)待排出的氣體。排氣罩（33）與托盤（29）一起設(shè)置在可移動平臺（16）上。平臺（16）與排氣罩（33）和托盤（29）一起能夠縮回處理腔室（1）中和從處理腔室（1）伸出。排氣罩（33）設(shè)置在平臺（16）上使得當(dāng)平臺（16）定位成縮回時，排氣罩連接到排氣端口（3）。

技術(shù)研發(fā)人員：S.科勒;R.赫伯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：AMT股份公司
文檔號碼：201610500150
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.01.11