技術(shù)總結(jié)
配置于基板的附近的渦電流傳感器(1?50)具有芯部(1?60)和線圈部(1?61)。芯部(1?60)具有共通部(1?65)、連接于共通部(1?65)的四根懸臂梁狀部(1?66～69)。第一懸臂梁狀部(1?66)以及第二懸臂梁狀部(1?67)的端部彼此接近地鄰接。第三懸臂梁狀部(1?69)以及第四懸臂梁狀部(1?68)的端部彼此接近地鄰接。在共通部(1?65)配置有勵(lì)磁線圈。配置于第一懸臂梁狀部(1?66)的第一檢測(cè)線圈(1?631)、配置于第二懸臂梁狀部(1?67)的第二檢測(cè)線圈(1?632)檢測(cè)渦電流。在第三懸臂梁狀部(1?69)配置有第一虛擬線圈(1?642)，在第四懸臂梁狀部(1?68)配置有第二虛擬線圈(1?641)。

技術(shù)研發(fā)人員：中村顯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社荏原制作所
文檔號(hào)碼：201610784503
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.03.08