技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種利用感應(yīng)加熱的蒸鍍裝置及蒸鍍系統(tǒng)。本發(fā)明涉及的蒸鍍裝置(100)是利用感應(yīng)加熱的蒸鍍裝置(100)，其特征在于，包括腔室(110)及感應(yīng)加熱部(140)，通過感應(yīng)加熱部(140)對源基板(120)進(jìn)行感應(yīng)加熱，并將形成在源基板(120)的至少一表面上的蒸鍍物質(zhì)層(125)蒸鍍到與所述一表面相向配置的對象基板(130)上。

技術(shù)研發(fā)人員：樸善淳;李海龍;金榮道;池成勛;洪沅義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社達(dá)文希斯
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.27
技術(shù)公布日：2017.08.15