技術(shù)總結(jié)
一種氣囊式電化學(xué)機(jī)械拋光頭、拋光裝置及拋光方法，涉及超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的拋光頭在傳統(tǒng)的氣囊拋光頭材料層間增加了一層導(dǎo)電層，即該拋光頭的結(jié)構(gòu)依次為橡膠囊基體、導(dǎo)電層和拋光材料層。本發(fā)明的拋光方法按照下述步驟進(jìn)行：將需要進(jìn)行拋光處理的硬脆材料工件固定在電解池中；在拋光頭與工件表面之間加入電解液；在超聲橢圓振動與外加電場的作用下，硬脆材料的被拋光面與氣囊式電化學(xué)機(jī)械拋光頭形成摩擦副；摩擦副在電解液、超聲振動及外加電場的作用下對工件進(jìn)行拋光。本發(fā)明利用超聲橢圓振動提高了電解液的效能，達(dá)到改善拋光效果的目的；提高了硬脆材料的表面拋光精度，其加工去除率較傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光有一個量級以上的提高。

技術(shù)研發(fā)人員：邊燕飛;王振軒;張曉劍;蔡萌;張帥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國電子科技集團(tuán)公司第五十四研究所
文檔號碼：201610963123
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.28
技術(shù)公布日：2017.05.17