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      一種降低電弧離子鍍氮化鈦涂層和鋁涂層中氧含量的方法與流程

      文檔序號:11147005閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種降低電弧離子鍍氮化鈦涂層和鋁涂層中氧含量的方法,其特征在于所述方法為在電弧離子鍍氮化鈦涂層或鋁涂層過程當中,向真空室內連續(xù)通入純度為99.99%氫氣,氫氣的流量為0.05-0.5mL/min,可使涂層中的氧含量減少30-80wt.%。

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