本發(fā)明涉及零部件加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種零件加工機械。

背景技術(shù)：

零件加工機械在晶片加工行業(yè)中應(yīng)用比較廣泛，主要用于晶片的銅拋光與CMP拋光，屬于高精密加工，產(chǎn)品尺寸的精度要求較高。

目前，研磨機在晶片的研磨拋光等精加工過程中所使用的研磨拋光液，在加工過程中容易流出操作臺，影響研磨機周圍的衛(wèi)生環(huán)境。此外，在拋光操作過程拋光液會分解并發(fā)出刺激性氣味，給操作用戶帶了諸多不便。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

基于此，有必要針對拋光液在加工過程中容易流出操作臺、刺激性氣味給操作用戶帶了諸多不便的技術(shù)問題，提供一種零件加工機械。

一種零件加工機械，該零件加工機械包括機架、第一調(diào)節(jié)臂、第二調(diào)節(jié)臂、驅(qū)動機構(gòu)、拋光盤、研磨臺及密封裝置。所述第一調(diào)節(jié)臂與所述機架樞接，所述第二調(diào)節(jié)臂與所述第一調(diào)節(jié)臂鉸接。所述驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機及伸縮件，所述驅(qū)動電機設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)臂上，所述伸縮件設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)臂上。所述拋光盤設(shè)置于所述伸縮件的末端并通過穿設(shè)于所述伸縮件的驅(qū)動軸與所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)子連接。所述研磨臺包括承載盤和集液板，所述承載盤設(shè)置于所述集液板的中部區(qū)域，所述集液板設(shè)置于所述機架上，所述集液板具有多個集液槽，多個所述集液槽圍繞所述承載盤分布。所述密封裝置包括透明密封箱和排氣管，所述透明密封箱具有開口，所述透明密封箱用于通過所述開口蓋設(shè)所述研磨臺，所述透明密封箱的頂部與所述伸縮件連接，所述拋光盤收容于所述透明密封箱中，所述排氣管的一端連通所述透明密封箱的內(nèi)部，另一端用于連通外部。

在其中一個實施例中，所述透明密封箱為一側(cè)開口的中空長方體。

在其中一個實施例中，所述透明密封箱于所述開口的邊緣設(shè)置有密封圈。

在其中一個實施例中，所述透明密封箱設(shè)置有連通所述透明密封箱內(nèi)部的操作口以及蓋設(shè)所述操作口的窗體。

在其中一個實施例中，所述窗體與所述操作口的邊緣密封連接。

在其中一個實施例中，所述密封裝置還包括抽真空機，所述抽真空機設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)臂上，所述抽真空機的輸入端與所述排氣管連通。

上述零件加工機械，通過第二調(diào)節(jié)臂與第一調(diào)節(jié)臂，可以將拋光盤移動到研磨臺的上方位置，待加工部件放置在承載盤后，通過伸縮件調(diào)節(jié)拋光盤與承載盤的距離，并在驅(qū)動電機的驅(qū)動下對放置在承載盤上的待加工部件進(jìn)行研磨拋光處理，由于集液板具有多個集液槽，且多個集液槽圍繞承載盤分布，使得在研磨拋光過程中加入的拋光液可以匯集在多個集液槽中，待加工操作完成后在進(jìn)行統(tǒng)一處理，如此解決了拋光液在加工過程中容易流出操作臺的技術(shù)問題，并且提高了工作環(huán)境的衛(wèi)生，從而提高了研磨拋光的效率；此外，在透明密封箱的罩設(shè)下，拋光操作過程拋光液分解并發(fā)出刺激性氣味可從排氣管排出至外部，提高了環(huán)境衛(wèi)生，給操作用戶創(chuàng)造良好的工作環(huán)境。

附圖說明

圖1為一個實施例中零件加工機械的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一個實施例中零件加工機械的另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為另一個實施例中零件加工機械的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為另一個實施例中零件加工機械的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個元件被認(rèn)為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的，并不表示是唯一的實施方式。

請參閱圖1，其為一個實施例中零件加工機械10的結(jié)構(gòu)示意圖，例如，一種零件加工機械10包括：機架110、第一調(diào)節(jié)臂120、第二調(diào)節(jié)臂130、驅(qū)動機構(gòu)140、拋光盤150以及研磨臺160。

例如，第一調(diào)節(jié)臂120與機架110樞接。例如，第一調(diào)節(jié)臂120通過軸承與機架110連接。也就是說，第一調(diào)節(jié)臂120相對機架110可左右轉(zhuǎn)動。例如，第一調(diào)節(jié)臂120相對機架110轉(zhuǎn)動360度、逆時針循環(huán)轉(zhuǎn)動或者順時針循環(huán)轉(zhuǎn)動。這樣可以根據(jù)研磨拋光的需要，調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)臂120相對機架110的角度。

例如，第二調(diào)節(jié)臂130與第一調(diào)節(jié)臂120鉸接。例如，第一調(diào)節(jié)臂120通過軸承與第一調(diào)節(jié)臂120連接。也就是說，第二調(diào)節(jié)臂130相對第一調(diào)節(jié)臂120可自由轉(zhuǎn)動。由于第一調(diào)節(jié)臂120相對機架110可左右轉(zhuǎn)動。因此，第一調(diào)節(jié)臂120和第二調(diào)節(jié)臂130組合后可以根據(jù)研磨拋光的需要進(jìn)一步調(diào)節(jié)第二調(diào)節(jié)臂130相對機架110的角度。

例如，零件加工機械還包括除塵機構(gòu)，除塵機構(gòu)設(shè)置于所述機架上，例如，除塵機構(gòu)包括吸塵條和靜電產(chǎn)生器。例如，靜電產(chǎn)生器設(shè)置于機架上，吸塵條鄰近所述拋光盤。例如，靜電產(chǎn)生器與吸塵條電性連接，用于使吸塵條帶上靜電。本實施例中，靜電產(chǎn)生器設(shè)置在所述機架的邊緣位置并且與吸塵條電性連接。例如，吸塵條圍繞拋光盤設(shè)置。本實施例中，吸塵條靠近機架設(shè)置，這樣可以有效地吸附從零件加工機械散出的粉塵。又如，所述吸塵條設(shè)置于所述機架上，例如，所述吸塵條通過變速齒輪連接所述轉(zhuǎn)子或所述拋光盤，用于在所述轉(zhuǎn)子帶動所述拋光盤轉(zhuǎn)動時，所述吸塵條相應(yīng)地慢速轉(zhuǎn)動，以達(dá)到自動高效除塵效果。有如，所述吸塵條具有相連接的固定子結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，所述固定子結(jié)構(gòu)與所述靜電產(chǎn)生器電性連接，所述旋轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)設(shè)置吸塵套件及環(huán)形連接件，所述環(huán)形連接件與所述變速齒輪連接，用于跟隨所述轉(zhuǎn)子慢速轉(zhuǎn)動，例如所述變速齒輪為1：(50～5000)的降速齒輪組，使得所述環(huán)形連接件較所述轉(zhuǎn)子慢速轉(zhuǎn)動，環(huán)形連接件的速度較低，所述吸塵套件可拆卸地套置于所述環(huán)形連接件，并且所述吸塵套件與所述固定子結(jié)構(gòu)電性連接，所述靜電產(chǎn)生器用于使所述吸塵條的所述吸塵套件帶上靜電，所述吸塵套件用于實現(xiàn)自動吸塵、容易清理的技術(shù)效果。例如，所述吸塵套件包括相連接的絕緣塑料套和金屬軟片。

例如，吸塵條包括絕緣塑料套和金屬軟片。例如，絕緣塑料套和金屬軟片相連接，又如，絕緣塑料套和金屬軟片相套接。例如，絕緣塑料套粘貼于機架上，且金屬軟片外露設(shè)置。也就是說，金屬軟片嵌入絕緣塑料套中并暴露其中的一個側(cè)面。這樣，絕緣塑料套可以避免靜電產(chǎn)生器在對吸塵條中的金屬軟片進(jìn)行靜電處理時機架帶電。本實施例中僅要求金屬軟片帶電即可。

例如，金屬軟片具有預(yù)設(shè)寬度，預(yù)設(shè)寬度為2～5厘米。預(yù)設(shè)寬度即指的是金屬軟片在水平方向上的寬度。例如，金屬軟片的預(yù)設(shè)寬度為2～5厘米；又如，金屬軟片的預(yù)設(shè)寬度為2厘米；又如，金屬軟片的預(yù)設(shè)寬度為5厘米；又如，金屬軟片的預(yù)設(shè)寬度為2.5厘米?？梢岳斫猓哂蓄A(yù)設(shè)寬度可以使得金屬軟片與空氣接觸較大的面積，從而吸附更多的從機架散出的粉塵。

為了提高粉塵的吸附收集能力，例如，金屬軟片的表面開設(shè)有網(wǎng)格集塵槽。例如，網(wǎng)格集塵槽具有預(yù)設(shè)深度。例如，網(wǎng)格集塵槽具有若干正六邊形凹槽。例如，相鄰的兩個凹槽連通設(shè)置。例如，凹槽為正六邊形結(jié)構(gòu)。如此，通過網(wǎng)格集塵槽中的若干凹槽，且相鄰的兩個凹槽連通設(shè)置，由于轉(zhuǎn)動機構(gòu)和碾壓機構(gòu)在工作時整個機架將產(chǎn)生振動，使得粉塵只要流入其中的一個凹槽后，在振動的作用下將自然地流入其他的凹槽中，從而實現(xiàn)一次性地收集較多的粉塵。

在研磨拋光的過程中，原料被粉碎后將可能產(chǎn)生細(xì)小的粉塵，這些細(xì)小的粉塵可能會散發(fā)到外部，上述各實施例，通過設(shè)置吸塵條，在靜電產(chǎn)生器工作時吸塵條的表面將產(chǎn)生靜電，由此通過靜電吸附的原理，特別適合干式研磨拋光，可將散出的微小粉塵統(tǒng)一吸附處理，避免粉塵進(jìn)入工作環(huán)境中，解決了粉碎時粉體揚塵導(dǎo)致塵埃污染物的產(chǎn)生的技術(shù)問題，優(yōu)化了衛(wèi)生環(huán)境。

請參閱圖2，其為一個實施例中零件加工機械的另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖，例如，驅(qū)動機構(gòu)140包括驅(qū)動電機141及伸縮件142，驅(qū)動電機141設(shè)置于第二調(diào)節(jié)臂130上，伸縮件142設(shè)置于第二調(diào)節(jié)臂130上。例如，驅(qū)動電機141為馬達(dá)。驅(qū)動電機141通過驅(qū)動軸151連接拋光盤150，驅(qū)動電機141用于在工作時帶動拋光盤150旋轉(zhuǎn)。

例如，拋光盤150設(shè)置于伸縮件142的末端并通過穿設(shè)于伸縮件142的驅(qū)動軸151與驅(qū)動電機141的轉(zhuǎn)子連接。例如，拋光盤150朝向機架110的平面的側(cè)面設(shè)置有植絨砂紙片、水磨片或自粘羊毛球，用于對人造石、家具及木制品、金屬、汽車零部件等物品進(jìn)行打磨和拋光。

例如，研磨臺160包括承載盤161和集液板162。例如，承載盤161設(shè)置于集液板162的中部區(qū)域，集液板162設(shè)置于機架110上。例如，集液板162可拆卸地設(shè)置于機架110上；又如，集液板162插設(shè)于機架110上。結(jié)合圖1和圖2，例如，集液板162具有多個集液槽163，多個集液槽163圍繞承載盤161分布。例如，集液槽163為圓形槽，本實施例中，集液槽163的數(shù)量有六個。

上述零件加工機械10，通過第二調(diào)節(jié)臂130與第一調(diào)節(jié)臂120，可以將拋光盤150移動到研磨臺160的上方位置，待加工部件放置在承載盤161后，通過伸縮件142調(diào)節(jié)拋光盤150與承載盤161的距離，并在驅(qū)動電機141的驅(qū)動下對放置在承載盤161上的待加工部件進(jìn)行研磨拋光處理，由于集液板162具有多個集液槽163，且多個集液槽163圍繞承載盤161分布，使得在研磨拋光過程中加入的拋光液可以匯集在多個集液槽163中，待加工操作完成后在進(jìn)行統(tǒng)一處理，如此解決了拋光液在加工過程中容易流出操作臺的技術(shù)問題，并在提高了工作環(huán)境的衛(wèi)生，從而提高了研磨拋光的效率。

例如，集液板162為長方體結(jié)構(gòu)，集液板162的四個轉(zhuǎn)角通過螺釘固定在機架110上。具體的，集液板162的四個轉(zhuǎn)角開設(shè)有穿孔，對應(yīng)機架110的平面也開設(shè)有螺紋孔，如此，集液板162的四個轉(zhuǎn)角通過螺釘穿設(shè)穿孔后螺入對應(yīng)的螺紋孔上從而將集液板162固定在機架110上。

為了實現(xiàn)一次性收集較多的拋光液，例如，承載盤的表面開設(shè)有網(wǎng)格槽。例如，網(wǎng)格槽具有若干凹槽。例如，相鄰的兩個凹槽連通設(shè)置。例如，凹槽為正六邊形結(jié)構(gòu)。如此，通過網(wǎng)格槽中的若干凹槽，且相鄰的兩個凹槽連通設(shè)置，使得拋光液只要流入其中的一個凹槽后自然地流入其他的凹槽中，從而實現(xiàn)一次性地收集較多的拋光液。

進(jìn)一步的，承載盤的底部開設(shè)有排液口，排液口與一凹槽連通，且排液口還與多個集液槽連通設(shè)置。例如，集液板開設(shè)有多條引流槽，每一引流槽對應(yīng)于一集液槽連通，且多條引流槽均與排液口連通設(shè)置。例如，多條引流槽從集液板的中部區(qū)域朝外部呈放射狀分布。這樣可以收集更多的拋光液，從而在一個拋光過程不需要多次的傾倒集液板內(nèi)的拋光液，提高工作的效率。

請參閱圖3，其為另一個實施例中零件加工機械的結(jié)構(gòu)示意圖，例如，零件加工機械還包括密封裝置310，密封裝置310包括透明密封箱311和排氣管312。例如，透明密封箱311為透明材料制成。例如，透明密封箱311具有開口320，透明密封箱311用于通過開口320蓋設(shè)研磨臺160。本實施例中，透明密封箱311為一側(cè)開口的中空長方體，開口320即為，透明密封箱311的開口側(cè)。例如，透明密封箱311蓋設(shè)在研磨臺160上后，透明密封箱311覆蓋整個研磨臺160。從而避免拋光液中的刺激性氣味的揮發(fā)。

例如，透明密封箱311的頂部與伸縮件142連接。又如，透明密封箱311的頂部與伸縮件142可拆卸連接。又如，透明密封箱311的頂部與伸縮件142密封連接。例如，拋光盤150收容于透明密封箱311中。例如，排氣管312的一端連通透明密封箱311的內(nèi)部，另一端用于連通外部。本實施例中，排氣管312的另一端連通外部的廢氣管道。

如此，在研磨拋光時通過密封裝置310蓋設(shè)研磨臺160，由于透明密封箱311為透明材料制成，外部可以查看密封裝置310內(nèi)的研磨拋光情況，從而不影響研磨拋光的操作。解決了刺激性氣味給操作用戶帶了諸多不便的技術(shù)問題，在透明密封箱311的罩設(shè)下，拋光操作過程拋光液分解并發(fā)出刺激性氣味可從排氣管312排出至外部，提高了環(huán)境衛(wèi)生，給操作用戶創(chuàng)造良好的工作環(huán)境。

為增強透明密封箱的氣密性，例如，透明密封箱于開口的邊緣設(shè)置有密封圈。例如，密封圈為防腐硅膠制成；又如，密封圈為軟性橡膠材料制成。這樣，在研磨拋光時，將密封裝置蓋設(shè)在研磨臺上后，密封圈與研磨臺抵接后形變，使得透明密封箱內(nèi)形成相對密封的空間，增強了透明密封箱的氣密性，使透明密封箱內(nèi)的氣體不容易從透明密封箱內(nèi)揮發(fā)至外部，進(jìn)一步地提高了環(huán)境衛(wèi)生，給操作用戶創(chuàng)造良好的工作環(huán)境。

為了便于進(jìn)行研磨拋光操作，例如，透明密封箱設(shè)置有連通透明密封箱內(nèi)部的操作口以及蓋設(shè)操作口的窗體，用戶在研磨拋光過程中如果需要短暫的對被研磨的零部件進(jìn)行檢查，可以通過打開窗體后從操作口中取出該零部件即可，方便快捷。進(jìn)一步的，為避免因增設(shè)窗體而導(dǎo)致密封性下降，例如，窗體與操作口的邊緣密封連接。這樣可以有效保證窗體的氣密性。

為了加快透明密封箱內(nèi)氣體的排出，例如，密封裝置還包括抽真空機，抽真空機設(shè)置于第二調(diào)節(jié)臂上，抽真空機的輸入端與排氣管連通。抽真空機在工作時，使透明密封箱內(nèi)的大氣壓強與透明密封箱外的大氣壓強不平衡，且透明密封箱內(nèi)的大氣壓強低于透明密封箱外的大氣壓強，從而一方面抽取透明密封箱內(nèi)的刺激性氣體，另一方面加快刺激性氣體從透明密封箱中排出。

請參閱圖4，其為另一個實施例中零件加工機械的結(jié)構(gòu)示意圖，例如，零件加工機械還包照明裝置410，照明裝置410包括導(dǎo)光件411和照明燈具412，導(dǎo)光件411轉(zhuǎn)動安裝于第二調(diào)節(jié)臂130上，照明燈具412設(shè)置于導(dǎo)光件411的末端，照明燈具412的光照方向朝向拋光盤150。

如此，在研磨拋光時通過照明裝置410可以為用戶提供照明需求，導(dǎo)光件411可以根據(jù)需要調(diào)整其自身的狀態(tài)，以間接的調(diào)整照明燈具412的光照方向，這樣，解決了照明裝置的照射的范圍受限的技術(shù)問題，在導(dǎo)光件411的作用下可以將照明燈具412移動到需要照射的區(qū)域，提高了用戶在操作的工作環(huán)境的亮度較低時的研磨拋光效率。

本實施例中，例如，導(dǎo)光件包括多節(jié)依次轉(zhuǎn)動連接的滾珠，其中，首節(jié)滾珠轉(zhuǎn)動安裝于第二調(diào)節(jié)臂上，末節(jié)滾珠與照明燈具連接。例如，第二調(diào)節(jié)臂于鄰近伸縮件的區(qū)域設(shè)置有轉(zhuǎn)動位，首節(jié)滾珠轉(zhuǎn)動設(shè)置于轉(zhuǎn)動位上。這樣，通過多節(jié)依次轉(zhuǎn)動連接的滾珠可以使角度的調(diào)節(jié)不受限制。

例如，照明燈具包括燈座及LED燈芯，燈座與導(dǎo)光件連接，LED燈芯設(shè)置于燈座上。例如，燈座通過導(dǎo)線與外部的插頭連接，從而為LED燈芯供電。

例如，照明燈具還包括凸透鏡，凸透鏡滑動設(shè)置于燈座上。例如，凸透鏡位于LED燈芯及拋光盤之間。這樣，利用凸透鏡可以將光線聚集成光速，從而集中的照射某一區(qū)域，從而便于用戶更清晰地查看該區(qū)域的內(nèi)的情況。

以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。