本實用新型涉及一種干式刻蝕設備的防堵塞氣體處理裝置，屬于刻蝕設備技術(shù)領域。

背景技術(shù)：

在干式刻蝕工序中，氣體處理裝置用來處理用過的氣體，三氯化硼在完全溶解于水前變成粘液質(zhì)狀態(tài)，然后附著在管道內(nèi)壁，過一段時間，就會發(fā)生使進氣管與儲廢箱之間的接口發(fā)生堵塞現(xiàn)象，現(xiàn)有的方法是周期性的分離管道，清理管道內(nèi)部，操作起來非常麻煩。為了解決上述困難，需要開發(fā)一款防堵塞氣體處理裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種干式刻蝕設備的防堵塞氣體處理裝置。

本實用新型要解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的氣體處理裝置中進氣管與儲廢箱之間的接口容易發(fā)生堵塞現(xiàn)象問題。

為實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：

一種干式刻蝕設備的防堵塞氣體處理裝置，包括第一電動閥、進氣管、高溫氮氣管、水管、第二電動閥、發(fā)熱片、電動推桿、接口、儲廢箱、第二直線電機、第二移動塊、支塊、刮刀、第二電機、多級伸縮桿、雙頭氣缸、第一電機、第一直線電機、第一移動塊和控制器，所述儲廢箱上安裝接口，接口上安裝進氣管，進氣管內(nèi)安裝第一直線電機，第一直線電機上安裝第一移動塊，第一移動塊上安裝第一電機，第一電機的輸出軸上安裝雙頭氣缸，雙頭氣缸左右兩側(cè)各安裝多級伸縮桿，多級伸縮桿下安裝支塊，支塊側(cè)面安裝第二電機，第二電機的輸出軸上安裝刮刀，支塊下安裝第二直線電機，第二直線電機上安裝第二移動塊，第二移動塊上安裝電動推桿，電動推桿前端安裝發(fā)熱片，進氣管上安裝高溫氮氣管，高溫氮氣管上安裝第一電動閥，進氣管上安裝水管，水管上安裝第二電動閥，控制器安裝在儲廢箱上，控制器通過導線分別與多級伸縮桿、發(fā)熱片、第一電機、第二電機、第一直線電機、第二直線電機、電動推桿、第一電動閥和第二電動閥相連。

所述第一電機和第二電機為防水電機。

本實用新型的優(yōu)點是：由于三氯化硼具有水解的性質(zhì)，控制器控制第二電動閥開啟，使水從水管噴出，將堆積在管道內(nèi)部的粉末溶化在水中清除；控制器控制第一電動閥開啟，噴射高溫氮氣，清除管道內(nèi)部的水分；控制器控制第一直線電機啟動，使第一移動塊左右移動；控制器控制第一電機啟動，使雙頭氣缸旋轉(zhuǎn)，使發(fā)熱片和刮刀旋轉(zhuǎn)；控制器控制雙頭氣缸做伸縮運動，使刮刀和發(fā)熱片靠近進氣管內(nèi)壁；控制器控制多級伸縮桿做伸縮運動，使刮刀和發(fā)熱片上下移動；控制器控制第二電機啟動，使刮刀旋轉(zhuǎn)刮除進氣管內(nèi)壁的粘附物；控制器控制第二直線電機啟動，使第二移動塊上下移動，使發(fā)熱片上下移動；控制控制電動推桿做伸縮運動，使發(fā)熱片貼著進氣管內(nèi)壁，提高粘附物的溫度，使刮刀容易刮除。

附圖說明

圖1是本實用新型一種干式刻蝕設備的防堵塞氣體處理裝置整體結(jié)構(gòu)圖；

圖中：1、第一電動閥 2、進氣管 3、高溫氮氣管 4、水管 5、第二電動閥 6、發(fā)熱片7、電動推桿 8、接口 9、儲廢箱 10、第二直線電機 11、第二移動塊 12、支塊 13、刮刀 14、第二電機 15、多級伸縮桿 16、雙頭氣缸 17、第一電機 18、第一直線電機 19、第一移動塊20、控制器。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步的說明。

本實用新型一種干式刻蝕設備的防堵塞氣體處理裝置，包括第一電動閥1、進氣管2、高溫氮氣管3、水管4、第二電動閥5、發(fā)熱片6、電動推桿7、接口8、儲廢箱9、第二直線電機10、第二移動塊11、支塊12、刮刀13、第二電機14、多級伸縮桿15、雙頭氣缸16、第一電機17、第一直線電機18、第一移動塊19和控制器20，所述儲廢箱9上安裝接口8，接口8上安裝進氣管2，進氣管2內(nèi)安裝第一直線電機18，第一直線電機18上安裝第一移動塊19，控制器20控制第一直線電機18啟動，使第一移動塊19左右移動；第一移動塊19上安裝第一電機17，控制器20控制第一電機17啟動，使雙頭氣缸16旋轉(zhuǎn)，使發(fā)熱片6和刮刀13旋轉(zhuǎn)；第一電機17的輸出軸上安裝雙頭氣缸16，控制器20控制雙頭氣缸16做伸縮運動，使刮刀13和發(fā)熱片6靠近進氣管2內(nèi)壁；雙頭氣缸16左右兩側(cè)各安裝多級伸縮桿15，控制器20控制多級伸縮桿15做伸縮運動，使刮刀13和發(fā)熱片6上下移動；多級伸縮桿15下安裝支塊12，支塊12側(cè)面安裝第二電機14，第二電機14的輸出軸上安裝刮刀13，控制器20控制第二電機14啟動，使刮刀13旋轉(zhuǎn)刮除進氣管2內(nèi)壁的粘附物；支塊12下安裝第二直線電機10，第二直線電機10上安裝第二移動塊11，控制器20控制第二直線電機10啟動，使第二移動塊11上下移動，使發(fā)熱片6上下移動；第二移動塊11上安裝電動推桿7，電動推桿7前端安裝發(fā)熱片6，控制控制電動推桿7做伸縮運動，使發(fā)熱片6貼著進氣管2內(nèi)壁，提高粘附物的溫度，使刮刀13容易刮除，進氣管2上安裝高溫氮氣管3，高溫氮氣管3上安裝第一電動閥1，控制器20控制第一電動閥1開啟，噴射高溫氮氣，清除管道內(nèi)部的水分；進氣管2上安裝水管4，水管4上安裝第二電動閥5，控制器20控制第二電動閥5開啟，使水從水管4噴出，將堆積在管道內(nèi)部的粉末溶化在水中清除；控制器20安裝在儲廢箱9上，控制器20通過導線分別與多級伸縮桿15、發(fā)熱片6、第一電機17、第二電機14、第一直線電機18、第二直線電機10、電動推桿7、第一電動閥1和第二電動閥5相連，第一電機17和第二電機14為防水電機。

本實用新型使用方法：由于三氯化硼具有水解的性質(zhì)，控制器20控制第二電動閥5開啟，使水從水管4噴出，將堆積在管道內(nèi)部的粉末溶化在水中清除；控制器20控制第一電動閥1開啟，噴射高溫氮氣，清除管道內(nèi)部的水分；控制器20控制第一直線電機18啟動，使第一移動塊19左右移動；控制器20控制第一電機17啟動，使雙頭氣缸16旋轉(zhuǎn)，使發(fā)熱片6和刮刀13旋轉(zhuǎn)；控制器20控制雙頭氣缸16做伸縮運動，使刮刀13和發(fā)熱片6靠近進氣管2內(nèi)壁；控制器20控制多級伸縮桿15做伸縮運動，使刮刀13和發(fā)熱片6上下移動；控制器20控制第二電機14啟動，使刮刀13旋轉(zhuǎn)刮除進氣管2內(nèi)壁的粘附物；控制器20控制第二直線電機10啟動，使第二移動塊11上下移動，使發(fā)熱片6上下移動；控制控制電動推桿7做伸縮運動，使發(fā)熱片6貼著進氣管2內(nèi)壁，提高粘附物的溫度，使刮刀13容易刮除。