本實(shí)用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)采用的加持裝置均為電磁式，這種方式的加持設(shè)備不僅購(gòu)買成本高，而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修成本極高，不利于企業(yè)的低成本管理，存在不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，為克服上述的不足，采用真空結(jié)構(gòu)，不僅購(gòu)買成本低，而且設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于維修，同時(shí)維修成本較低，有利于企業(yè)的低成本管理。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案：

一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，包括本體、支撐環(huán)、外環(huán)；其中：本體邊緣與外環(huán)固定連接，本體中部與支撐環(huán)固定連接，本體內(nèi)部設(shè)有氣孔，氣孔通過(guò)密封墊圈與接頭連通，接頭通過(guò)氣管與風(fēng)機(jī)連通，風(fēng)機(jī)與排氣管連通。

一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：支撐環(huán)內(nèi)部設(shè)有通孔。

一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：外環(huán)頂部設(shè)有密封環(huán)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用真空結(jié)構(gòu)，不僅購(gòu)買成本低，而且設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于維修，同時(shí)維修成本較低，有利于企業(yè)的低成本管理。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖。

圖2為本實(shí)用新型的俯視示意簡(jiǎn)圖。

附圖標(biāo)記：本體1、支撐環(huán)2、外環(huán)3、密封環(huán)4、通孔5、氣孔6、密封墊圈7、接頭8、氣管9、風(fēng)機(jī)10、排氣管11。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，包括本體1、支撐環(huán)2、外環(huán)3；其中：本體1邊緣與外環(huán)3固定連接，本體1中部與支撐環(huán)2固定連接，本體1內(nèi)部設(shè)有氣孔6，氣孔6通過(guò)密封墊圈7與接頭8連通，接頭8通過(guò)氣管9與風(fēng)機(jī)10連通，風(fēng)機(jī)10與排氣管11連通。

實(shí)施例2、一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：支撐環(huán)2內(nèi)部設(shè)有通孔5，利用連通器原理平衡內(nèi)部氣壓，防止氣壓不均衡導(dǎo)致硅片破碎。其余同實(shí)施例1。

實(shí)施例3、一種硅片拋光機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：外環(huán)3頂部設(shè)有密封環(huán)4，提高設(shè)備密封性，防止漏氣。其余同實(shí)施例1。

工作原理：

將硅片放置于密封環(huán)4之上，啟動(dòng)風(fēng)機(jī)10，風(fēng)機(jī)10運(yùn)行過(guò)程中將本體1、支撐環(huán)2、外環(huán)3、密封環(huán)4四者所構(gòu)成的內(nèi)腔空間內(nèi)的空氣抽出，并經(jīng)過(guò)接頭8、氣管9與排氣管11將空氣排出，進(jìn)而產(chǎn)生真空，并通過(guò)通孔實(shí)現(xiàn)各處的真空壓強(qiáng)相等，密封環(huán)4與密封墊圈7保持密封性，使得真空壓力不會(huì)泄露，進(jìn)而使得硅片被夾持固定，真空夾持裝置不僅能夠平穩(wěn)夾持硅片，而且能夠提供有效的真空吸力，提高工作效率，動(dòng)作結(jié)束。