本實用新型涉及一種硅片噴砂處理裝置，特別涉及一種硅片背面噴砂機(jī)。

背景技術(shù)：

硅片在生產(chǎn)過程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進(jìn)行噴砂處理，以利于硅片的后續(xù)處理。

現(xiàn)有技術(shù)中沒有專門針對硅片進(jìn)行噴砂處理的裝置，由于硅片生產(chǎn)過程中可能并不需要對所有硅片進(jìn)行噴砂，因此，現(xiàn)有技術(shù)中對硅片進(jìn)行噴砂時均在生產(chǎn)現(xiàn)場直接進(jìn)行，硅片噴砂處理過程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時沒有防護(hù)措施，硅片的噴砂過程對環(huán)境影響大。為此，現(xiàn)有技術(shù)中有采用其它噴砂設(shè)備對硅片進(jìn)行噴砂處理，但是現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂設(shè)備結(jié)構(gòu)不合理，長期使用后觀察口上積聚較多的灰塵，觀察口清潔不方便，造成操作人員無法直觀地觀察噴砂過程，影響硅片的噴砂質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種設(shè)計簡單，操作方便，提高了生產(chǎn)效率，硅片噴砂的均一性、噴砂厚度精度穩(wěn)定的硅片背面噴砂機(jī)。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是：一種硅片背面噴砂機(jī)，具有機(jī)床；所述機(jī)床上設(shè)有傳送帶；所述傳送帶的一端安裝有伺服電機(jī)；所述傳送帶上方設(shè)有噴嘴；所述噴嘴與砂桶連接；所述砂桶與減壓閥相連；所述傳送帶上設(shè)有翻轉(zhuǎn)裝置；所述翻轉(zhuǎn)裝置包括一對夾持件、提升氣缸和轉(zhuǎn)動電機(jī)；所述夾持件鏡像分布在傳送帶的兩側(cè)，夾持件同時與對應(yīng)的夾持氣缸、提升氣缸和轉(zhuǎn)動電機(jī)連接。

上述技術(shù)方案所述夾持件的內(nèi)側(cè)開有與硅片契合的夾持槽，且一對夾持件呈“[]”形位置設(shè)置在傳送帶兩側(cè)。

上述技術(shù)方案所述夾持槽的槽底和內(nèi)壁均貼有硅膠或橡膠層。

上述技術(shù)方案所述噴嘴與凸輪往復(fù)機(jī)構(gòu)連接。

上述技術(shù)方案所述砂桶內(nèi)部設(shè)有振動篩。

上述技術(shù)方案所述伺服電機(jī)與變頻器相連。

上述技術(shù)方案所述機(jī)床上設(shè)有光電開關(guān)。

上述技術(shù)方案所述砂桶與噴嘴之間設(shè)有噴砂壓空流量計。

采用上述技術(shù)方案后，本實用新型具有以下積極的效果：

(1)本實用新型具有設(shè)計簡單，操作方便等特點，提高了生產(chǎn)效率，保證硅片噴砂的均一性、噴砂厚度精度穩(wěn)定。

(2)本實用新型的夾持件的內(nèi)側(cè)開有與硅片契合的夾持槽，且一對夾持件呈“[]”形位置設(shè)置在傳送帶兩側(cè)，每個單獨的夾持件呈“匚”形，保證在夾持過程中夾持槽包覆在硅片的周邊及四個腳，保證了翻轉(zhuǎn)過程中硅片不易掉落損壞。

(3)本實用新型的夾持槽的槽底和內(nèi)壁均貼有硅膠或橡膠層，防止硅片磨損。

(4)本實用新型的噴嘴與凸輪往復(fù)機(jī)構(gòu)連接，保證硅片噴砂的均一性、噴砂厚度精度穩(wěn)定。

(5)本實用新型的砂桶內(nèi)部設(shè)有振動篩，保證砂的精細(xì)度。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的翻轉(zhuǎn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式

(實施例1)

見圖1和圖2，本實用新型具有機(jī)床；機(jī)床上設(shè)有傳送帶1；傳送帶1的一端安裝有伺服電機(jī)2；傳送帶1上方設(shè)有噴嘴3；噴嘴3與砂桶4連接；砂桶4與減壓閥5相連；傳送帶1上設(shè)有翻轉(zhuǎn)裝置6；翻轉(zhuǎn)裝置6包括一對夾持件7、提升氣缸8和轉(zhuǎn)動電機(jī)9；夾持件7鏡像分布在傳送帶1的兩側(cè)，夾持件7同時與對應(yīng)的夾持氣缸10、提升氣缸8和轉(zhuǎn)動電機(jī)9連接。

夾持件7的內(nèi)側(cè)開有與硅片契合的夾持槽，且一對夾持件7呈“[]”形位置設(shè)置在傳送帶1兩側(cè)。

夾持槽的槽底和內(nèi)壁均貼有硅膠或橡膠層。

噴嘴3與凸輪往復(fù)機(jī)構(gòu)11連接。

砂桶4內(nèi)部設(shè)有振動篩。

伺服電機(jī)2與變頻器12相連。

機(jī)床上設(shè)有光電開關(guān)13。

砂桶4與噴嘴3之間設(shè)有噴砂壓空流量計14。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。