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      精密金屬遮罩及遮罩組件的制作方法

      文檔序號:12183382閱讀:669來源:國知局
      精密金屬遮罩及遮罩組件的制作方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種精密金屬遮罩及遮罩組件。



      背景技術(shù):

      在目前的圖案化制程中,往往通過多個遮罩條所組成的遮罩搭配鍍膜制程來形成各種圖案化膜層。在此,遮罩(mask)是金屬薄板通過蝕刻(etching)的方式制作多條細(xì)長的金屬線,利用這些金屬線之間的空隙作為鍍膜制程時的開口區(qū)。由于金屬線相當(dāng)細(xì)長,易扭曲變形,因此需要將遮罩條固定至網(wǎng)框上進(jìn)行拉伸,使金屬線橫向繃緊,這個過程稱為張網(wǎng)過程。

      請參見圖1,傳統(tǒng)的精密金屬遮罩100’上通常包括至少一個圖案區(qū)域110’,而圖案區(qū)域110’的圖形通常為矩形。然而,在精密金屬遮罩(FMM,F(xiàn)ine Metal Mask)的張網(wǎng)過程中,上述有效顯示區(qū)域在拉伸過程中會產(chǎn)生應(yīng)力集中的問題,導(dǎo)致拉伸應(yīng)變不均勻,容易在精密金屬遮罩的表面出現(xiàn)褶皺,而幅度過大的褶皺還會導(dǎo)致在后續(xù)制程中精密金屬遮罩與基板之間貼合差,給后續(xù)的測量、焊接以及成品良率帶來了不良影響。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      基于此,有必要針對傳統(tǒng)的精密金屬遮罩的表面易出現(xiàn)褶皺的問題,提供一種表面不易出現(xiàn)褶皺的精密金屬遮罩。

      一種精密金屬遮罩,包括圖案區(qū)域,所述圖案區(qū)域的外輪廓線包括若干條間隔連接的直線段,相鄰兩條所述直線段非平行,且相鄰兩條所述直線段之間設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)。

      上述精密金屬遮罩中,由于相鄰兩條非平行的直線段之間設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu),則能夠降低或者避免在相鄰兩條非平行的直線段之間形成應(yīng)力集中,使精密金屬遮罩張網(wǎng)過程中的應(yīng)力均勻分布在倒角結(jié)構(gòu)上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      在其中一個實(shí)施例中,所述倒角結(jié)構(gòu)為倒斜角。

      在其中一個實(shí)施例中,所述倒斜角的角度為30°~60°。

      在其中一個實(shí)施例中,所述倒角結(jié)構(gòu)為多次連續(xù)倒斜角。

      在其中一個實(shí)施例中,所述倒角結(jié)構(gòu)為倒弧角。

      在其中一個實(shí)施例中,所述倒角結(jié)構(gòu)為倒圓角。

      在其中一個實(shí)施例中,所述外輪廓線為頂角處設(shè)置有倒斜角的矩形。

      在其中一個實(shí)施例中,所述外輪廓線為頂角處設(shè)置有倒圓角的矩形。

      在其中一個實(shí)施例中,所述矩形的相對兩條長邊之間的距離為4cm~25cm,所述矩形的相對兩條短邊之間的距離為4cm~50cm,所述倒圓角的半徑為0.1mm~5mm。

      此外,還提供一種遮罩組件,包括網(wǎng)框和上述的精密金屬遮罩,所述精密金屬遮罩固定在所述網(wǎng)框上。

      上述遮罩組件中,由于精密金屬遮罩的圖案區(qū)域的外輪廓線上相鄰兩條非平行的直線段之間設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu),因此,能夠降低或者避免在相鄰兩條非平行的直線段之間形成應(yīng)力集中,使精密金屬遮罩張網(wǎng)過程中的應(yīng)力均勻分布在倒角結(jié)構(gòu)上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      附圖說明

      圖1為傳統(tǒng)的精密金屬遮罩的示意圖;

      圖2為實(shí)施例1的精密金屬遮罩的示意圖;

      圖3為實(shí)施例2的精密金屬遮罩的示意圖;

      圖4為實(shí)施例3的精密金屬遮罩的示意圖;

      圖5為實(shí)施例4的精密金屬遮罩的示意圖。

      具體實(shí)施方式

      為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn),因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。

      為了解決傳統(tǒng)的精密金屬遮罩的表面易出現(xiàn)褶皺的問題,本實(shí)用新型提供一種表面不易出現(xiàn)褶皺的精密金屬遮罩。

      本實(shí)用新型的精密金屬遮罩包括圖案區(qū)域。圖案區(qū)域指的是若干個緊密排布的用于后續(xù)蒸鍍用的小圖案所組成的區(qū)域。精密金屬遮罩上可以只設(shè)置有一個圖案區(qū)域,亦可設(shè)置有兩個或者兩個以上個數(shù)的圖案區(qū)域。當(dāng)精密金屬遮罩上設(shè)置有兩個或者兩個以上個數(shù)的圖案區(qū)域時,相鄰兩個圖案區(qū)域之間具有明顯的界線,即每個圖案區(qū)域的外輪廓線是清晰的。

      本實(shí)用新型的精密金屬遮罩中,每個圖案區(qū)域的外輪廓線包括若干條間隔連接的直線段,相鄰兩條直線段非平行,且相鄰兩條直線段之間設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)。需要說明的是,上述倒角結(jié)構(gòu)是相對于直線段來說的,上述外輪廓線中,直線段的長度遠(yuǎn)大于倒角結(jié)構(gòu)的長度。

      這種倒角結(jié)構(gòu)能夠降低或者避免在相鄰兩條非平行的直線段之間形成應(yīng)力集中,使精密金屬遮罩張網(wǎng)過程中的應(yīng)力均勻分布在倒角結(jié)構(gòu)上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩的表面不易出現(xiàn)褶皺,精密金屬遮罩在后續(xù)蒸鍍過程中在磁場作用下受到的磁力更均勻。

      本實(shí)用新型的精密金屬遮罩的倒角結(jié)構(gòu)可以為若干形式,例如可以為倒斜角、多次連續(xù)倒斜角、倒弧角或者倒圓角等,當(dāng)然,亦可為其他形式的倒角結(jié)構(gòu)。下面結(jié)合具體實(shí)施例以及附圖對本實(shí)用新型的精密金屬遮罩進(jìn)行進(jìn)一步的說明。

      實(shí)施例1

      請參見圖2,實(shí)施例1的精密金屬遮罩100包括圖案區(qū)域110。從圖2中所示,圖案區(qū)域110的外輪廓線包括4條間隔連接的直線段112,相鄰兩條直線段112相互垂直,上述4條直線段112構(gòu)成一個矩形。

      上述相鄰兩條直線段112之間,即上述矩形的頂角處,設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)114。如圖2所示,本實(shí)施例中的倒角結(jié)構(gòu)114為倒斜角。上述倒斜角的角度為45°。在精密金屬遮罩100的張網(wǎng)過程中,受到的應(yīng)力能夠均勻分布在上述倒斜角上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩100的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      當(dāng)然,上述倒斜角的角度不以此為限,優(yōu)選為30°~60°之間的任意角度數(shù)值,亦可為其他數(shù)值。

      實(shí)施例2

      請參見圖3,實(shí)施例2的精密金屬遮罩200包括圖案區(qū)域210。從圖3中所示,圖案區(qū)域210的外輪廓線包括4條間隔連接的直線段212,相鄰兩條直線段212相互垂直,上述4條直線段212構(gòu)成一個矩形。

      上述相鄰兩條直線段212之間,即上述矩形的頂角處,設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)214。如圖3所示,本實(shí)施例中的倒角結(jié)構(gòu)214為多次連續(xù)倒斜角。在精密金屬遮罩100的張網(wǎng)過程中,受到的應(yīng)力能夠均勻分布在上述多次連續(xù)倒斜角上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩200的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      實(shí)施例3

      請參見圖4,實(shí)施例3的精密金屬遮罩300包括圖案區(qū)域310。從圖4中所示,圖案區(qū)域310的外輪廓線包括4條間隔連接的直線段312,相鄰兩條直線段312相互垂直,上述4條直線段312構(gòu)成一個矩形。

      上述相鄰兩條直線段312之間,即上述矩形的頂角處,設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)314。如圖4所示,本實(shí)施例中的倒角結(jié)構(gòu)314為倒弧角。在精密金屬遮罩300的張網(wǎng)過程中,受到的應(yīng)力能夠均勻分布在上述倒弧角上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩300的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      實(shí)施例4

      請參見圖5,實(shí)施例4的精密金屬遮罩400包括圖案區(qū)域410。從圖5中所示,圖案區(qū)域410的外輪廓線包括4條間隔連接的直線段412,相鄰兩條直線段412相互垂直,上述4條直線段412構(gòu)成一個矩形。本實(shí)施例中上述矩形的相對兩條長邊之間的距離為7.1cm,相對兩條短邊之間的距離為12.9cm。當(dāng)然,上述矩形的相對兩條長邊之間的距離和相對兩條短邊之間的距離均不限于此,相對兩條長邊之間的距離亦可為4cm~25cm中的任意數(shù)值,相對兩條短邊之間的距離亦可為4cm~50cm中的任意數(shù)值。

      上述相鄰兩條直線段412之間,即上述矩形的頂角處,設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu)414。如圖5所示,本實(shí)施例中的倒角結(jié)構(gòu)414為倒圓角。本實(shí)施例中上述倒圓角的半徑為R10mm。當(dāng)然,上述倒圓角的半徑不限于此,亦可根據(jù)實(shí)際使用需求進(jìn)行選擇。

      在精密金屬遮罩400的張網(wǎng)過程中,精密金屬遮罩400受到的應(yīng)力能夠均勻分布在上述倒圓角上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩400的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      性能測試

      在精密金屬遮罩的張網(wǎng)過程中,將與實(shí)施例4尺寸相同(指的是相對兩條長邊之間的距離和相對兩條短邊之間的距離相同)的傳統(tǒng)的精密金屬遮罩100作為對比例,分別對對比例和實(shí)施例4的精密金屬遮罩400施加6N的拉力,測試結(jié)果如表1所示:

      表1測試結(jié)果

      從表1可以看出,當(dāng)對相同尺寸的傳統(tǒng)的精密金屬遮罩100和實(shí)施例4的精密金屬遮罩400施加同樣數(shù)值(6N)的拉力時,實(shí)施例4的精密金屬遮罩400的邊角位置的應(yīng)力最大值為傳統(tǒng)的精密金屬遮罩100的邊角位置的應(yīng)力最大值的一半左右。上述測試結(jié)果表明,對精密金屬遮罩的圖案區(qū)域進(jìn)行倒圓角處理之后,能夠顯著降低邊角位置的應(yīng)力,避免了應(yīng)力集中,從而使應(yīng)力均勻分布。

      本實(shí)用新型的上述實(shí)施例1~實(shí)施例4中精密金屬遮罩的圖案區(qū)域的外輪廓線的形狀均以矩形為例,但其不限于此,亦可為其他任意形狀,即本實(shí)用新型的精密金屬遮罩中圖案區(qū)域的外輪廓線可以為任意符合要求的形狀。此外,當(dāng)同一個精密金屬遮罩中包括兩個或者兩個以上的圖案區(qū)域時,各個圖案區(qū)域的外輪廓線的形狀可以相同,亦或不同。

      此外,本實(shí)用新型還提供一種遮罩組件。上述遮罩組件包括包括網(wǎng)框和上述的精密金屬遮罩,精密金屬遮罩固定在網(wǎng)框上。

      上述遮罩組件中,由于精密金屬遮罩的圖案區(qū)域的外輪廓線上相鄰兩條非平行的直線段之間設(shè)置有用以避免應(yīng)力集中的倒角結(jié)構(gòu),因此,能夠降低或者避免在相鄰兩條非平行的直線段之間形成應(yīng)力集中,使精密金屬遮罩張網(wǎng)過程中的應(yīng)力均勻分布在倒角結(jié)構(gòu)上,從而使得張網(wǎng)之后的精密金屬遮罩的表面不易出現(xiàn)褶皺。

      以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合,為使描述簡潔,未對上述實(shí)施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述,然而,只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾,都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

      以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此,本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。

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