技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及布氣裝置。所述布氣裝置包括基板，第一密封板；第一布氣板，第二密封板，第二布氣板，所述基板設(shè)置有第一氣體通道和第二氣體通道，所述第一進氣口與所述第一氣體通道連通，所述第一氣體通道設(shè)置所述前表面；所述第二氣體通道與第二進氣口連通，所述第二氣體通道設(shè)置在所述后表面；自第一進氣口進入的氣體經(jīng)第一氣體通道、第三氣體通道或者兩者的組合均分為多路后，自第一出氣口流出；自第二進氣口進入的氣體經(jīng)第二氣體通道、第四氣體通道或者兩者的組合均分為多路后，自第二出氣口流出。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型旋轉(zhuǎn)陰極通過采用錯位分布式二元布氣設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)工藝氣體沿靶材長度方向分布的均勻性，同時結(jié)構(gòu)緊湊。

技術(shù)研發(fā)人員：郭江濤
受保護的技術(shù)使用者：斡茲真空科技（上海）有限公司
文檔號碼：201621144631
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.21
技術(shù)公布日：2017.05.10