本實(shí)用新型涉及鍍膜機(jī)的輔助裝置，尤其涉及一種鍍膜機(jī)三盤多工位回轉(zhuǎn)分度自動選位對位裝置。

背景技術(shù)：

鍍膜機(jī)基片盤，掩膜盤一般采用實(shí)驗(yàn)人員人工進(jìn)行基片和掩膜的選位及對位。實(shí)驗(yàn)人員選位、對位工作操作頻繁，科研工作效率低。

授權(quán)公告號為CN203613254U的中國實(shí)用新型專利公開了一種真空鍍膜機(jī)，包括真空罩和用于使真空罩內(nèi)部保持真空狀態(tài)的真空系統(tǒng)，真空罩內(nèi)設(shè)置有傘架和蒸發(fā)源，傘架包括能夠周向轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)盤和若干個(gè)工件架，工件架分別與轉(zhuǎn)盤通過各自轉(zhuǎn)軸一相連，工件架沿轉(zhuǎn)盤周向呈傘狀分布，該真空鍍膜機(jī)還包括能使工件架隨著轉(zhuǎn)盤周向轉(zhuǎn)動的同時(shí)繞轉(zhuǎn)軸一的中心線轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。上述鍍膜機(jī)的蒸發(fā)源將鍍膜材料加熱蒸發(fā)，鍍膜材料蒸發(fā)后向上擴(kuò)散到工件架處，附著在溫度較低的待鍍膜工件上，形成薄膜，該鍍膜機(jī)的不足之處在于，蒸發(fā)源位于真空罩的底部，工件架位于真空罩的頂部，導(dǎo)致工件(或基片)距離蒸發(fā)源的距離較遠(yuǎn)，因此會出現(xiàn)鍍膜效果不佳的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有人工選位對位不足的問題，本實(shí)用新型提供了一種能夠提高鍍膜工作效率，提高鍍膜機(jī)的自動化率，回轉(zhuǎn)分度對位速度快，定位準(zhǔn)確可靠的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置。

本實(shí)用新型的目的是通過以下方案實(shí)現(xiàn)：

一種鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，包括包括第一軸、第一彈簧、第一頂出凸輪、第一分度凸輪、第一盤、第二軸、第二彈簧、第一柱面導(dǎo)軌、第二頂出凸輪、第二分度凸輪、第二盤、第三軸、第二柱面導(dǎo)軌、第三盤、第一氣缸、第二氣缸；所述第一氣缸通過氣缸桿與第一軸頂端聯(lián)動，第一軸下端與第一頂出凸輪聯(lián)動，第一分度凸輪與第一柱面導(dǎo)軌卡合，第一柱面導(dǎo)軌設(shè)置在第二軸上，第一彈簧設(shè)置在第一軸的中下部，第一軸與第一分度凸輪用螺栓固定，第一分度凸輪與第一盤用螺栓固定；所述第二氣缸通過氣缸桿與第二軸頂端聯(lián)動，第二軸下端與第二頂出凸輪聯(lián)動，第二分度凸輪與第二柱面導(dǎo)軌卡合，第二柱面導(dǎo)軌設(shè)置在第三軸上，第二彈簧設(shè)置在第二軸的中下部，第二軸與第二分度凸輪用螺栓固定，第二分度凸輪與第二盤用螺栓固定；所述第三盤設(shè)置在第三軸下端。

優(yōu)選地，所述第一彈簧環(huán)繞第一軸一周，第二彈簧環(huán)繞第二軸一周。

優(yōu)選地，所述第一柱面導(dǎo)軌、第二柱面導(dǎo)軌均設(shè)置有沿軸向延伸的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面；所述第一柱面導(dǎo)軌上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)；所述第二柱面導(dǎo)軌上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)。

優(yōu)選地，所述第一分度凸輪、第二分度凸輪均設(shè)置導(dǎo)向突起和分度凸輪面；所述第一分度凸輪上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)；所述第二分度凸輪上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)。

優(yōu)選地，所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪均設(shè)置有頂出齒；頂出齒的下端設(shè)置有頂出凸輪面；所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪的頂出齒數(shù)量均為4-12個(gè)。

優(yōu)選地，所述頂出凸輪面、傾斜凸輪面能夠與分度凸輪面分別卡合；所述頂出齒、導(dǎo)向突起能夠在導(dǎo)向槽內(nèi)沿軸向滑動。

優(yōu)選地，所述第一軸為實(shí)心軸；第二軸為空心軸，設(shè)置在第一軸外部；第三軸為空心軸，設(shè)置在第二軸外部。

優(yōu)選地，所述第一盤為蒸發(fā)孔盤，面上設(shè)置有一個(gè)正方形蒸發(fā)孔；第二盤為掩膜托盤，上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有4-12個(gè)正方形掩膜放置位置；第三盤為基片托盤，上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有4-12個(gè)正方形基片放置位置。

優(yōu)選地，所述第一分度凸輪、第一盤與第一軸通過螺栓固定；所述第二盤、第一柱面導(dǎo)軌與第二軸分別通過螺栓固定；所述第二柱面導(dǎo)軌、第三盤通過螺栓固定在第三軸上。

優(yōu)選地，所述第一彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第一軸上；所述第二彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第二軸上。

本實(shí)用新型的產(chǎn)品機(jī)結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，操作維護(hù)方便，工作可靠安全，能夠提高鍍膜工作效率，提高鍍膜機(jī)的自動化率，回轉(zhuǎn)分度對位速度快，定位準(zhǔn)確可靠。本裝置通過簡單的氣缸直線運(yùn)動實(shí)現(xiàn)了基片托盤，掩膜托盤和蒸發(fā)孔盤的旋轉(zhuǎn)分度對位，極大的減少了科研試驗(yàn)人員的手動勞動，提高了試驗(yàn)工作效率，同時(shí)本申請的產(chǎn)品屬于首創(chuàng)，會給鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)領(lǐng)域帶來一定的影響。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型裝置的剖視圖；

圖2是本實(shí)用新型裝置的立體外觀圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的解釋。

本實(shí)施例中，所述第一彈簧2環(huán)繞第一軸1一周，第二彈簧7環(huán)繞第二軸6一周。所述第一柱面導(dǎo)軌8、第二柱面導(dǎo)軌13均設(shè)置有沿軸向延伸的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面；所述第一分度凸輪4、第二分度凸輪10均設(shè)置導(dǎo)向突起和分度凸輪面；所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪均設(shè)置有頂出齒；頂出齒的下端設(shè)置有頂出凸輪面；所述頂出凸輪面、傾斜凸輪面能夠與分度凸輪面分別卡合；所述頂出齒、導(dǎo)向突起能夠在導(dǎo)向槽內(nèi)沿軸向滑動。所述第一軸1為實(shí)心軸；第二軸6為空心軸，設(shè)置在第一軸外部；第三軸12為空心軸，設(shè)置在第二軸6的外部。所述第一分度凸輪4、第一盤5與第一軸1通過螺栓固定；所述第二盤11、第一柱面導(dǎo)軌8與第二軸6分別通過螺栓固定；所述第二柱面導(dǎo)軌13、第三盤14通過螺栓固定在第三軸12上。所述第一彈簧2通過軸用彈簧卡圈固定在第一軸1上；所述第二彈簧7通過軸用彈簧卡圈固定在第二軸6上。第一柱面導(dǎo)軌8上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量均為8個(gè)；所述第二柱面導(dǎo)軌13上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量均為8個(gè)。第一分度凸輪4上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量均為8個(gè)；所述第二分度凸輪10上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量均為8個(gè)。所述第一頂出凸輪3和第二頂出凸輪9的頂出齒數(shù)量均為8個(gè)。所述第一盤5上設(shè)置有一個(gè)正方形蒸發(fā)孔；第二盤11上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有8個(gè)正方形掩膜放置位置；第三盤14上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有8個(gè)正方形基片放置位置。

本實(shí)用新型的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置中的第一氣缸15的氣缸桿按壓第一軸1頂端一次，第一軸1向下運(yùn)動一個(gè)氣缸行程，第一頂出凸輪3的頂出齒下部的頂出凸輪面抵住第一分度凸輪4的分度凸輪面沿著安裝在第二軸6上的第一柱面導(dǎo)軌8的導(dǎo)向槽向下行走，當(dāng)?shù)谝环侄韧馆?的導(dǎo)向突起脫出第一柱面導(dǎo)軌8的導(dǎo)向槽后，在上述頂出凸輪面與分度凸輪面的作用下，第一分度凸輪4旋轉(zhuǎn)。于是，第一分度凸輪4的分度凸輪面與第一柱面導(dǎo)軌8的傾斜凸輪面卡合，在第一彈簧2受壓后的回彈力作用下，第一分度凸輪4的導(dǎo)向突起沿著第一柱面導(dǎo)軌8的傾斜凸輪面向上滑入柱面導(dǎo)軌的下一個(gè)導(dǎo)向槽中，第一分度凸輪4轉(zhuǎn)動了一個(gè)分度，實(shí)現(xiàn)安裝在第一分度凸輪4上的第一盤5旋轉(zhuǎn)一個(gè)分度。

所述第二氣缸16的氣缸桿按壓第二軸6頂端一次，第二軸6向下運(yùn)動一個(gè)氣缸行程，第二頂出凸輪9的頂出齒下部的頂出凸輪面抵住第二分度凸輪10的分度凸輪面沿著安裝在第三軸12上的第二柱面導(dǎo)軌13的導(dǎo)向槽向下行走，當(dāng)?shù)诙侄韧馆?0的導(dǎo)向突起脫出第二柱面導(dǎo)軌13的導(dǎo)向槽后，在上述頂出凸輪面與分度凸輪面的作用下，第二分度凸輪10旋轉(zhuǎn)。于是，第二分度凸輪10的分度凸輪面與第二柱面導(dǎo)軌13的傾斜凸輪面卡合，在第二彈簧7受壓后的回彈力作用下，第二分度凸輪10的導(dǎo)向突起沿著第二柱面導(dǎo)軌13的傾斜凸輪面向上滑入柱面導(dǎo)軌的下一個(gè)導(dǎo)向槽中，第二分度凸輪10轉(zhuǎn)動了一個(gè)分度。實(shí)現(xiàn)安裝在第二分度凸輪10上的第二盤11旋轉(zhuǎn)一個(gè)分度。第二氣缸16向下按壓第二軸6頂端時(shí)，安裝在第二軸6上的第二盤11向下頂住第一盤5，由于氣缸向下的頂出力及第二彈簧7和第一彈簧2受壓后的回彈力的共同作用，第二盤11和第一盤5貼合。當(dāng)氣缸16的頂出作用導(dǎo)致第二盤11旋轉(zhuǎn)分度時(shí)，第一盤5也同時(shí)旋轉(zhuǎn)相同的分度。由此，第三盤14不旋轉(zhuǎn)，第二盤11和第一盤5和分別通過各自的氣缸頂出實(shí)現(xiàn)各自的旋轉(zhuǎn)分度，即可實(shí)現(xiàn)三盤多工位的回轉(zhuǎn)分度自動選位對位。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)該涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。