本實(shí)用新型一般地涉及材料減薄加工，更具體地說但非限于，涉及鐵電材料的表面加工方法。

背景技術(shù)：

鐵電材料在航空、航天、民用光電產(chǎn)品等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，如表面波器件、窄帶濾波器、傳感器、光子可調(diào)諧濾波器、聲光器件、光陀螺儀等，特別是在高頻表面波器件，2.5G、3G標(biāo)準(zhǔn)下的聲表面波器件還沒有其他商品化材料可以代替鐵電材料，是無線通訊中最重要的基礎(chǔ)材料。

鐵電材料在加工過程中由于外部載荷和熱場共同作用再加上自身具有的壓電效應(yīng)和熱釋電效應(yīng)，會出現(xiàn)分子正負(fù)電中心彼此分離而產(chǎn)生極化現(xiàn)象，材料表面會產(chǎn)生很強(qiáng)的電場。由于鐵電材料又具有壓電逆效應(yīng)，電場會產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。當(dāng)內(nèi)部應(yīng)力大于材料強(qiáng)度時，無須外部載荷，裂紋就會產(chǎn)生，導(dǎo)致鐵電材料破損，降低鐵電材料的加工成品率。

目前的鐵電材料表面加工技術(shù)，主要從材料機(jī)械特性角度來選擇加工方法，鐵電材料的極化特性及其逆效應(yīng)沒有引起足夠重視，而極化現(xiàn)象產(chǎn)生的電場能量相當(dāng)驚人，可以在不借助于任何外部載荷和熱的條件下完成中子和氦離子的核聚變過程，無需外部載荷，電場對于加工的影響就足以導(dǎo)致鐵電材料破損，因此，研究、開發(fā)一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工裝置尤為必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有的鐵電材料減薄加工方法的加工效率低的問題，本實(shí)用新型提供一種基于多場耦合的高效鐵電材料減薄加工裝置。

為了解決上述技術(shù)問題提供了如下技術(shù)方案：

一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工裝置，包括砂輪和基盤，所述砂輪與基盤之間為放置待加工鐵電材料的加工工位，所述砂輪與基盤分別與帶動其旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，所述加工裝置還包括反向電場裝置、反向熱場裝置和化學(xué)場裝置，所述反向電場裝置形成的反向電場、所述反向熱場裝置形成的反向熱場和所述化學(xué)場裝置形成的化學(xué)場位于所述加工工位上。

進(jìn)一步，所述鐵電材料的形狀為晶片狀。

再進(jìn)一步，所述的砂輪端面非整體，陣列粘附設(shè)定厚度的砂輪牙塊，牙塊的幾何形狀為心形或矩形。

所述鐵電材料粘附在基盤上。

所述基盤與真空吸盤連接。

本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思為：鐵電材料的表面加工裝置是能施加反向電場、反向熱場和化學(xué)場等多場耦合的裝置來抵消鐵電材料加工時由于極化作用產(chǎn)生的正負(fù)電荷而引起的內(nèi)電場，來降低內(nèi)電場對鐵電材料加工破損的風(fēng)險，有助于提高加工效率。表面加工方法包含端面磨削，加工材料包含鉭酸鋰為代表的鐵電材料，以及外加反向電場、反向熱場和化學(xué)場。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果為：提高了鐵電材料減薄加工效率。

附圖說明

圖1是按照本實(shí)用新型一個實(shí)施方案的加工示意圖。

圖2是按照本實(shí)用新型所述的外加多場耦合作用原理示意圖。

圖3是按照本實(shí)用新型一個實(shí)施方案的砂輪端面示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

參照圖1～圖3，一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工裝置，包括砂輪和基盤，所述砂輪與基盤之間為放置待加工鐵電材料的加工工位，所述砂輪與基盤分別與帶動其旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，所述加工裝置還包括反向電場裝置、反向熱場裝置和化學(xué)場裝置，所述反向電場裝置形成的反向電場、所述反向熱場裝置形成的反向熱場和所述化學(xué)場裝置形成的化學(xué)場位于所述加工工位上。

進(jìn)一步，所述鐵電材料的形狀為晶片狀。

再進(jìn)一步，所述的砂輪端面非整體，陣列粘附設(shè)定厚度的砂輪牙塊，牙塊的幾何形狀為心形或矩形。

所述鐵電材料粘附在基盤上。

所述基盤與真空吸盤連接。

本實(shí)施例的減薄加工方法，包括以下步驟：

(1)參照圖1，立式端面磨削加工鐵電材料，砂輪1以n_s的轉(zhuǎn)速，f的進(jìn)給速度對鉭酸鋰晶片2進(jìn)行加工，鉭酸鋰晶片2的轉(zhuǎn)速是n_w。

(2)參照圖,2，加工時施加反向電場5，反向熱場6和化學(xué)場7等加工方法。

(3)所述砂輪1，參照圖3，端面非整體，陣列粘附金剛石磨粒的砂輪塊6，砂輪塊的幾何形狀包含心形。參照圖2，所述鉭酸鋰晶片2，粘附于基盤3上，基盤3以真空吸盤4實(shí)現(xiàn)定位夾緊。

(4)所述鉭酸鋰晶片2的粘附方式，是以被加熱后呈熔融狀態(tài)的石蠟涂于基盤3表面，鉭酸鋰晶片2排除氣泡后均勻粘附在基盤3上，待石蠟?zāi)虒?shí)現(xiàn)粘附。

所述真空吸盤4材料包括多孔陶瓷。

所述鐵電材料為具有鐵電相的功能材料，典型材料包含鉭酸鋰，鈮酸鋰，鈦酸鋇，磷酸二氫鉀等。鐵電材料的形狀為晶片狀。

所述的砂輪端面非整體，陣列粘附一定厚度的砂輪牙塊，牙塊的幾何形狀包含心形和矩形等形狀。

鐵電材料粘附在基盤上，所述基盤材料包含鋁合金和玻璃基盤，基盤定位夾持方式包括以真空吸附于卡盤，所述的卡盤材料包括多孔陶瓷，所述粘附材料包含石蠟。

參照圖2，端面磨削的施加反向電場、反向熱場和化學(xué)場來中和抵消鐵電材料極化產(chǎn)生的內(nèi)電場。

在本公開內(nèi)容中，給出許多具體細(xì)節(jié)，以便徹底理解本實(shí)用新型的實(shí)施方案。但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將認(rèn)識到，本實(shí)用新型能在沒有一項(xiàng)或多項(xiàng)具體細(xì)節(jié)的前提下實(shí)施。在其他情況下，為避免模糊本實(shí)用新型的要點(diǎn)，未給出或闡明周知的細(xì)節(jié)。

而且，應(yīng)理解，雖然本實(shí)用新型的實(shí)施方案始終以鉭酸鋰為例進(jìn)行描述，但本實(shí)用新型不受此限制。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員能根據(jù)本實(shí)用新型的指導(dǎo)來進(jìn)行其他鐵電材料的表面加工。

以下列舉具體實(shí)例以進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型，應(yīng)理解，實(shí)例并非用于限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。