1.一種光學(xué)曲面加工用五軸二維超聲拋光機(jī)床,包括由機(jī)座(25)和垂直固定在機(jī)座上的床身(1)構(gòu)成的機(jī)架;由X向移動機(jī)構(gòu)、Y向移動機(jī)構(gòu)和Z向移動機(jī)構(gòu)組成的三維移動裝置;其特征在于,還包括旋轉(zhuǎn)式超聲振動拋光裝置;旋轉(zhuǎn)工作臺;拋光液超聲霧化施液裝置;工件在線檢測裝置;
所述Z向移動機(jī)構(gòu)安裝在所述床身上,X向移動機(jī)構(gòu)和Y向移動機(jī)構(gòu)對應(yīng)Z向移動機(jī)構(gòu)安裝在所述機(jī)座上;所述Z向移動機(jī)構(gòu)包括固定安裝在所述床身前壁上、前部帶有Z向?qū)к?4)的Z向?qū)к壸?3),可沿Z向?qū)к壸鯶向移動的Z向移動臺(33),驅(qū)動Z向移動臺做Z向移動的Z向移動絲杠(5)和驅(qū)動Z向移動絲杠轉(zhuǎn)動的Z向伺服電機(jī)(2);所述Y向移動機(jī)構(gòu)包括固定安裝在所述機(jī)座上、上部帶有Y向?qū)к?24)的Y向?qū)к壸?23),可沿Y向?qū)к壸鯵向移動的Y向移動臺(20),驅(qū)動Y向移動臺做Y向移動的Y向移動絲杠(22)和驅(qū)動Y向移動絲杠轉(zhuǎn)動的Y向伺服電機(jī)(21),Y向移動臺上有X向?qū)к?29);所述X向移動機(jī)構(gòu)包括可沿所述Y向移動臺面上的X向?qū)к?29)做X向移動的X向移動臺(30),驅(qū)動X向移動臺做X向移動的X向移動絲杠(28)和驅(qū)動X向移動絲杠轉(zhuǎn)動的X向伺服電機(jī)(27);
所述旋轉(zhuǎn)式超聲振動拋光裝置包括固定安裝在所述Z向移動臺(33)上的箱式殼體(7),在殼體的前部有立式旋轉(zhuǎn)臺(9),在箱式殼體的內(nèi)部安裝有驅(qū)動立式旋轉(zhuǎn)臺做立式旋轉(zhuǎn)的立式旋轉(zhuǎn)蝸輪蝸桿傳動機(jī)構(gòu)(8),在箱式殼體的上部有驅(qū)動立式旋轉(zhuǎn)蝸輪蝸桿傳動機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)(6),在立式旋轉(zhuǎn)臺上通過夾具(11)固定安裝有由換能器(10)、與換能器相接的變幅桿(12)和與變幅桿相接的拋光頭(13)組成的超聲振動拋光組件;
所述旋轉(zhuǎn)工作臺包括固定安裝在所述X向移動臺(30)上的機(jī)殼(19),在機(jī)殼的上部有放置被加工工件(16)的臥式旋轉(zhuǎn)臺(17),在機(jī)殼的內(nèi)部安裝有驅(qū)動臥式旋轉(zhuǎn)臺做臥式旋轉(zhuǎn)的臥式旋轉(zhuǎn)蝸輪蝸桿傳動機(jī)構(gòu)(18),在機(jī)殼的側(cè)部有驅(qū)動臥式旋轉(zhuǎn)蝸輪蝸桿傳動機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)(31);
所述拋光液超聲霧化施液裝置包括固定安裝在所述機(jī)座一側(cè)的五軸機(jī)械手(15),該五軸機(jī)械手的前端安裝有向工件拋光部位噴灑拋光液的超聲噴頭(14);
所述工件在線檢測裝置包括固定安裝在所述機(jī)座另一側(cè)的五軸機(jī)械手(26),該五軸機(jī)械手的前端安裝有檢測工件拋光面形精度的激光干涉測頭(32)。