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      一種位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置的制作方法

      文檔序號:12415662閱讀:470來源:國知局
      一種位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置的制作方法

      本發(fā)明屬于真空電弧離子鍍膜領域,具體涉及一種位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置。



      背景技術:

      在電弧離子鍍膜設備鍍膜過程中,通過引弧針尖觸碰靶材表面產(chǎn)生放電進行引弧。鍍膜過程中,引弧針位置與靶材表面距離過近,引弧針針尖溫度將不斷升高,持續(xù)燒蝕的電弧會使針尖部分熔斷,造成滅弧后鍍膜工作無法繼續(xù)進行;引弧針位置與靶材距離過遠,弧針針尖與靶面不能接觸,以致無法放電啟弧。隨著靶材的不斷消耗,每次鍍膜前引弧針的位置需要調(diào)整,使引弧過程中弧針針尖與靶面接觸放電,順利啟弧且不會熔斷弧針,由于靶材消耗程度難以度量,給每次整體拆卸引弧針,采取機械彎曲方法調(diào)整位置增加很大難度,浪費拆裝時間。為提高工作效率,需要一種便于連續(xù)調(diào)節(jié)弧針位置的引弧針固定裝置。



      技術實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術的缺陷,提供一種便于調(diào)節(jié)弧針位置的引弧針固定裝置,實現(xiàn)引弧針尖與電弧靶面距離的連續(xù)可調(diào),節(jié)省了采用機械方法彎曲引弧針來調(diào)整針尖到靶面距離的時間,提高了工作效率。

      本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案為:一種電弧離子鍍膜設備的引弧針固定裝置,包括一根定位桿和兩根輔助固定的螺紋套管,所述定位桿身一端與電弧陰極引弧氣缸的活塞相連,另一端旋入兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管,將引弧針柄部置于兩固定套管中間位置的通槽內(nèi),并將兩輔助套管擰緊,以固定引弧針。所述固定裝置中的各零件通過一系列的機械配合,將引弧針固定在電弧陰極引弧氣缸的活塞上,同時實現(xiàn)引弧針針尖到電弧靶面距離的連續(xù)調(diào)節(jié),保證電弧靶的正常啟弧。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述桿身與電弧陰極引弧氣缸活塞相連的一端開有螺紋孔,通過與氣缸活塞上外螺紋柱的螺旋配合,將桿身固定在引弧氣缸活塞上。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述桿身上銑有與桿件軸向方向平行的通槽,引弧針針柄插入通槽,引弧針可在通槽內(nèi)沿軸向移動,實現(xiàn)引弧針針尖與電弧靶面距離的連續(xù)調(diào)節(jié)。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述桿身開有通槽一端的桿段上攻有外螺紋,通過與輔助定位的螺紋套管的旋緊配合來固定引弧針的位置。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述桿身上沒有外螺紋的光桿直徑比有外螺紋桿段的直徑小一些,使內(nèi)螺紋套管的一部分可套在沒有外螺紋的光桿上,以保護桿身上的外螺紋。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管,其中一根為空心套管,與桿身上的螺紋配合先旋上桿身,另一根為半封閉套管,旋到定位桿的最外端,且套管封閉一端內(nèi)有退刀槽,兩根套桿的總長度略大于外螺紋桿身的總長度,保證在工作過程中桿身外螺紋上始終有套管的保護。

      進一步作為本發(fā)明技術方案的改進,所述兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管的一端均銑有一對相互平行的小平面,以便扳手卡緊實現(xiàn)對兩個螺紋套管的擰緊、拆卸。

      本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過定位桿上的外螺紋與兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管之間的螺旋配合,以固定柄部放置于定位桿通槽內(nèi)的引弧針,通過兩根螺紋套管之間的旋動可以連續(xù)調(diào)節(jié)引弧針針尖與電弧靶面之間的距離,并且兩根螺紋套管同時向彼此方向旋動可以夾緊引弧針,保證引弧針位置的固定。在多次鍍膜后,隨著靶材的消耗,可通過旋動兩根螺紋套管來調(diào)整引弧針的位置,即引弧針針尖與靶面的需保持一定范圍,太近易造成引弧針的熔斷,太遠無法進行放電啟弧。本發(fā)明省去了反復拆裝引弧針、采取機械方法彎曲引弧針來調(diào)整針尖與靶面距離的麻煩,大大節(jié)省了鍍膜的準備時間,提高了工作效率和引弧針的使用壽命。并且兩螺紋套管總長略大于定位桿上有外螺紋的桿段,防止由于外螺紋上沉積了涂層而破壞,延長了該裝置的使用壽命。

      本發(fā)明作為引弧針固定裝置可適用于各種電弧離子鍍膜設備上。

      附圖說明

      圖1是安裝新靶后,本發(fā)明中該裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖2是靶材發(fā)生一定損耗后,本發(fā)明中該裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實施方式

      下面通過實例對本發(fā)明作進一步詳細說明。

      實施例1

      參照圖1,一種位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置,包括一根定位桿和兩根輔助固定的螺紋套管,所述定位桿身一端與電弧陰極引弧氣缸的活塞相連,另一端旋入兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管,將引弧針柄部置于兩固定套管中間位置的通槽內(nèi)。旋轉(zhuǎn)兩根輔助固定的螺紋套管,可實現(xiàn)引弧針位置的連續(xù)調(diào)節(jié),使引弧針針尖與靶面的距離始終在一個合適的范圍內(nèi),確保引弧針正常引弧。同時引弧針借助兩根內(nèi)螺紋套管的相向旋緊來固定在定位桿上的通槽內(nèi)。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,參照圖1,當靶材10未消耗時,所述定位桿身1一端開有內(nèi)螺紋孔6,所述螺紋孔6 ,通過與電弧陰極引弧氣缸活塞上的外螺紋柱的旋緊配合,將桿身固定在氣缸活塞上。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,所述定位桿一端的桿段7上銑有與桿件軸線平行方向的通槽4,引弧針8的柄部插入通槽4,引弧針在通槽內(nèi)可沿軸向移動,實現(xiàn)弧針針尖與電弧靶面距離的連續(xù)調(diào)節(jié)。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,所述桿段7上攻有外螺紋,通過與兩根輔助定位的螺紋套管2、3的螺旋配合,使引弧針8的位置得到固定。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,所述桿身上沒有外螺紋桿段5的直徑比有外螺紋桿段7的直徑小一些,這樣做可以使內(nèi)螺紋套管2的一部分套在沒有外螺紋的光桿1上,避免外螺紋在鍍膜過程中因沉積上涂層而破壞。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,所述兩根輔助定位煩人內(nèi)螺紋套管2、3,其中一根為空心套管2,先旋上有外螺紋桿段7,另一根為半封閉螺紋套管3,同樣旋到桿段7上,與套管2配合將引弧針8固定到通槽4內(nèi),套管3上開有退刀槽方便加工,在桿段7最外端設計半封閉套管3可以對桿起到一定的保護作用,套管2、3的總長度應比外螺紋桿段7的總長度大,保證在工作過程中桿身外螺紋上始終有套管的保護,延長固定裝置的使用壽命。

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,所述兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管2、3的一端均銑有一對相互平行的小平面9、10和11、12,銑出這些平面便于使用扳手對兩根輔助固定的內(nèi)螺紋套管進行擰緊和拆卸。

      實施例2

      作為本發(fā)明優(yōu)選的實施方式,結(jié)合圖2,進一步闡述當靶材發(fā)生一些消耗時,所述位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置的工作過程。當靶材14消耗成如圖2所示情況時,為了保證引弧針8順利引弧,分別旋動兩根輔助定位的內(nèi)螺紋套管2、3,使引弧針8在桿段7上的通槽4內(nèi)移動,直到弧針針尖13與靶面的距離達到可正常啟弧的范圍。此時,空心螺紋套管2右端有一部分套在沒有外螺紋的光桿段5上,對螺紋起保護作用。整個過程方便快捷,省去了整體拆裝引弧針裝置的麻煩,大大節(jié)省了采用機械彎曲引弧針方法來調(diào)節(jié)針尖與靶面距離的時間,利用兩根內(nèi)螺紋套管的相向旋緊可使引弧針定位更加穩(wěn)固可靠。

      特別地,與本發(fā)明相配套的引弧針8須有一定的技術要求,所述引弧針8截面為圓形,整體結(jié)構(gòu)呈問號狀,可以使弧針與靶面平行的那段遠離靶表面,避免溫度過高造成弧針的軟化,也可以減少靶材蒸發(fā)出的材料在弧針上的沉積。所述弧針8的針尖13由一小段鉬絲做的,由于鉬熔點較高可以防止鍍膜過程中弧針的融化。所述弧針8的柄部15處應該銑出一段相互平行的平面,以確保兩根螺紋套管對弧針的夾固,使弧針固定更加牢靠。

      本發(fā)明創(chuàng)造并不局限于上述實施方式,熟悉本領域的技術人員在不違背本發(fā)明精神的前提下還可做出等同變形或替換,這些等同的變形或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。

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