本發(fā)明涉及掩膜技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種掩膜組件。

背景技術(shù)：

目前，用于蒸鍍工藝的蒸鍍罩主要是直接采用金屬絲網(wǎng)或是進(jìn)行金屬電鑄形成網(wǎng)版的方式。然而，上述方式均具有尺寸安定性的問(wèn)題，其根本的原因是由于金屬或絲網(wǎng)材料具有彈性，從而在蒸鍍過(guò)程中上述材料會(huì)隨使用時(shí)間及溫度產(chǎn)生一定的變形量或是彈性疲勞的現(xiàn)象，導(dǎo)致蒸鍍罩的壽命減少，或蒸鍍罩中鏤空?qǐng)D案的尺寸隨之產(chǎn)生對(duì)位差異，尤其是在大面積組件的生產(chǎn)制作上，微量的尺寸變化會(huì)導(dǎo)致整體面積的累積變化量超過(guò)設(shè)計(jì)誤差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的在于提供一種掩膜組件，以解決現(xiàn)有技術(shù)中蒸鍍罩的壽命較低且蒸鍍罩中鏤空?qǐng)D案的尺寸已發(fā)生變化的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種掩膜組件，包括：碳纖維材料層，具有第一鏤空區(qū)域；第一金屬層，設(shè)置于碳纖維材料層的至少一側(cè)表面，且第一金屬層具有與第一鏤空區(qū)域?qū)?yīng)的第二鏤空區(qū)域。

進(jìn)一步地，上述碳纖維材料層為碳纖維布或碳纖維膜。

進(jìn)一步地，上述掩膜組件還包括第二金屬層，第二金屬層設(shè)置于碳纖維材料層和第一金屬層對(duì)應(yīng)第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域的表面上。

進(jìn)一步地，上述第一金屬層和/或第二金屬層的熱膨脹系數(shù)為0～5ppm/℃。

進(jìn)一步地，上述第一金屬層和/或第二金屬層為磁性金屬層。

進(jìn)一步地，上述第一金屬層和/或第二金屬層為鐵鎳合金層。

進(jìn)一步地，在碳纖維材料層的延伸方向上，第二金屬層的厚度為0.5～30μm。

進(jìn)一步地，上述第一金屬層的厚度為5～50μm。

進(jìn)一步地，上述掩膜組件的厚度為30～150μm。

進(jìn)一步地，上述掩膜組件還包括與碳纖維材料層和/或第一金屬層連接的固定框。

應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，提供了一種包括碳纖維材料層和第一金屬層的掩膜組件，由于碳纖維材料層具有低膨脹和高強(qiáng)度的特性，從而在應(yīng)用上述掩膜組件時(shí)不僅降低了工藝中溫度變化對(duì)其可靠性的影響，還減少了上述溫度變化導(dǎo)致的掩膜組件中鏤空?qǐng)D案的尺寸變化；并且，通過(guò)上述第一金屬層能夠使掩膜組件具有平滑表面，從而避免了在蒸發(fā)、濺射或印刷等制備工藝時(shí)材料在掩膜組件表面的堆積，進(jìn)而省去了后續(xù)為去除上述堆積材料的刮除工序以及刮除工序帶來(lái)的損傷，使掩膜組件同時(shí)滿足了高強(qiáng)度和高精度的需求。

除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本發(fā)明還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本發(fā)明的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了本發(fā)明實(shí)施方式所提供的一種掩膜組件的剖面示意圖；以及

圖2示出了本發(fā)明實(shí)施方式所提供的一種具有第二金屬層的掩膜組件的剖面示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：

10、碳纖維材料層；20、第一金屬層；30、第二金屬層；40、固定框。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。

為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

需要說(shuō)明的是，本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)和權(quán)利要求書(shū)及上述附圖中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本發(fā)明的實(shí)施例。此外，術(shù)語(yǔ)“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過(guò)程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒(méi)有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過(guò)程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。

正如背景技術(shù)中所介紹的，現(xiàn)有技術(shù)中在蒸鍍過(guò)程中上述材料會(huì)隨使用時(shí)間及溫度產(chǎn)生一定的變形量或是彈性疲勞的現(xiàn)象，導(dǎo)致蒸鍍罩的壽命減少，或蒸鍍罩中鏤空?qǐng)D案的尺寸隨之產(chǎn)生對(duì)位差異。本申請(qǐng)的發(fā)明人針對(duì)上述問(wèn)題進(jìn)行研究，提出了一種掩膜組件，如圖1和2所示，包括碳纖維材料層10和第一金屬層20，其中，碳纖維材料層10具有第一鏤空區(qū)域，第一金屬層20設(shè)置于碳纖維材料層10的至少一側(cè)表面，且第一金屬層20具有與第一鏤空區(qū)域?qū)?yīng)的第二鏤空區(qū)域。

本發(fā)明的上述掩膜組件中由于碳纖維材料層具有低膨脹和高強(qiáng)度的特性，從而在應(yīng)用上述掩膜組件時(shí)不僅降低了工藝中溫度變化對(duì)其可靠性的影響，還減少了上述溫度變化導(dǎo)致的掩膜組件中鏤空?qǐng)D案的尺寸變化；并且，通過(guò)上述第一金屬層能夠使掩膜組件具有平滑表面，從而避免了在蒸發(fā)、濺射或印刷等制備工藝時(shí)材料在掩膜組件表面的堆積，進(jìn)而省去了后續(xù)為去除上述堆積材料的刮除工序以及刮除工序帶來(lái)的損傷，使掩膜組件同時(shí)滿足了高強(qiáng)度和高精度的需求。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，上述第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域用于使蒸發(fā)、濺射或印刷等制備工藝中部分材料能夠通過(guò)，而剩余的部分材料被掩膜組件阻擋，從而在預(yù)沉積表面形成所需的圖案。

為了使碳纖維材料層10能夠具有較高的熱膨脹系數(shù)和拉伸強(qiáng)度，優(yōu)選地，上述碳纖維材料層10為碳纖維布或碳纖維膜。碳纖維布的熱膨脹系數(shù)通常為-0.40～0ppm/℃，拉伸強(qiáng)度通常為3～5GPa，從而采用上述的優(yōu)選種類能夠使碳纖維材料層10在蒸鍍等需要加熱的過(guò)程中不會(huì)隨溫度而發(fā)生變形或是產(chǎn)生彈性疲勞的現(xiàn)象，進(jìn)而提高了掩膜組件的壽命。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，優(yōu)選地，第一金屬層20的熱膨脹系數(shù)為0～5ppm/℃。將熱膨脹系數(shù)限定在上述優(yōu)選的參數(shù)范圍內(nèi)，能夠保證第一金屬層20在蒸鍍等需要加熱的過(guò)程中不會(huì)隨溫度而發(fā)生變形或是產(chǎn)生彈性疲勞的現(xiàn)象，從而進(jìn)一步提高了掩膜組件的壽命。

在上述優(yōu)選的實(shí)施方式中，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求從現(xiàn)有技術(shù)中選取熱膨脹系數(shù)滿足0～5ppm/℃的第一金屬層20，為了對(duì)整體蒸鍍罩的夾持及使用時(shí)對(duì)位控制的方便性，優(yōu)選地，上述第一金屬層20為磁性金屬層；更為優(yōu)選地，上述第一金屬層20為鐵鎳合金層。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，第一金屬層20的厚度優(yōu)選為5～50μm。將第一金屬層20的厚度限定在上述優(yōu)選的參數(shù)范圍，能夠在保證第一金屬層20的平滑性的同時(shí)降低掩膜組件的厚度，從而也降低了第一金屬層20的厚度太大對(duì)掩膜組件性能的影響。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，為了保證掩膜組件的機(jī)械性能，掩膜組件的厚度優(yōu)選為30～150μm。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)上述掩膜組件的厚度以及上述第一金屬層20的厚度對(duì)碳纖維材料層的厚度進(jìn)行選取。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，優(yōu)選地，掩膜組件還包括第二金屬層30，第二金屬層30設(shè)置于碳纖維材料層10和第一金屬層20對(duì)應(yīng)第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域的表面上，如圖2所示。由于上述碳纖維材料層10中的第一鏤空區(qū)域以及第一金屬層20中的第二鏤空區(qū)域通常是通過(guò)激光工藝形成的，從而容易導(dǎo)致上述第一鏤空區(qū)域和上述第二鏤空區(qū)域具有凹凸不平的表面，因此通過(guò)設(shè)置上述第二金屬層30能夠使第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域具有平滑表面，從而有效地避免了在蒸發(fā)、沉積或印刷等制備工藝時(shí)材料堆積而導(dǎo)致的鏤空?qǐng)D案變形，進(jìn)而無(wú)需再通過(guò)對(duì)上述第一鏤空區(qū)域和上述第二鏤空區(qū)域進(jìn)行刀刮等表面處理，避免了刀刮等工藝帶來(lái)的損傷。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，為了在保證第二金屬層30的平滑性的同時(shí)降低第二金屬層30對(duì)掩膜組件中鏤空?qǐng)D案的尺寸的影響，優(yōu)選地，上述第二金屬層30的厚度為0.5～30um，更優(yōu)選地為0.5～10um；更為優(yōu)選地，上述第二金屬層30的熱膨脹系數(shù)為0～5ppm/℃。將熱膨脹系數(shù)限定在上述優(yōu)選的參數(shù)范圍內(nèi)，能夠保證第二金屬層30在蒸鍍等需要加熱的過(guò)程中不會(huì)隨溫度而發(fā)生變形或是產(chǎn)生彈性疲勞的現(xiàn)象，從而提高了掩膜組件的壽命。

本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)對(duì)上述第二金屬層30的種類進(jìn)行合理選取，以使第二金屬層30的滿足熱膨脹系數(shù)為0～5ppm/℃的需求，第二金屬層30的材料可以與第一金屬層20的材料相同，此時(shí)，上述第二金屬層30優(yōu)選為磁性金屬層；更為優(yōu)選為鐵鎳合金層，從而提高了對(duì)整體蒸鍍罩的夾持及使用時(shí)對(duì)位控制的方便性，但也不局限于上述優(yōu)選的種類，即第二金屬層30的材料也可以與第一金屬層20的材料不同。

在本發(fā)明的上述掩膜組件中，優(yōu)選地，掩膜組件還包括與碳纖維材料層10和/或第一金屬層20連接的固定框40。上述固定框40能夠起到對(duì)掩膜組件的固定作用，以防止劇烈運(yùn)動(dòng)而導(dǎo)致的掩膜組件的變形。

下面將結(jié)合實(shí)施例和對(duì)比例進(jìn)一步說(shuō)明本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀そM件。

實(shí)施例1

本實(shí)施例提供的掩膜組件如圖1所示，包括碳纖維材料層和設(shè)置于碳纖維材料層的兩側(cè)表面的第一金屬層，其中，碳纖維材料層具有第一鏤空區(qū)域，且碳纖維材料層為碳纖維布(型號(hào)為CFS-II-200)，第一金屬層具有與第一鏤空區(qū)域?qū)?yīng)的第二鏤空區(qū)域，厚度為4μm，且第一金屬層為鎳層，掩膜組件的厚度為120μm。

實(shí)施例2

本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于：

第一金屬層為鐵鉑(FePt₅₃)合金層。

實(shí)施例3

本實(shí)施例與實(shí)施例2的區(qū)別在于：

第一金屬層為鐵鎳合金層。

實(shí)施例4

本實(shí)施例與實(shí)施例3的區(qū)別在于：

第一金屬層的厚度為5μm，掩膜組件的厚度為30μm。

實(shí)施例5

本實(shí)施例與實(shí)施例4的區(qū)別在于：

第一金屬層的厚度為50μm，掩膜組件的厚度為150μm。

實(shí)施例6

本實(shí)施例與實(shí)施例5的區(qū)別在于：

本實(shí)施例提供的掩膜組件如圖2所示，還包括設(shè)置于碳纖維材料層和第一金屬層對(duì)應(yīng)第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域的表面上的第二金屬層，第二金屬層為鎳層，且厚度為0.5μm。

實(shí)施例7

本實(shí)施例與實(shí)施例6的區(qū)別在于：

第二金屬層為鐵鉑(FePt₅₃)合金層。

實(shí)施例8

本實(shí)施例與實(shí)施例7的區(qū)別在于：

第二金屬層為鐵鎳合金層。

實(shí)施例9

本實(shí)施例與實(shí)施例8的區(qū)別在于：

第二金屬層的厚度為30μm。

實(shí)施例10

本實(shí)施例與實(shí)施例9的區(qū)別在于：

第一金屬層的厚度為8μm，第二金屬層的厚度為8μm。

對(duì)比例1

本對(duì)比例提供的掩膜組件包括鎳金屬網(wǎng)，厚度為30μm，開(kāi)孔大小pitch＝50μm，四周通過(guò)膠粘粘固定于鋁合金框架上。

對(duì)上述實(shí)施例1至10和對(duì)比例1中掩膜組件的可靠性進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法為加熱至150°維持10分鐘后再回溫至室溫，如此反復(fù)100次后重新與玻璃上的對(duì)位標(biāo)記對(duì)位，并量測(cè)對(duì)位標(biāo)記第一點(diǎn)與最后一點(diǎn)的位置偏差，測(cè)試結(jié)果如下：

從上述測(cè)試結(jié)果可以看出，本申請(qǐng)實(shí)施例1至10中的掩膜組件相比于對(duì)比例1，對(duì)位標(biāo)記的位置偏差較小，從而掩膜組件的尺寸變化也較小，進(jìn)而相比于對(duì)比例1中的掩膜組件減少了溫度變化而導(dǎo)致的掩膜組件中鏤空?qǐng)D案的尺寸變化。

從以上的描述中，可以看出，本發(fā)明上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果：

1、應(yīng)用上述掩膜組件時(shí)不僅降低了工藝中溫度變化對(duì)其可靠性的影響，還減少了上述溫度變化導(dǎo)致的掩膜組件中鏤空?qǐng)D案的尺寸變化；

2、通過(guò)上述第一金屬層能夠使掩膜組件具有平滑表面，從而避免了在蒸發(fā)、濺射或印刷等制備工藝時(shí)材料在掩膜組件表面的堆積，進(jìn)而省去了后續(xù)為去除上述堆積材料的刮除工序以及刮除工序帶來(lái)的損傷，使掩膜組件同時(shí)滿足了高強(qiáng)度和高精度的需求。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。