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      沉積裝置及利用其的發(fā)光顯示裝置的制造方法與流程

      文檔序號:11230299閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      提供了沉積裝置和利用該沉積裝置的發(fā)光顯示裝置的制造方法。作為示例,沉積裝置包括:坩堝,配置成沿著第一方向延伸,并且其上部具有開口部以將沉積物質(zhì)容納在其內(nèi)部空間中;加熱部件,布置于坩堝的側(cè)部并對坩堝進行加熱;蓋,覆蓋坩堝的開口部;以及多個噴嘴,從蓋朝著上方突出并且在蓋上沿著第一方向布置,其中,多個噴嘴分別具有一對槽,一對槽從上端沿著側(cè)壁以一定深度形成,并且一對槽布置成彼此相對。

      技術(shù)研發(fā)人員:鄭興鐵;金東昱;鄭成鎬
      受保護的技術(shù)使用者:三星顯示有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2017.02.28
      技術(shù)公布日:2017.09.12
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