技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多層薄膜制備及結(jié)合性能評價方法，由H13基體經(jīng)過非平衡離子濺射鍍膜工藝分別沉積Cr結(jié)合層、CrN過渡層和CrMoAlN功能層制得Cr?CrN?CrMoAlN多層薄膜；設(shè)置Cr靶電流4A，Al靶電流6A，Mo靶電流設(shè)定在0~6A，偏壓?75V，Cr結(jié)合層沉積360s，CrN過渡層沉積600s，CrMoAlN功能層沉積3600s；經(jīng)過多功能劃痕儀進(jìn)行劃痕實驗；光共聚焦掃描顯微鏡獲得薄膜表面劃痕形貌評估其結(jié)合性能。所制備的多層薄膜呈梯度結(jié)構(gòu)，Cr層打底提高薄膜的結(jié)合性；CrN作為過渡層加強(qiáng)薄膜的承載力；CrMoAlN作為功能層能夠提高薄膜的耐高溫及耐摩擦性能。同時本發(fā)明采用劃痕法表征由于Mo含量不同導(dǎo)致薄膜的結(jié)合性能上的差別。

技術(shù)研發(fā)人員：樓白楊;潘健
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201710160656
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.17
技術(shù)公布日：2017.06.13