技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種可將研磨負(fù)荷維持在適當(dāng)范圍內(nèi)的研磨裝置。研磨裝置具備：用于將研磨器具(7)按壓于基板(W)的按壓構(gòu)件(11)；朝向基板保持部(1)上的基板(W)的規(guī)定的方向?qū)Π磯簶?gòu)件(11)施力的致動(dòng)器(25)；可與按壓構(gòu)件(11)一體地移動(dòng)的定位構(gòu)件(31)；限制按壓構(gòu)件(11)及定位構(gòu)件(31)的移動(dòng)的止動(dòng)件(35)；使止動(dòng)件(35)向規(guī)定的方向移動(dòng)的止動(dòng)件移動(dòng)機(jī)構(gòu)(37)；獲得負(fù)荷反饋值的研磨負(fù)荷檢測(cè)部(40、41)，該負(fù)荷反饋值根據(jù)被施加于按壓構(gòu)件(11)的研磨負(fù)荷而改變；以及決定止動(dòng)件(35)的移動(dòng)速度的止動(dòng)件速度決定部(43)，該止動(dòng)件(35)可使負(fù)荷反饋值在設(shè)定范圍內(nèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：柏木誠(chéng);山下道義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社荏原制作所
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.06
技術(shù)公布日：2017.10.20