技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出一種鑲嵌式結(jié)構(gòu)的鎢?金剛石透射靶材及其制備方法。該鎢?金剛石透射靶材利用氦離子顯微鏡，尤其是利用氦離子顯微鏡超高精度的多功能的加工能力，首先在幾百微米厚度的金剛石片上進(jìn)行打孔，孔的直徑為幾個(gè)微米，深度為幾個(gè)微米，然后在這些小孔里面進(jìn)行鎢的沉積，從而制備出散熱性、高質(zhì)量的鑲嵌式結(jié)構(gòu)的鎢?金剛石透射靶材。該靶材在真空條件下一次性成型，不易受污染，并具有X射線出射率大、散熱性好、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。該制備方法具有精度高、易控制、工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：馬玉田;劉俊標(biāo);韓立
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院電工研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.05
技術(shù)公布日：2017.10.03