本發(fā)明涉及一種阻蒸器用阻蒸臺(tái)，具體是指一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺(tái)。

背景技術(shù)：

阻蒸鍍膜一般是通過(guò)加熱靶材使其表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且使靶材的原子團(tuán)或離子沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。阻蒸臺(tái)是阻蒸器中用于對(duì)靶材加熱的組件，目前多采用的阻蒸臺(tái)為一位式阻蒸臺(tái)，這種阻蒸臺(tái)只能對(duì)一種靶材進(jìn)行加熱，對(duì)不同的靶材進(jìn)行加熱時(shí)，則需要對(duì)蒸發(fā)舟進(jìn)行清理后重新放置需加熱的靶材，而不能連續(xù)的對(duì)不同的靶材進(jìn)行加熱，很大程度上降低了阻蒸器的工作效率。

因此，提高一種既能同時(shí)放置多種靶材，又能連續(xù)的對(duì)不同的靶材進(jìn)行加熱的阻蒸臺(tái)便是當(dāng)務(wù)之急。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有的阻蒸臺(tái)不能同時(shí)放置多種靶材，因此不能連續(xù)的對(duì)不同的靶材進(jìn)行加熱的缺陷，提供一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺(tái)。

本發(fā)明的目的通過(guò)下述技術(shù)方案現(xiàn)實(shí)：一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺(tái)，主要由電極盤(pán)，設(shè)置在電極盤(pán)上并與電極盤(pán)電連接的蒸發(fā)舟，與蒸發(fā)舟一一對(duì)應(yīng)設(shè)置并與蒸發(fā)舟電連接的從電極耳組成；所述從電極耳上還設(shè)置有與電極盤(pán)相連接的彈性組件；所述電極盤(pán)上設(shè)有多個(gè)蒸發(fā)舟。

所述電極盤(pán)上設(shè)有加強(qiáng)筋。

所述彈性組件包括與從電極耳相連接的絕緣墊，設(shè)置在絕緣墊上的安裝板，以及一端與安裝板相連接、以及一端與安裝板相連接、另一端分別與加強(qiáng)筋和電極盤(pán)相連接的彈性件。

所述電極盤(pán)上設(shè)有與蒸發(fā)舟一一配合的安裝槽，所述蒸發(fā)舟的一端通過(guò)電極壓塊連接在電極盤(pán)上、其另一端通過(guò)從電極壓塊連接在從電極耳上。

所述電極盤(pán)上分別設(shè)置有電極壓塊安裝孔、加強(qiáng)筋安裝孔和彈性件安裝孔，所述加強(qiáng)筋安裝孔上設(shè)有與電極盤(pán)上的彈性件安裝孔相對(duì)應(yīng)的通孔。

所述電極盤(pán)為鋼盤(pán)。

所述彈性件為彈簧鋼片。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：

(1)本發(fā)明的電極盤(pán)上設(shè)有多個(gè)蒸發(fā)舟，因此，本發(fā)明能同時(shí)放置多種靶材，并通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)電極盤(pán)能對(duì)不同的靶材進(jìn)行加熱，本發(fā)明很好的解決了一位式阻蒸盤(pán)不能同時(shí)放置多種靶材，并且不能連續(xù)的對(duì)不同靶材進(jìn)行加熱的問(wèn)題，從而提高了阻蒸器的工作效率，有效的減小了操作者的工作量。

(2)本發(fā)明在從電極耳與阻蒸盤(pán)之間設(shè)置了彈性組件，該彈性組件能使從電極耳快速的復(fù)位，防止了蒸發(fā)舟在受熱后出現(xiàn)變形或斷裂，從而有效的提高了蒸發(fā)舟的使用壽命。

(3)本發(fā)明的具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理和生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的俯視圖。

圖2為本發(fā)明的剖視圖。

圖3為本發(fā)明的電極盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖。

上述附圖中，附圖標(biāo)記對(duì)應(yīng)的部件名稱如下：

1—電極盤(pán)，2—絕緣墊，3—從電極耳，4—安裝板，5—從電極壓塊，6—電極壓塊，7—蒸發(fā)舟，8—彈性件，9—加強(qiáng)筋，101—安裝槽，102—電極壓塊安裝孔，103—安裝凹槽，104—彈性件安裝孔，105—加強(qiáng)筋安裝孔，106—槽孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不限于此。

實(shí)施例

如圖1～3所示，本發(fā)明公開(kāi)了一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺(tái)，主要由電極盤(pán)1，設(shè)置在電極盤(pán)1上并與電極盤(pán)1電連接的蒸發(fā)舟7，與蒸發(fā)舟7一一對(duì)應(yīng)設(shè)置并與蒸發(fā)舟7電連接的從電極耳3組成。其中，所述電極盤(pán)1如圖1所示，本發(fā)明在電極盤(pán)1上設(shè)有六個(gè)蒸發(fā)舟7。同時(shí)，如圖1、2所示，在所述的從電極耳3與電極盤(pán)1之間設(shè)有彈性組件，該彈性組件如圖1所示，其包括絕緣墊2，安裝板4，以及彈性件8。

實(shí)施時(shí)，本發(fā)明所述的電極盤(pán)1優(yōu)先采用了耐高溫、導(dǎo)電性能強(qiáng)的鋼盤(pán)來(lái)實(shí)現(xiàn)，本發(fā)明將電極盤(pán)1設(shè)置為圓形，如圖1～3所示，在電極盤(pán)1上設(shè)置了與蒸發(fā)舟7一一配合的安裝槽101，該安裝槽101的數(shù)量可根據(jù)蒸發(fā)舟7的數(shù)量進(jìn)行調(diào)整。電極盤(pán)1上還設(shè)置了多個(gè)電極壓塊安裝孔102、彈性件安裝孔104和加強(qiáng)筋安裝孔105。該電極盤(pán)1上還設(shè)置有用于安裝電極輸入桿的安裝凹槽103，在該安裝凹槽103的底部設(shè)有用于安裝固定螺釘?shù)牟劭?06，該槽孔106用于安裝對(duì)電極輸入桿進(jìn)行固定的螺釘。所述的蒸發(fā)舟7優(yōu)先采用了耐高溫的鎢舟，該蒸發(fā)舟7安裝在電極盤(pán)1的安裝槽101內(nèi)，蒸發(fā)舟7的一端通過(guò)電極壓塊6連接在電極盤(pán)1上，其而另一端則通過(guò)從電極壓塊5連接在與電極盤(pán)1相配合的從電極耳3上，電極壓塊6通過(guò)與電極盤(pán)1上的電極壓塊安裝孔102相配合的螺釘固定在電極盤(pán)1上，從電極壓塊5同樣通過(guò)螺釘固定在從電極耳3上，這樣便于蒸發(fā)舟7的安裝或更換。

所述電極盤(pán)1長(zhǎng)期在高溫下工作其硬度容易降低，為了防止電極盤(pán)1的硬度降低后使整個(gè)阻蒸臺(tái)出現(xiàn)變形的問(wèn)題，本發(fā)明在電極盤(pán)1的底部設(shè)置了多條加強(qiáng)筋9，該加強(qiáng)筋9通過(guò)與電極盤(pán)1的加強(qiáng)筋安裝孔105螺紋相連接的螺釘固定在電極盤(pán)1上。所述加強(qiáng)筋9本發(fā)明優(yōu)先設(shè)置為六條，該六條連接在一起，加強(qiáng)筋9的數(shù)量可根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整，該加強(qiáng)筋9上設(shè)置了與電極盤(pán)1的安裝槽103相配合使用的穿心孔，并且該加強(qiáng)筋9上還設(shè)有與電極盤(pán)1上的彈性件安裝孔104相對(duì)應(yīng)的通孔。外部的電極輸入桿則貫穿加強(qiáng)筋9上的通孔后安裝在電極盤(pán)1的安裝槽103上，并通過(guò)螺釘貫穿安裝槽103上的槽孔106后將外部的電極輸入桿固定在安裝槽103內(nèi)。

所述從電極耳3與從電極外部引入裝置中的夾緊件相連接，而從電極外部引入裝置的夾緊件在夾緊從電極耳3時(shí)會(huì)使從電極耳3的位置發(fā)生變化，如果夾緊件張開(kāi)時(shí)從電極耳3不能及時(shí)復(fù)位，與從電極耳3相連接的蒸發(fā)舟7便容易出現(xiàn)變形或斷裂。本發(fā)明為了防止蒸發(fā)舟7變形或斷裂，在從電極耳3與電極盤(pán)1之間設(shè)置了彈性組件。該彈性組件能在從電極外部引入裝置中的夾緊件張開(kāi)時(shí)，使從電極耳3快速的復(fù)位，從而有效的防止了蒸發(fā)舟7出現(xiàn)變形或斷裂。

所述彈性組件如圖1、2所示，其包括絕緣墊2，安裝板4，以及彈性件8。其中，所述的絕緣墊2優(yōu)先采用了陶瓷材料制成的絕緣墊，該絕緣墊2通過(guò)螺釘固定設(shè)置在從電極耳3的底部，安裝板4則通過(guò)螺釘固定設(shè)置在絕緣墊2上。安裝板4本發(fā)明采用了金屬材料制成的安裝板，該安裝板4則用于安裝彈性件8，彈性件8通過(guò)螺釘安裝在安裝板4上，且該彈性件8的一端通過(guò)螺釘安裝在安裝板4上，而另一端通過(guò)貫穿強(qiáng)筋9上的通孔后與電極盤(pán)1上的彈性件安裝孔104螺紋連接的螺釘固定設(shè)置在加強(qiáng)筋9上。所述彈性件8本發(fā)明優(yōu)先采用了具有較強(qiáng)的彈性的彈簧鋼片制成，所述從電極耳3可延電極盤(pán)1與彈性件8的連接端上下擺動(dòng)。該彈性件8能在從電極外部引入裝置的夾緊件張開(kāi)時(shí)，通過(guò)彈性件8所具有的彈性使與從電極耳3相連接的蒸發(fā)舟7快速的復(fù)位，從而防止了蒸發(fā)舟7在受熱后出現(xiàn)變形，并且有效的提高了蒸發(fā)舟7的使用壽命。

本發(fā)明具體實(shí)施時(shí)，將外部輸入電極桿貫穿加強(qiáng)筋9上的通孔后安裝在電極盤(pán)1的安裝槽103上，將不同的靶材分別放置在多位阻蒸器上的六個(gè)蒸發(fā)舟7內(nèi)，并將從電極耳3連接在從電極外部引入裝置的夾緊件上，開(kāi)啟電源，蒸發(fā)舟7得電，蒸發(fā)舟7開(kāi)始對(duì)靶材進(jìn)行加熱；當(dāng)蒸發(fā)器停止工作時(shí)，彈性組件則能快速的使從電極耳3復(fù)位，即彈性組件能快速的使蒸發(fā)舟7快速的復(fù)位，從而很好的防止了蒸發(fā)舟7受熱后變形。

當(dāng)人們需對(duì)多位阻蒸臺(tái)上的其它位置的蒸發(fā)舟7內(nèi)的靶材進(jìn)行加熱時(shí)，只需轉(zhuǎn)動(dòng)電極盤(pán)1，使與所需加熱的蒸發(fā)舟7相對(duì)應(yīng)的從電極耳3連接在從電極外部引入裝置的夾緊件上，便能實(shí)現(xiàn)對(duì)需蒸發(fā)的靶材進(jìn)行蒸發(fā)，不需要關(guān)閉阻蒸器后重新放置所需的靶材。從而使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)不同靶材連續(xù)加熱的優(yōu)點(diǎn)，很好的解決了現(xiàn)有的一位式阻蒸盤(pán)不能同時(shí)放置多種靶材，和不能連續(xù)的對(duì)不同靶材進(jìn)行加熱的問(wèn)題，有效的減小了操作者的工作量，很好的提高了阻蒸器的工作效率。

如上所述，便可很好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。