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      一種光纜及其制備方法與流程

      文檔序號(hào):12030455閱讀:497來(lái)源:國(guó)知局
      一種光纜及其制備方法與流程

      本發(fā)明屬于薄膜材料沉積制備領(lǐng)域,特別涉及一種光纜及其制備方法。



      背景技術(shù):

      b、c、n三種元素可形成很多種共價(jià)鍵材料,包括單質(zhì)和化合物。如金剛石、類金剛石碳膜(dlc)、立方氮化硼(c-bn)、碳氮材料(cxn)以及碳化硼(b4c)等,這些物質(zhì)均有優(yōu)異的物理和化學(xué)特性,一直是近幾年材料學(xué)研究的熱點(diǎn)?;趯?duì)bcn系單質(zhì)和二元材料的廣泛研究,新型的bcn三元材料引起了人們廣泛關(guān)注。鑒于石墨和氮化硼具有的以上特點(diǎn),人們嘗試著合成一種新的三元化合物bcn,希望這種材料能夠具有介于c和bn之間可調(diào)的性能,綜合二者的優(yōu)點(diǎn)。希望其導(dǎo)電性介于石墨與h-bn之間,為半導(dǎo)體或半金屬,通過(guò)改變薄膜的組分,該化合物的禁帶寬度具有可調(diào)性;希望其夾雜性質(zhì)介于石墨和h-bn之間可調(diào);希望其機(jī)械性能介于金剛石和c-bn之間,既具有金剛石的高硬度、高耐磨性,又具有c-bn的優(yōu)異的高溫性能及良好的化學(xué)惰性,而且可以降低薄膜的內(nèi)應(yīng)力。由此可見(jiàn),無(wú)論作為功能涂層還是硬質(zhì)涂層,bcn材料對(duì)研究者都具有很大的吸引力。于是bcn材料作為一種具有可調(diào)的綜合優(yōu)良性能的新型材料成為材料學(xué)的研究熱點(diǎn),并被寄希望應(yīng)用于許多領(lǐng)域。

      傳統(tǒng)的pvc護(hù)套雖具有耐延燃性,但其防潮性能較差,不宜用于室外。據(jù)報(bào)道,國(guó)外已開(kāi)發(fā)了室內(nèi)室外兼用的引入光纜或下桿光纜,它們既能耐室外低溫和紫外線輻射、又能阻燃和便于彎曲布線。這種光纜采用pvc緊套光纖、吸水膨脹粉干式阻水和低煙無(wú)鹵阻燃護(hù)套。國(guó)內(nèi)的研究目前仍然處于落后的狀態(tài)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種光纜及其制備方法。本發(fā)明采用磁控濺射設(shè)備在光纜表面上低溫沉積bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,該bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜具有耐酸堿,抗腐蝕,很大程度減輕了之前傳統(tǒng)光纜保護(hù)套的重量,使其搬運(yùn)方便,而且具有光纜保護(hù)層的作用。

      本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:

      一種光纜,所述光纜上由內(nèi)向外依次沉積mgo保護(hù)薄膜和bcn保護(hù)薄膜,得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜,mgo保護(hù)薄膜的厚度100nm~200nm,bcn保護(hù)薄膜的厚度200nm~400nm。

      進(jìn)一步,所述bcn保護(hù)薄膜的b、c、n摩爾濃度比為1~3:2~5:10~20。

      一種光纜的制備方法,該方法包括如下的步驟:

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜:取步驟1)中的光纜表面沉積制備mgo保護(hù)薄膜,在mgo護(hù)薄膜材料的基礎(chǔ)上繼續(xù)沉積制備bcn保護(hù)薄膜,最終得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      進(jìn)一步,所述制備mgo保護(hù)薄膜,采用磁控濺射設(shè)備在光纜表面沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,通入高純度氧氣,抽真空到10-3pa~10-4pa之間,氧氣流量為80~120sccm,氬氣流量為40~60sccm,氧氣與氬氣流量為2:1~3:1,濺射時(shí)間55~65min,溫度50~55℃;得到mgo保護(hù)薄膜。

      進(jìn)一步,所述制備bcn保護(hù)薄膜,在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空到10-3pa~10-4pa之間,以高純b為濺射靶材,其氮?dú)饬髁繛?0sccm~300sccm,其甲烷氣體流量為20sccm~100sccm,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:3~1:9,噴涂時(shí)間10min~60min,噴涂溫度為30~50℃,得到bcn保護(hù)薄膜材料。

      進(jìn)一步,所述mgo保護(hù)薄膜的厚度為100nm~200nm,bcn保護(hù)薄膜的厚度為200nm~400nm。

      進(jìn)一步,所述bcn保護(hù)薄膜的b、c、n摩爾濃度比為1~3:2~5:10~20。

      本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,有益效果在于:

      本發(fā)明采用磁控濺射設(shè)備在光纜表面上低溫沉積bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,利用可精確控制的低溫沉積的濺射技術(shù),在光纜上沉積制備出高質(zhì)量的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜;該bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜具有耐酸堿,抗腐蝕,很大程度減輕了傳統(tǒng)光纜保護(hù)套的重量,使其搬運(yùn)方便,而且具有光纜保護(hù)層的作用;對(duì)基于耐火性能優(yōu)異以及抗腐蝕性能優(yōu)異的光纜等產(chǎn)業(yè)化有很大的研究意義。

      附圖說(shuō)明

      圖1為實(shí)施例1的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜原子力分析的表面形貌。

      圖2為本發(fā)明方法得到的實(shí)施例1、2、5的bcn薄膜紅外光譜。

      具體實(shí)施方式

      一種光纜,所述光纜上由內(nèi)向外依次沉積mgo保護(hù)薄膜和bcn保護(hù)薄膜,得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜,mgo保護(hù)薄膜的厚度100nm~200nm,bcn保護(hù)薄膜的厚度200nm~400nm。所述bcn保護(hù)薄膜的b、c、n摩爾濃度比為1~3:2~5:10~20。

      下面結(jié)合具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

      實(shí)施例1

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,首先沉積制備mgo保護(hù)薄膜;采用磁控濺射設(shè)備沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,高純mgo靶材純度為99.99%,通入高純度氧氣,抽真空到10-4pa,氧氣流量為120sccm,氬氣流量為40sccm,氧氣的純度為99.99%,氬氣的純度為99.99%,氧氣與氬氣流量為3:1,氧氣與氬氣流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,濺射時(shí)間60min,溫度50℃;得到mgo保護(hù)薄膜;mgo保護(hù)薄膜的厚度為100nm;

      在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空10-4pa,以高純b為濺射靶材,高純b濺射靶材純度為99.99%,其氮?dú)饬髁繛?0sccm,氮?dú)獾募兌葹?9.99%,其甲烷氣體流量為20sccm,甲烷氣體的純度為99.99%,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:4,氮?dú)馀c甲烷氣體流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,噴涂時(shí)間30min,噴涂溫度為40℃,得到bcn保護(hù)薄膜;bcn保護(hù)薄膜的厚度為200nm;

      得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      實(shí)驗(yàn)結(jié)束后采用型號(hào)為picoscan2500原子力顯微鏡(afm)測(cè)試設(shè)備對(duì)實(shí)施例1的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜樣品進(jìn)行了測(cè)試分析;其結(jié)果圖1所示,反應(yīng)制備的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜表面很平整,沒(méi)有明顯的缺陷,晶粒和晶界分界清晰,測(cè)試其表面均方根平整度在納米級(jí)別;實(shí)驗(yàn)結(jié)果說(shuō)明制備的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜樣品表面形貌很優(yōu)異。

      實(shí)施例2

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,首先沉積制備mgo保護(hù)薄膜;采用磁控濺射設(shè)備沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,高純mgo靶材純度為99.99%,通入高純度氧氣,抽真空到10-3pa,氧氣流量為80sccm,氬氣流量為40sccm,氧氣的純度為99.99%,氬氣的純度為99.99%,氧氣與氬氣流量為2:1,氧氣與氬氣流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,濺射時(shí)間55min,溫度55℃;得到mgo保護(hù)薄膜;mgo保護(hù)薄膜的厚度為120nm;

      在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空10-3pa,以高純b為濺射靶材,高純b濺射靶材純度為99.99%,其氮?dú)饬髁繛?20sccm,氮?dú)獾募兌葹?9.99%,其甲烷氣體流量為40sccm,甲烷氣體的純度為99.99%,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:3,氮?dú)馀c甲烷氣體流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,噴涂時(shí)間10min,噴涂溫度為30℃,得到bcn保護(hù)薄膜;bcn保護(hù)薄膜的厚度為200nm;

      得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      實(shí)施例3

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,首先沉積制備mgo保護(hù)薄膜;采用磁控濺射設(shè)備沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,高純mgo靶材純度為99.99%,通入高純度氧氣,抽真空到10-3pa,氧氣流量為120sccm,氬氣流量為60sccm,氧氣的純度為99.99%,氬氣的純度為99.99%,氧氣與氬氣流量為2:1,氧氣與氬氣流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,濺射時(shí)間55min,溫度50℃;得到mgo保護(hù)薄膜材料;mgo保護(hù)薄膜的厚度為150nm;

      在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空10-3pa,以高純b為濺射靶材,高純b濺射靶材純度為99.99%,其氮?dú)饬髁繛?00sccm,氮?dú)獾募兌葹?9.99%,其甲烷氣體流量為33.3sccm,甲烷氣體的純度為99.99%,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:9,氮?dú)馀c甲烷氣體流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,噴涂時(shí)間60min,噴涂溫度為50℃,得到bcn保護(hù)薄膜;bcn保護(hù)薄膜的厚度為250nm;

      得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      實(shí)施例4

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,首先沉積制備mgo保護(hù)薄膜;采用磁控濺射設(shè)備沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,高純mgo靶材純度為99.99%,通入高純度氧氣,抽真空到10-4pa,氧氣流量為120sccm,氬氣流量為40sccm,氧氣的純度為99.99%,氬氣的純度為99.99%,氧氣與氬氣流量為3:1,氧氣與氬氣流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,濺射時(shí)間60min,溫度50℃;得到mgo保護(hù)薄膜材料;mgo保護(hù)薄膜的厚度為200nm;

      在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空10-4pa,以高純b為濺射靶材,高純b濺射靶材純度為99.99%,其氮?dú)饬髁繛?00sccm,氮?dú)獾募兌葹?9.99%,其甲烷氣體流量為50sccm,甲烷氣體的純度為99.99%,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:4,氮?dú)馀c甲烷氣體流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,噴涂時(shí)間60min,噴涂溫度為45℃,得到bcn保護(hù)薄膜;bcn保護(hù)薄膜的厚度為300nm;

      得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      實(shí)施例5

      1)將光纜擦拭干凈后,氮?dú)獯蹈桑?/p>

      2)在光纜表面沉積制備bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜,首先沉積制備mgo保護(hù)薄膜;采用磁控濺射設(shè)備沉積制備mgo保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:以高純度mgo作為濺射靶材,高純mgo靶材純度為99.99%,通入高純度氧氣,抽真空到1*10-4pa,氧氣流量為100sccm,氬氣流量為50sccm,氧氣的純度為99.99%,氬氣的純度為99.99%,氧氣與氬氣流量為2:1,氧氣與氬氣流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,濺射時(shí)間60min,溫度50℃;得到mgo保護(hù)薄膜;mgo保護(hù)薄膜的厚度為200nm;

      在mgo保護(hù)薄膜的基礎(chǔ)上采用磁控濺射設(shè)備沉積制備bcn保護(hù)薄膜,其反應(yīng)條件和實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:繼續(xù)抽真空1*10-4pa,以高純b為濺射靶材,高純b濺射靶材純度為99.99%,其氮?dú)饬髁繛?00sccm,氮?dú)獾募兌葹?9.99%,其甲烷氣體流量為100sccm,甲烷氣體的純度為99.99%,其甲烷氣體與氮?dú)饬髁勘壤秊閏h4:n2=1:3,氮?dú)馀c甲烷氣體流量均由質(zhì)量流量計(jì)控制,噴涂時(shí)間60min,噴涂溫度為50℃,得到bcn保護(hù)薄膜;bcn保護(hù)薄膜的厚度為400nm;

      得到具有bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜。

      實(shí)驗(yàn)結(jié)束后采用nexus型紅外/氣相色譜聯(lián)用測(cè)試系統(tǒng)對(duì)bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜樣品的實(shí)施例1、2、5的進(jìn)行了測(cè)試分析;其結(jié)果圖2所示,由圖2紅外光譜隨濺射bcn不同濃度的比例變化的曲線圖,圖中相應(yīng)的出現(xiàn)下列吸收峰,1100cm-1處的峰為b-c鍵,1300cm-1處的c-n鍵,1400cm-1處的b-n鍵,1600cm-1處的c=c鍵和2200cm-1處的c≡n鍵。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,三種不同制備條件下b、c、n三種原子實(shí)現(xiàn)了原子級(jí)的化合,bcn保護(hù)薄膜的b、c、n濃度比為1~3:2~5:10~20,也就是制備出了帶有性能優(yōu)異的bcn/mgo雙層保護(hù)薄膜的光纜樣品。

      以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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