技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種蒸鍍系統(tǒng)和蒸鍍系統(tǒng)的蒸鍍方法,蒸鍍系統(tǒng)包括:至少一條蒸鍍線、第一傳送軌道和托盤,每條蒸鍍線包括蒸鍍腔室,蒸鍍腔室包括多個子蒸鍍腔,多個子蒸鍍腔依次相連,蒸鍍腔室的一端形成有蒸鍍線入口、另一端形成有蒸鍍線出口,子蒸鍍腔內(nèi)設(shè)有蒸發(fā)源組件;第一傳送軌道穿設(shè)在蒸鍍線入口和蒸鍍線出口之間,第一傳送軌道位于蒸發(fā)源組件的上方;托盤包括用于放置工件的托架,托盤可移動地設(shè)在第一傳送軌道上以在蒸鍍線入口和蒸鍍線出口之間傳送工件使蒸發(fā)源組件對工件進(jìn)行蒸鍍。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的蒸鍍系統(tǒng),優(yōu)化了蒸鍍線的布局,簡化了操作步驟,提高了空間利用率,減小了蒸鍍系統(tǒng)的整體占用空間和成本。
技術(shù)研發(fā)人員:尹志中
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.12
技術(shù)公布日:2017.10.17