本發(fā)明涉及蒸鍍工藝領(lǐng)域，具體而言，本發(fā)明涉及一種坩堝裝置。

背景技術(shù)：

真空蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)(通常為有機材料)置于真空中進行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基板表面沉積成膜的過程。坩堝是真空蒸鍍的重要組成部分，它是熔化并精煉金屬液體以及有機材料加熱、反應(yīng)的容器，能夠保證蒸鍍成膜順利進行。

傳統(tǒng)蒸鍍用坩堝裝置通常設(shè)計成碗狀或杯狀，待成膜的有機材料通過坩堝出口蒸鍍到工件或基板上。在工藝過程中，坩堝中的有機材料往往容易因受熱不均勻而發(fā)生噴濺現(xiàn)象，既造成了有機材料的浪費，也污染了坩堝的腔室，甚至會影響到工件或基板的蒸鍍效果，從而降低工件或基板的質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的旨在提供一種坩堝裝置，其特點是能夠減少蒸鍍材料的噴濺，避免污染坩堝腔體及材料浪費，提高蒸鍍成品品質(zhì)，同時節(jié)約成本。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供一種坩堝裝置，其包括容器本體和蓋板模組，所述蓋板模組可拆卸地蓋接于所述容器本體上端，所述蓋板模組包括內(nèi)蓋板和外蓋板；所述內(nèi)蓋板和外蓋板中的一個開設(shè)有若干個通氣孔及至少一個蒸鍍通孔，另一個設(shè)有至少一個能夠遮蓋所述蒸鍍通孔的遮擋部，每個遮擋部能夠遮蓋至少一個所述蒸鍍通孔，并且，所述內(nèi)蓋板和外蓋板能夠相對旋轉(zhuǎn)以使所述遮擋部完全遮蓋所述蒸鍍通孔或者使所述遮擋部與蒸鍍通孔錯位。

優(yōu)選地，所述內(nèi)蓋板上設(shè)有若干個第一通氣孔和多個第一蒸鍍通孔，所述外蓋板上設(shè)有若干個第二通氣孔和多個第二蒸鍍通孔，所述第二蒸鍍通孔的數(shù)量與所述第一蒸鍍通孔的數(shù)量保持一致，相鄰兩個第二蒸鍍通孔之間形成所述遮擋部；所述內(nèi)蓋板和外蓋板能夠相對旋轉(zhuǎn)以使所述第一通氣孔和第二通氣孔重疊或錯位；當所述第一通氣孔與第二通氣孔重疊時，所述第一蒸鍍通孔與第二蒸鍍通孔錯位；當所述第一通氣孔與第二通氣孔錯位時，所述第一蒸鍍通孔與第二蒸鍍通孔重疊。

可選的，所述內(nèi)蓋板上設(shè)有所述通氣孔和蒸鍍通孔，所述外蓋板上設(shè)有所述遮擋部；或者，所述外蓋板上設(shè)有所述通氣孔和蒸鍍通孔，所述內(nèi)蓋板上設(shè)有所述遮擋部；所述遮擋部與蒸鍍通孔形狀一致，且所述遮擋部的尺寸等于或大于所述蒸鍍通孔的尺寸。

進一步地，還包括輔助旋轉(zhuǎn)組件，所述外蓋板外側(cè)與所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)有相互匹配的傳動結(jié)構(gòu)，所述外蓋板在所述外蓋板上的傳動結(jié)構(gòu)和所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的傳動結(jié)構(gòu)的配合下能夠相對所述內(nèi)蓋板旋轉(zhuǎn)任意角度。

優(yōu)選地，所述外蓋板外側(cè)和輔助旋轉(zhuǎn)組件上的傳動結(jié)構(gòu)皆為沿豎直方向設(shè)置的齒狀凸條，相鄰兩齒狀凸條之間形成凹槽，所述外蓋板上的齒狀凸條能夠與所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的凹槽嚙合，并且，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的齒狀凸條能夠與所述外蓋板上的凹槽嚙合。

可選地，所述外蓋板外側(cè)的傳動結(jié)構(gòu)為沿豎直方向設(shè)置的齒狀凸條，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的傳動結(jié)構(gòu)為能夠與所述齒狀凸條相匹配的旋轉(zhuǎn)桿。

進一步地，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件還包括伸縮件，所述伸縮件用于調(diào)整所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的傳動結(jié)構(gòu)的高度。

較佳地，所述容器本體的外側(cè)面上與所述蓋板模組接觸的部分保持光滑狀態(tài)，其余部分沿豎直方向設(shè)有條狀凸起。

較佳地，所述內(nèi)蓋板嵌設(shè)于所述容器本體的腔室內(nèi)部，且所述內(nèi)蓋板的外側(cè)面為光滑面。

進一步地，所述容器本體內(nèi)部設(shè)有支撐部，用于支撐所述內(nèi)蓋板以使所述內(nèi)蓋板處于靠近所述容器本體上端處。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的方案具有以下優(yōu)點：

本發(fā)明提供的坩堝裝置中，內(nèi)蓋板和外蓋板中的至少一個上開設(shè)有通氣孔，在加熱升溫過程中，通過使外蓋板相對內(nèi)蓋板旋轉(zhuǎn)一定角度從而使遮擋部遮蓋住蒸鍍通孔，僅留有通氣孔通氣，使得坩堝中的有機材料受熱均勻，減小有機材料發(fā)生噴濺的概率，避免污染容器本體、材料浪費；而在蒸鍍過程中，通過使外蓋板相對內(nèi)蓋板旋轉(zhuǎn)一定角度從而使遮擋部與蒸鍍通孔錯位，從而保證有機材料能夠通過蒸鍍通孔而蒸鍍到基板上。

通過在內(nèi)蓋板上開設(shè)第一通氣孔和第一蒸鍍通孔，在外蓋板上開設(shè)第二通氣孔和第二蒸鍍通孔，在加熱升溫過程中，第一通氣孔和第二通氣孔重疊，同時第一蒸鍍通孔和第二蒸鍍通孔錯位，可進一步加強容器本體內(nèi)部的蒸鍍材料的受熱均勻性，從而進一步減小蒸鍍材料發(fā)生噴濺的可能性；在蒸鍍過程中，第一通氣孔和第二通氣孔錯位，同時第一蒸鍍通孔和第二蒸鍍通孔重疊，使得蒸鍍材料可依次通過第一蒸鍍通孔、第二蒸鍍通孔而到達基板或工件上以完成蒸鍍。

在整個工藝過程中，需要持續(xù)不斷地加熱才能保證蒸鍍的順利進行，增加輔助旋轉(zhuǎn)組件，通過該輔助旋轉(zhuǎn)組件使得外蓋板能夠相對內(nèi)蓋板旋轉(zhuǎn)任意角度，從而保證遮擋部和蒸鍍通孔的相對位置在不同階段中發(fā)生改變。由于使用了該輔助旋轉(zhuǎn)組件，可避免在整個工藝過程中操作者直接接觸所述坩堝裝置，避免燙傷，保證了操作的安全性。

外蓋板上的齒狀凸條能夠與所述輔助旋轉(zhuǎn)組件上的凹槽嚙合，并且輔助旋轉(zhuǎn)組件上的齒狀凸條也能夠與所述外蓋板上的凹槽嚙合，因而，當所述旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)時，可帶動外蓋板旋轉(zhuǎn)，從而使得外蓋板可相對內(nèi)蓋板旋轉(zhuǎn)任意角度。

增加伸縮組件，當采用不同高度的容器本體時，通過調(diào)整伸縮件可調(diào)整傳動機構(gòu)的高度從而與外蓋板的高度保持一致。

容器本體的外側(cè)面上與所述蓋板模組接觸的部分保持光滑狀態(tài)，減小容器本體對蓋板模組的摩擦，有助于所述外蓋板的旋轉(zhuǎn)。而在其余部分沿豎直方向設(shè)置條狀凸起，一方面可提高容器本體的熱傳導，另一方面可便于夾持或固定容器本體。

將內(nèi)蓋板的外側(cè)面設(shè)置為光滑面，可避免損壞容器本體內(nèi)壁。

通過設(shè)置支撐部，可保證內(nèi)蓋板處于靠近容器本體上端處，有利于容器本體內(nèi)部氣體的流通和熱交換。

本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，這些將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1為本發(fā)明的坩堝裝置的一種典型實施例的示意圖；

圖2為本發(fā)明的坩堝裝置中的蓋板模組的分解示意圖，示出了內(nèi)蓋板和外蓋板的一種實施例的具體結(jié)構(gòu)；

圖3為本發(fā)明的坩堝裝置的另一種實施例的示意圖；

圖4為本發(fā)明的外蓋板的一種實施例的側(cè)視圖；

圖5為圖4中的外蓋板的俯視圖；

圖6為圖1中的坩堝裝置的容器本體的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為圖1中的坩堝裝置中內(nèi)蓋板放置于容器本體內(nèi)時的俯視圖；

圖8為圖1中的坩堝裝置中內(nèi)蓋板放置于容器本體內(nèi)時的側(cè)視圖。

具體實施方式

下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。此外，如果已知技術(shù)的詳細描述對于示出本發(fā)明的特征是不必要的，則將其省略。

請參閱圖1和圖2，本發(fā)明的坩堝裝置1000包括容器本體100和可拆卸地蓋接于所述容器本體100上端的蓋板模組200。所述容器本體100內(nèi)部中空形成腔室(未圖示，下同)。所述蓋板模組200包括內(nèi)蓋板10和外蓋板20。所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20中的一個開設(shè)有若干通氣孔及至少一個蒸鍍通孔，同時所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20中的另一個設(shè)有至少一個能夠遮蓋所述蒸鍍通孔的遮擋部，每個遮擋部能夠遮蓋至少一個所述蒸鍍通孔，例如，在一種實施例中，每個遮擋部能夠遮蓋兩個相鄰的蒸鍍通孔，而在另一種實施例中，一個所述遮擋部可遮蓋一個所述蒸鍍通孔，此時，所述遮擋部的數(shù)量不少于所述蒸鍍通孔的數(shù)量。并且，所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20能夠發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)。在加熱升溫過程中，可使所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)從而使得所述遮擋部完全遮蓋所述蒸鍍通孔；而在蒸鍍過程中，可使所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)從而使得所述遮擋部與蒸鍍通孔錯位，保證所述容器本體100內(nèi)的蒸鍍材料能夠到達設(shè)置于所述坩堝裝置1000上端的基板或工件上以完成蒸鍍。

可見，在加熱升溫過程中，所述遮擋部完全遮蓋住所述蒸鍍通孔，僅僅留有所述通氣孔通氣，使得所述容器本體100內(nèi)的蒸鍍材料受熱均勻，從而減小蒸鍍材料發(fā)生噴濺的概率，避免因材料噴濺而污染所述容器本體100的腔室，提高了蒸鍍成品品質(zhì)，同時避免材料浪費，節(jié)約成本；在蒸鍍過程中，所述遮擋部與所述蒸鍍通孔錯位，保證了蒸鍍的順利進行。

請繼續(xù)參閱圖2，優(yōu)選地，在一種實施例中，所述內(nèi)蓋板10上設(shè)有若干第一通氣孔101和多個第一蒸鍍通孔102，所述外蓋板20上開設(shè)有若干第二通氣孔202和多個第二蒸鍍通孔203，并且，所述第二蒸鍍通孔203與所述第一蒸鍍通孔202的數(shù)量保持一致，相鄰兩個第二蒸鍍通孔203之間形成遮擋部201，且所述遮擋部201的數(shù)量不少于所述第一蒸鍍通孔102的數(shù)量。同時，通過使所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)可使得所述內(nèi)蓋板10上的多個第一通氣孔101與所述外蓋板20上的多個第二通氣孔202一一對應(yīng)重疊或錯位，并且，當所述第一通氣孔101與第二通氣孔202一一重疊時，所述第一蒸鍍通孔102與第二蒸鍍通孔203錯位，換言之，所述遮擋部201完全遮蓋所述第一蒸鍍通孔102；當所述第一通氣孔101與第二通氣孔202一一錯位時，所述第一蒸鍍通孔102與第二蒸鍍通孔203重疊，即所述遮擋部201與所述第一蒸鍍通孔102錯位。

通過在所述內(nèi)蓋板10上開設(shè)第一通氣孔101和第一蒸鍍通孔102，在外蓋板20上開設(shè)第二通氣孔202和第二蒸鍍通孔203，在加熱升溫過程中，所述第一通氣孔101和第二通氣孔202重疊，同時所述第一蒸鍍通孔102和第二蒸鍍通孔203錯位，可進一步加強所述容器本體100內(nèi)部的蒸鍍材料的受熱均勻性，從而進一步減小蒸鍍材料發(fā)生噴濺的可能性；在蒸鍍過程中，所述第一通氣孔101和第二通氣孔202錯位，同時所述第一蒸鍍通孔102和第二蒸鍍通孔203重疊，使得蒸鍍材料可依次通過所述第一蒸鍍通孔102、第二蒸鍍通孔203而到達基板或工件上以完成蒸鍍。

在另一種實施例中，所述內(nèi)蓋板10上開設(shè)有通氣孔和蒸鍍通孔，所述外蓋板20上設(shè)有遮擋部，根據(jù)上述設(shè)計，通過使所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)，可使得所述遮擋部遮蓋住所述蒸鍍通孔；而在另一種實施例中，所述外蓋板20上開設(shè)有通氣孔和蒸鍍通孔時，所述內(nèi)蓋板10上設(shè)有遮擋部，同理，通過使所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)，可使得所述遮擋部遮蓋住所述蒸鍍通孔。較佳地，所述遮擋部與蒸鍍通孔的形狀相同，且所述遮擋部的尺寸需等于或大于所述蒸鍍通孔的尺寸。

此外，在另一種方案中，所述遮擋部可設(shè)置為扇片狀或葉片狀，并且，當所述遮擋部設(shè)有多個時，各遮擋部的一端共同交疊于一點并在該點通過連接件如螺釘和螺母實現(xiàn)所有遮擋部的連接，所有遮擋部共同圍繞該點以構(gòu)成所述內(nèi)蓋板或外蓋板，以該點為中心點，各遮擋部呈輻射狀向外延伸。較佳地，各遮擋部之間等間距設(shè)置，相鄰兩遮擋部之間存在空隙，且該空隙與所述蒸鍍通孔的尺寸大致相同。當采用該設(shè)計形成內(nèi)蓋板時，所述外蓋板上設(shè)有通氣孔和蒸鍍通孔。在加熱升溫過程中，通過使所述內(nèi)蓋板和外蓋板發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)，使得所述內(nèi)蓋板上的遮擋部一一遮蓋所述外蓋板上的蒸鍍通孔，此時所述容器本體100內(nèi)部的氣流依次流經(jīng)所述內(nèi)蓋板上相鄰兩遮擋部間的空隙以及所述外蓋板上的通氣孔，有利于促進熱交換；在蒸鍍過程中，通過使所述內(nèi)蓋板和外蓋板發(fā)生相對旋轉(zhuǎn)使得所述內(nèi)蓋板上的遮擋部與所述蒸鍍通孔一一錯位，從而使得所述容器本體100內(nèi)的蒸鍍材料可依次通過相鄰兩遮擋部之間的空隙、蒸鍍通孔而到達設(shè)于所述坩堝裝置1000上方的基板或工件上以完成蒸鍍。同理，當采用該設(shè)計形成外蓋板時可類推。

請參閱圖3，進一步地，所述坩堝裝置1000還包括輔助旋轉(zhuǎn)組件300。此時所述外蓋板20外側(cè)與所述輔助旋轉(zhuǎn)組件300上皆開設(shè)有相互匹配的傳動結(jié)構(gòu)，所述外蓋板20上的傳動結(jié)構(gòu)和所述輔助旋轉(zhuǎn)組件300上的傳動結(jié)構(gòu)相互配合可使得所述外蓋板20能夠相對所述內(nèi)蓋板10旋轉(zhuǎn)任意角度。

由于在整個工藝過程中，需要持續(xù)不斷地加熱才能保證蒸鍍的順利進行，增加所述輔助旋轉(zhuǎn)組件300，通過該輔助旋轉(zhuǎn)組件300使得所述外蓋板20能夠相對所述內(nèi)蓋板10旋轉(zhuǎn)任意角度，從而保證所述遮擋部和蒸鍍通孔的相對位置在不同階段中發(fā)生改變。同時，由于使用了該輔助旋轉(zhuǎn)組件300，可避免在整個工藝過程中操作者和該坩堝裝置1000直接接觸，防止燙傷，保證了操作的安全性。

請結(jié)合圖4和圖5，具體地，所述外蓋板20外側(cè)的傳動結(jié)構(gòu)為沿豎直方向設(shè)置的第一齒狀凸條204，相鄰兩第一齒狀凸條204之間形成第一凹槽205。相應(yīng)地，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件300上的傳動結(jié)構(gòu)30包括沿豎直方向設(shè)置的第二齒狀凸條(未標號，下同)，且相鄰兩第二齒狀凸條之間形成第二凹槽(未標號，下同)。所述第一齒狀凸條204能夠與所述第二凹槽嚙合，所述第二齒狀凸條能夠與所述第一凹槽205嚙合。

可見，由于所述第一齒狀凸條204能夠與所述第二凹槽嚙合，所述第二齒狀凸條能夠與所述第一凹槽205嚙合，因此當旋轉(zhuǎn)所述輔助旋轉(zhuǎn)裝置300時，可帶動所述外蓋板20旋轉(zhuǎn)，從而使得所述外蓋板20可相對所述內(nèi)蓋板10旋轉(zhuǎn)任意角度。

另一種實施例中，所述外蓋板20外側(cè)的傳動結(jié)構(gòu)為沿豎直方向設(shè)置的齒狀凸條，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件300上的傳動結(jié)構(gòu)為能夠與所述齒狀凸條相匹配的旋轉(zhuǎn)桿，通過旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)桿，可帶動所述外蓋板20旋轉(zhuǎn)，從而使得所述外蓋板20可相對所述內(nèi)蓋板10旋轉(zhuǎn)任意角度。

更進一步地，所述輔助旋轉(zhuǎn)組件200還包括伸縮件40。所述伸縮件40與所述傳動結(jié)構(gòu)30連接，且所述伸縮件40用于調(diào)整所述傳動結(jié)構(gòu)30的高度。

當采用不同高度的容器本體100時，通過調(diào)整所述伸縮件40可調(diào)整所述傳動機構(gòu)30的高度從而使得所述傳動結(jié)構(gòu)30的高度與所述外蓋板20的高度保持一致，從而保證所述傳動結(jié)構(gòu)30能夠帶動所述外蓋板20相對所述內(nèi)蓋板10旋轉(zhuǎn)。

請參閱圖6，具體地，所述容器本體100的外側(cè)面上與所述蓋板模組200接觸的部分保持光滑狀態(tài)，而其余部分則沿豎直方向設(shè)有條狀凸起1001。

通過使所述容器本體100的外側(cè)面上與所述蓋板模組200接觸的部分保持光滑狀態(tài)，可減小所述容器本體100對所述蓋板模組200的摩擦，有助于所述外蓋板20的旋轉(zhuǎn)；而在其余部分沿豎直方向設(shè)置條狀凸起1001，一方面可提高所述容器本體100的熱傳導，另一方面可便于夾持或固定所述容器本體100。

請參閱圖7，所訴內(nèi)蓋板10嵌設(shè)于所述容器本體100內(nèi)部，同時所述內(nèi)蓋板10的外側(cè)面設(shè)為光滑面，以防止損壞所述容器本體100內(nèi)壁。

請結(jié)合圖8，進一步地，所述容器本體100內(nèi)部設(shè)有支撐部1002，該支撐部1002用于支撐所述內(nèi)蓋板10以使所述內(nèi)蓋板10處于靠近所述容器本體100上端處，從而有利于所述容器本體100內(nèi)部氣體的流通和熱交換。

在一種實施例中，所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20通過連接桿連接。具體地，所述連接桿依次貫穿所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20的中部，并且，所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20均能繞所述連接桿旋轉(zhuǎn)任意角度。

在另一種實施例中，所述內(nèi)蓋板10固定于所述容器本體100內(nèi)部，所述外蓋板20則圍繞所述容器本體100上端出口并蓋接于所述容器本體100上端。該設(shè)計中，由于所述內(nèi)蓋板10是固定的，因此只需旋轉(zhuǎn)所述外蓋板20則可實現(xiàn)所述內(nèi)蓋板10和外蓋板20的相對旋轉(zhuǎn)。

以上所述僅是本發(fā)明的部分實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。