本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法、金屬掩膜板的制備方法。

背景技術(shù)：

隨著技術(shù)發(fā)展，oled(organiclightemittingdiode，簡(jiǎn)稱(chēng)有機(jī)發(fā)光二極管)顯示裝置日益深入人們的生活。在oled顯示裝置的制備工藝中，廣泛應(yīng)用精細(xì)金屬掩膜板(finemetalmask，簡(jiǎn)稱(chēng)fmm)的小分子蒸鍍技術(shù)，應(yīng)用多層金屬掩膜板，通過(guò)金屬掩膜板中的開(kāi)口將有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到薄膜晶體管背板的特定位置，從而實(shí)現(xiàn)彩色顯示。

金屬掩膜板的精度為微米級(jí)，與薄膜晶體管背板的匹配對(duì)位的精度要求非常高。通常情況下，薄膜晶體管的開(kāi)口相對(duì)背板特定位置的偏移超過(guò)5微米，上一層金屬掩膜板和下一層金屬掩膜板蒸鍍的有機(jī)發(fā)光材料在發(fā)光時(shí)就會(huì)發(fā)生顏色的互相干擾，導(dǎo)致顯示器件在顯示時(shí)發(fā)生“混色”不良，例如，在顯示白色畫(huà)面時(shí)，畫(huà)面發(fā)青或發(fā)粉。導(dǎo)致顯示器件“混色”不良的原因包括：金屬掩膜板設(shè)計(jì)、制造商制作精度、使用時(shí)的對(duì)位精度、金屬掩膜板多次使用的“疲勞”和“松弛”以及和薄膜晶體管背板貼合情況等多種因素。上述各因素除設(shè)計(jì)因素之外，均可通過(guò)調(diào)整改進(jìn)工藝來(lái)提高精度，因此對(duì)金屬掩膜板的設(shè)計(jì)提出了較高的要求。

設(shè)計(jì)并制造好的金屬掩膜板經(jīng)拉伸焊接在框架上，厚約數(shù)十微米、長(zhǎng)約百微米、寬約幾十到幾百微米的金屬掩膜板在兩端施加的拉力下會(huì)產(chǎn)生較大形變，如圖1所示，比較設(shè)計(jì)好的金屬掩膜板1與拉伸焊接后的金屬掩膜板2可見(jiàn)，拉伸焊接后的金屬掩膜板2在拉伸方向發(fā)生伸長(zhǎng)形變、在垂直于拉伸方向發(fā)生縮短形變，導(dǎo)致金屬掩膜板上的開(kāi)口因此發(fā)生移動(dòng)和形變，從而與薄膜晶體管背板失配。有鑒于此，在設(shè)計(jì)金屬掩膜板時(shí)，通過(guò)在拉伸方向和收縮方向分別設(shè)計(jì)補(bǔ)償量，讓其在拉伸或收縮發(fā)生形變后達(dá)到預(yù)期位置。目前，補(bǔ)償量來(lái)源于成型樣品金屬掩膜板中，拉伸/收縮前對(duì)位標(biāo)識(shí)與拉伸/收縮后對(duì)位標(biāo)識(shí)的測(cè)量和計(jì)算，這種方式雖然能提供金屬掩膜板的補(bǔ)償量，但是效率低下，而且增加了金屬掩膜板的工藝成本。

如何在金屬掩膜板的設(shè)計(jì)初期就考慮金屬掩膜板的形變量，一次性設(shè)計(jì)出包含了補(bǔ)償量的金屬掩膜板成為目前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中上述不足，提供一種金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法、金屬掩膜板的制備方法，通過(guò)計(jì)算預(yù)估出金屬掩膜板拉伸受力后的形變量，在設(shè)計(jì)或制作金屬掩膜板時(shí)對(duì)該形變量進(jìn)行負(fù)補(bǔ)償，準(zhǔn)確的抵消因拉伸后產(chǎn)生的形變，確保金屬掩膜板的精度。

解決本發(fā)明技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是該金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法，包括步驟：

根據(jù)所述金屬掩膜板在使用時(shí)的拉伸力、以及所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性，分別計(jì)算所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變量；

根據(jù)所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變量，以與形變量相同、但形變趨勢(shì)相反的方式補(bǔ)償所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變。

優(yōu)選的是，獲取所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性包括：

確定所述金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸；

獲取用于制備所述金屬掩膜板的材料屬性；

根據(jù)所述金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸、以及用于制備所述金屬掩膜板的材料屬性，計(jì)算所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性。

優(yōu)選的是，所述金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸包括長(zhǎng)度、寬度和厚度，以及所述金屬掩膜板中的開(kāi)口尺寸、橫向開(kāi)口間距和縱向開(kāi)口間距；用于制備所述金屬掩膜板的材料屬性包括楊氏模量和泊松比。

優(yōu)選的是，計(jì)算所述金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性為：

所述金屬掩膜板的拉伸方向楊氏模量ex為：

ex＝e×e/(a+e)

所述金屬掩膜板的垂直于拉伸方向的方向楊氏模量ey為：

ey＝e×b/(c+b)

所述金屬掩膜板的泊松比ν為：

ν＝ν0×l/w×((a+e)*(b+c)/(a·b))^1/2

其中：所述金屬掩膜板的寬度為w，長(zhǎng)度為l，所述金屬掩膜板中的開(kāi)口大小為a·b，橫向開(kāi)口間距為e，縱向開(kāi)口間距為c，用于制備所述金屬掩膜板的材料的楊氏模量為e，泊松比為ν0。

一種實(shí)施方式為，所述金屬掩膜板的拉伸力為f，則有：

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)力σx為：

σx＝f/(w×t)

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的截面伸長(zhǎng)量δl為：

δl＝±f×l/(ex×w×t)

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)變?chǔ)舩為：

εx＝δl/l＝σx/ex

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的正應(yīng)變?chǔ)舩與垂直于拉伸方向的方向上的正應(yīng)變?chǔ)舮的關(guān)系為：

εx＝-ν×εy。

另一種實(shí)施方式為，進(jìn)一步包括：根據(jù)所述金屬掩膜板的厚度以及開(kāi)口傾斜度設(shè)置修正參數(shù)c1，有：

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)力σx為：

σx＝f/(w×c1×t)；

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的伸長(zhǎng)量δl為：

δl＝±f×l/[ex×(w×c1×t)]；

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)變?chǔ)舩為：

εx＝δl/l＝σx/ex；

所述金屬掩膜板在拉伸方向上的正應(yīng)變?chǔ)舩與垂直于拉伸方向的方向上的正應(yīng)變?chǔ)舮的關(guān)系為：

σx＝-ν×εy。

優(yōu)選的是，修正系數(shù)c1的范圍為1/2～1/4。

優(yōu)選的是，所述金屬掩膜板在拉伸方向上的形變補(bǔ)償量為：

t.r.x＝δl/l％＝σx/ex％；

所述金屬掩膜板在與垂直于拉伸方向的方向上的形變補(bǔ)償量為：

t.r.y＝δw/w％＝εy％＝-t.r.x/ν％。

優(yōu)選的是，所述金屬掩膜板中的開(kāi)口為矩形，所述開(kāi)口的長(zhǎng)邊與所述金屬掩膜板的長(zhǎng)邊方向相同；

所述金屬掩膜板的拉伸方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向，垂直于拉伸方向的方向?yàn)槎踢叿较颉?/p>

一種金屬掩膜板的制備方法，根據(jù)上述的設(shè)計(jì)方法對(duì)所述金屬掩膜板進(jìn)行互相垂直的兩個(gè)方向上的形變補(bǔ)償。

本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)該金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法、金屬掩膜板的制備方法，根據(jù)具體的金屬掩膜板尺寸、材料屬性及開(kāi)口尺寸等計(jì)算出在金屬掩膜板拉伸方向和垂直于拉伸方向的方向上的形變量，以便在實(shí)際設(shè)計(jì)或制作金屬掩膜板時(shí)對(duì)該計(jì)算得到的形變量進(jìn)行負(fù)補(bǔ)償，確保金屬掩膜板在拉伸后各個(gè)開(kāi)口的位置精度。

附圖說(shuō)明

圖1為金屬掩膜板的形變趨勢(shì)示意圖；

圖2為金屬掩膜板的開(kāi)口示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例1中金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法的流程圖；

圖4為金屬掩膜板中開(kāi)口刻蝕的斷面示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例2中金屬掩膜板形變補(bǔ)償?shù)氖疽鈭D；

附圖標(biāo)識(shí)中：

1－設(shè)計(jì)好的金屬掩膜板；2-拉伸焊接后的金屬掩膜板；3-金屬掩膜板；4-開(kāi)口。

具體實(shí)施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法、金屬掩膜板的制備方法作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思在于：究其原因，金屬掩膜板即很薄的金屬片，在拉伸方向和在垂直于拉伸方向上的形變最根本的原因在于，金屬掩膜板因密集的開(kāi)口導(dǎo)致形變屬性發(fā)生變化，導(dǎo)致金屬掩膜板上密集的開(kāi)口因此會(huì)發(fā)生移動(dòng)和形變，從而與薄膜晶體管背板失配。根據(jù)金屬掩膜板在拉伸焊接時(shí)發(fā)生形變的根本因素，在設(shè)計(jì)金屬掩膜板時(shí)就考慮該形變，從而在設(shè)計(jì)時(shí)加入補(bǔ)償量以抵消拉伸焊接金屬掩膜板產(chǎn)生的形變。

實(shí)施例1：

針對(duì)金屬掩膜板因存在張網(wǎng)收縮率，需要在金屬長(zhǎng)寬方向上的補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題，本實(shí)施例提供一種金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其相應(yīng)的金屬掩膜板的制備方法，采用該金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其相應(yīng)的金屬掩膜板的制備方法無(wú)需提前制備樣品掩膜板，直接通過(guò)計(jì)算獲得形變補(bǔ)償量，從而使得一次性設(shè)計(jì)出包含了補(bǔ)償量的金屬掩膜板得以實(shí)現(xiàn)。

通常情況下，已知金屬掩膜板的拉伸力為f，厚度為t，寬度為w，長(zhǎng)度為l,楊氏模量為e，泊松比為ν0，則：

金屬掩膜板在拉伸方向的截面正應(yīng)力σx為：

σx＝f/w×t公式(1-1)

金屬掩膜板在拉伸方向的截面伸長(zhǎng)量δl為：

δl＝±f×l/e×a公式(1-2)

金屬掩膜板在拉伸方向的截面正應(yīng)變?chǔ)舩為：

εx＝δl/l＝σx/e公式(1-3)

金屬掩膜板在拉伸方向上的正應(yīng)變?chǔ)舩與垂直于拉伸方向的方向上的正應(yīng)變?chǔ)舮的關(guān)系為：

εx＝-ν0×εy。公式(1-4)

然而，由于金屬掩膜板上開(kāi)了很多較小的開(kāi)口，其楊氏模量e和泊松比ν與原材料相比，會(huì)發(fā)生變化，原先各向同性的材料會(huì)變?yōu)楦飨虍愋?，具體的變化量與開(kāi)口的大小、密度有關(guān)，以如圖2所示的矩形開(kāi)口為例，開(kāi)口的長(zhǎng)、寬分別以a、b示意，密度與縱向開(kāi)口間距c、橫向開(kāi)口間距e有關(guān)。開(kāi)口后，導(dǎo)致金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性發(fā)生變化。針對(duì)金屬掩膜板中的開(kāi)口，拉伸方向即軸向方向，垂直于拉伸方向的方向即橫向。

本實(shí)施例的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其相應(yīng)的金屬掩膜板的制備方法旨在解決上述的問(wèn)題，如圖3所示，該金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法，包括步驟：

步驟s1)：根據(jù)金屬掩膜板在使用時(shí)的拉伸力、以及金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性，分別計(jì)算金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變量。

在該步驟中，獲取金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性包括：

步驟s11)：確定金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸。

金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸包括長(zhǎng)度、寬度和厚度，以及金屬掩膜板中的開(kāi)口尺寸、橫向開(kāi)口間距和縱向開(kāi)口間距。

步驟s12)：獲取用于制備金屬掩膜板的材料屬性。

用于制備金屬掩膜板的材料屬性包括楊氏模量和泊松比。

步驟s11)和步驟s12)通過(guò)提供與形變屬性相關(guān)的技術(shù)參數(shù)，進(jìn)而獲得金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性，為形變補(bǔ)償量提供計(jì)算依據(jù)。

步驟s13)：根據(jù)金屬掩膜板的設(shè)計(jì)尺寸、以及用于制備金屬掩膜板的材料屬性，計(jì)算金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性。

由于開(kāi)口使得金屬掩膜板的楊氏模量e和泊松比ν與原材料相比會(huì)發(fā)生變化，以如圖2所示的矩形開(kāi)口為例，開(kāi)口后計(jì)算金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變屬性為：

金屬掩膜板的拉伸方向楊氏模量ex為：

ex＝e×e/(a+e)公式(1-5)

金屬掩膜板的垂直于拉伸方向的方向楊氏模量ey為：

ey＝e×b/(c+b)公式(1-6)

金屬掩膜板的泊松比ν為：

ν＝ν0×l/w×((a+e)*(b+c)/(a·b))^1/2公式(1-7)

其中：金屬掩膜板的寬度為w，長(zhǎng)度為l，金屬掩膜板中的開(kāi)口大小為a·b，橫向開(kāi)口間距為e，縱向開(kāi)口間距為c，用于制備金屬掩膜板的材料的楊氏模量為e，泊松比為ν0。在材料的比例極限內(nèi)，由均勻分布的縱向應(yīng)力所引起的橫向應(yīng)變與相應(yīng)的縱向應(yīng)變之比的絕對(duì)值為泊松比，采用泊松比進(jìn)行計(jì)算無(wú)需引入剪切模量，因此能簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)。

步驟s13)進(jìn)一步獲得了與形變屬性相關(guān)的楊氏模量和泊松比，為掩膜板形變補(bǔ)償量提供計(jì)算依據(jù)。

步驟s2)：根據(jù)金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變量，以與形變量相同、但形變趨勢(shì)相反的方式補(bǔ)償金屬掩膜板在互相垂直的兩個(gè)方向上的形變，即進(jìn)行負(fù)補(bǔ)償。

在該步驟中，金屬掩膜板的拉伸力為f，則有：

金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)力σx為：

σx＝f/(w×t)公式(1-8)

金屬掩膜板在拉伸方向上的截面伸長(zhǎng)量δl為：

δl＝±f×l/(ex×w×t)公式(1-9)

金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)變?chǔ)舩為：

εx＝δl/l＝σx/ex公式(1-10)

金屬掩膜板在拉伸方向上的正應(yīng)變?chǔ)舩與垂直于拉伸方向的方向上的正應(yīng)變?chǔ)舮的關(guān)系為：

εx＝-ν×εy。公式(1-11)

通過(guò)以上步驟，獲得與形變相關(guān)的應(yīng)變參數(shù)，為形變補(bǔ)償量提供計(jì)算依據(jù)。

在此基礎(chǔ)上，金屬掩膜板在拉伸方向上的形變補(bǔ)償量為：

t.r.x＝δl/l％＝σx/ex％；公式(1-12)

金屬掩膜板在與垂直于拉伸方向的方向上的形變補(bǔ)償量為：

t.r.y＝δw/w％＝εy％＝-t.r.x/ν％。公式(1-13)

根據(jù)上述計(jì)算所得的互相垂直的兩方向上的形變量，即可在掩膜板設(shè)計(jì)過(guò)程中提供形變補(bǔ)償量。

通常情況下，金屬掩膜板為矩形，金屬掩膜板中的開(kāi)口如圖2所示的為矩形，開(kāi)口的長(zhǎng)邊與金屬掩膜板的長(zhǎng)邊方向相同。此時(shí)，金屬掩膜板的拉伸方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向，垂直于拉伸方向的方向?yàn)槎踢叿较?。通過(guò)設(shè)定蒸鍍開(kāi)口與金屬掩膜板的關(guān)系，保證恰當(dāng)?shù)难a(bǔ)償關(guān)系。

可以理解的是，隨著掩膜制備技術(shù)的進(jìn)步以及蒸鍍圖形的多樣化設(shè)計(jì)，金屬掩膜板中的開(kāi)口也可以為其他形狀，此時(shí)可根據(jù)金屬掩膜板在拉伸焊接工藝中的位置，同樣能采用本實(shí)施例中的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法對(duì)互相垂直的兩個(gè)方向上進(jìn)行形變補(bǔ)償量進(jìn)行，這里不做限定。

相應(yīng)的，本實(shí)施例還提供一種金屬掩膜板的制備方法，其根據(jù)上述的設(shè)計(jì)方法對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行互相垂直的兩個(gè)方向上的形變補(bǔ)償。從而，無(wú)需提前制備樣品掩膜板，直接通過(guò)計(jì)算獲得形變補(bǔ)償量的金屬掩膜板。

本實(shí)施例中的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法，在設(shè)計(jì)的過(guò)程中通過(guò)已知的金屬掩膜板材料屬性、金屬掩膜板尺寸；再結(jié)合特定的張網(wǎng)力，計(jì)算出金屬掩膜板在長(zhǎng)邊方向和短邊方向的形變量，進(jìn)而計(jì)算出金屬掩膜板制作時(shí)需要的補(bǔ)償量。運(yùn)用該方法，可以在設(shè)計(jì)和制作時(shí)考慮金屬掩膜板的長(zhǎng)短邊形變，計(jì)算出長(zhǎng)短邊方向需要設(shè)計(jì)的補(bǔ)償值，并在設(shè)計(jì)或制作時(shí)加以補(bǔ)償，使得金屬掩膜板在收到拉伸并發(fā)生形變后，金屬掩膜板上的開(kāi)口還能正確的對(duì)應(yīng)到薄膜晶體管背板的對(duì)應(yīng)位置，保證金屬掩膜板的狀態(tài)達(dá)到最好。

實(shí)施例2：

本實(shí)施例提供一種金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其相應(yīng)的金屬掩膜板的制備方法，無(wú)需提前制備樣品掩膜板，直接通過(guò)計(jì)算獲得形變補(bǔ)償量，從而使得一次性設(shè)計(jì)出包含了補(bǔ)償量的金屬掩膜板得以實(shí)現(xiàn)。本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于，在該金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其相應(yīng)的金屬掩膜板的制備方法中，還設(shè)置了與金屬掩膜板的厚度以及開(kāi)口傾斜度相關(guān)的修正參數(shù)，并根據(jù)金屬掩膜板的厚度以及開(kāi)口傾斜度設(shè)置修正參數(shù)c1。

在實(shí)施例1的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法的基礎(chǔ)上，

金屬掩膜板的軸向楊氏模量ex為：

ex＝e×e/(a+e)公式(2-1)

金屬掩膜板的橫向楊氏模量ey為：

ey＝e×b/(c+b)公式(2-2)

金屬掩膜板的泊松比ν為：

v＝v0×l/w×((a+e)*(b+c)/(a·b))^1/2公式(2-3)

由于金屬掩膜板通常是通過(guò)刻蝕工藝制造的，其對(duì)應(yīng)圖2中a-a斷面剖線的刻蝕斷面如圖4所示。在這種工藝下，金屬掩膜板厚度會(huì)發(fā)生變化，而且由于采用刻蝕工藝形成的開(kāi)口4并非規(guī)則形狀，開(kāi)口4與金屬掩膜板3平面存在傾斜角θ，因此設(shè)置了與金屬掩膜板3的厚度以及開(kāi)口4的傾斜度相關(guān)的修正參數(shù)c1倍，從而提供更為準(zhǔn)確的應(yīng)變參數(shù)，優(yōu)選修正系數(shù)c1的范圍為1/2～1/4。

綜合上述考慮，寬度為w，長(zhǎng)度為l的金屬掩膜板在拉伸力為f，開(kāi)口大小為ab，橫向開(kāi)口間距為e，縱向開(kāi)口間距為c時(shí)，有：

金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)力σx為：

σx＝f/(w×c1×t)公式(2-4)

金屬掩膜板在拉伸方向上的伸長(zhǎng)量δl為：

δl＝±f×l/[ex×(w×c1×t)]公式(2-5)

金屬掩膜板在拉伸方向上的截面正應(yīng)變?chǔ)舩為：

εx＝δl/l＝σx/ex公式(2-6)

金屬掩膜板在在拉伸方向(軸向)上的正應(yīng)變?chǔ)舩與垂直于拉伸方向的方向(橫向)上的正應(yīng)變?chǔ)舮的關(guān)系：

σx＝-ν×εy公式(2-7)

因此，金屬掩膜板在拉伸方向上(軸向)形變補(bǔ)償量(即張網(wǎng)收縮率tensionratio)為：

t.r.x＝δl/l％＝σx/ex％公式(2-8)

金屬掩膜板在橫向形變補(bǔ)償量為：

t.r.y＝δw/w％＝εy％＝-t.r.x/ν％公式(2-9)

例如，設(shè)計(jì)金屬掩膜板的拉伸力f為24n，金屬掩膜板的長(zhǎng)度l為850mm，寬度w為83mm,厚度t為0.03mm，材料楊氏模量e為141000n/mm²，泊松比ν0為0.29，開(kāi)口大小為a＝0.041、b＝0.037，橫向開(kāi)口間距e為0.037，縱向開(kāi)口間距c為0.041mm，則根據(jù)本實(shí)施例中的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法計(jì)算得到：

軸向形變補(bǔ)償量為t.r.x＝0.0255％；

橫向形變補(bǔ)償量為t.r.y＝-0.0042％。

根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的掩膜板設(shè)計(jì)方法，在相同的設(shè)計(jì)參數(shù)金屬掩膜板的條件下，采用樣品金屬掩膜板方式獲得的同等參數(shù)下金屬掩膜板的形變測(cè)量值約為t.r.x＝0.02％，t.r.y＝-0.003％，可見(jiàn)，本實(shí)施例中的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法得到的形變補(bǔ)償量與樣本金屬掩膜板的形變測(cè)量結(jié)果吻合度相當(dāng)高，因此在設(shè)計(jì)時(shí)加入補(bǔ)償量以抵消拉伸焊接金屬掩膜板產(chǎn)生的形變。

相應(yīng)的，本實(shí)施例還提供一種金屬掩膜板的制備方法，如圖5所示，其根據(jù)上述的設(shè)計(jì)方法對(duì)金屬掩膜板進(jìn)行互相垂直的兩個(gè)方向上的形變補(bǔ)償。從而，無(wú)需提前制備樣品掩膜板，直接通過(guò)計(jì)算獲得形變補(bǔ)償量的金屬掩膜板。

本實(shí)施例中的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法，在設(shè)計(jì)的過(guò)程中通過(guò)已知的金屬掩膜板材料屬性、金屬掩膜板尺寸、以及與金屬掩膜板的厚度以及開(kāi)口傾斜度相關(guān)的修正參數(shù)；再結(jié)合特定的張網(wǎng)力，計(jì)算出金屬掩膜板在長(zhǎng)邊方向和短邊方向的形變量，進(jìn)而計(jì)算出金屬掩膜板制作時(shí)需要的補(bǔ)償量。運(yùn)用該方法，可以在設(shè)計(jì)和制作時(shí)考慮金屬掩膜板的長(zhǎng)短邊形變，計(jì)算出長(zhǎng)短邊方向需要設(shè)計(jì)的補(bǔ)償值，并在設(shè)計(jì)或制作時(shí)加以補(bǔ)償，使得金屬掩膜板在收到拉伸并發(fā)生形變后，金屬掩膜板上的開(kāi)口還能正確的對(duì)應(yīng)到薄膜晶體管背板的對(duì)應(yīng)位置，保證金屬掩膜板的狀態(tài)達(dá)到最好。

綜上，實(shí)施例1、2提供的金屬掩膜板的設(shè)計(jì)方法及其金屬掩膜板的制備方法，通過(guò)計(jì)算金屬掩膜板的張網(wǎng)收縮率(tensionratio)，從而獲得金屬掩膜板制作時(shí)需要的補(bǔ)償量，進(jìn)而在金屬掩膜板設(shè)計(jì)時(shí)進(jìn)行補(bǔ)償，在金屬掩膜板的設(shè)計(jì)初期就考慮金屬掩膜板的形變量，一次性設(shè)計(jì)出包含了補(bǔ)償量的金屬掩膜板，降低了金屬掩膜板的工藝成本。

可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。